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EUV

在半導體行業(yè)，EUV一般指EUV光刻，即極紫外光刻。 極紫外光刻（英語(yǔ)：Extreme ultra-violet，也稱(chēng)EUV或EUVL）是一種使用極紫外（EUV）波長(cháng)的光刻技術(shù)。 EUV光刻采用波長(cháng)為10-1...... [查看詳細]

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