獨擁四大連續制程設備 TEL成EUV出貨大贏(yíng)家

國際設備大廠(chǎng)東京威力科創(chuàng )（TEL）為全球唯一擁有沉積、涂布／顯影、蝕刻、清洗四大連續制程設備之公司，是晶圓片進(jìn)入EUV曝光前重要步驟。TEL宮城總裁神原弘光指出，隨著(zhù)芯片設計演進(jìn)，蝕刻技術(shù)不斷朝著(zhù)3D化方向演進(jìn)，垂直堆棧發(fā)展、更有效利用空間，然而堆棧層數的增加，在成膜次數跟蝕刻時(shí)間、次數也會(huì )隨之增加，所需的機臺數量同步成長(cháng)。

EUV大廠(chǎng)擁有近乎100％市占率，TEL在涂布／顯影與之緊密配合，同樣近乎獨占；換言之，只要EUV出貨，TEL亦將同步受惠。TEL更透露，早已在臺設置研發(fā)中心，近期更會(huì )擴增潔凈室規模，與最先進(jìn)制程業(yè)者合作，意謂著(zhù)TEL也將擁有全球最先進(jìn)設備。

TEL于東京股市掛牌，27日以3.48萬(wàn)日圓收市，市值達16.41兆日圓（，今年股價(jià)大漲37％。中國臺灣設置研發(fā)中心先鋒，TEL自1996年中國臺灣設立據點(diǎn)之初，便將總部二樓作為研發(fā)實(shí)驗室，近期為因應中國臺灣半導體地位提升，TEL近期擬規劃將三樓新增潔凈室，擴大規模、因應客戶(hù)先進(jìn)制程腳步加快。東京威力科創(chuàng )為全球前五大設備業(yè)者之一，核心業(yè)務(wù)涵蓋四個(gè)連續制程。

與合作伙伴Litho（微影）機臺搭配，TEL涂布／顯影市占率近乎100％，也因為合作伙伴、客戶(hù)都是業(yè)界最先進(jìn)，強大的護城河，持續維持業(yè)界領(lǐng)先地位。TEL目前遍布19個(gè)國家、共計87個(gè)據點(diǎn)，其中，中國臺灣員工人數僅次于日本，足見(jiàn)中國臺灣半導體地位之重要性。

進(jìn)入埃米時(shí)代，晶圓代工廠(chǎng)更加仰賴(lài)設備精細度，TEL已經(jīng)做好準備，公司進(jìn)一步分析，微縮下晶圓要求越來(lái)越嚴苛，更高端的制程，更加要求平坦化。據了解TEL最新推出的Grinder產(chǎn)品，不只是是為了確保晶圓的平坦化，也做到部分蝕刻平坦化及表面清潔，使設備可以針對平坦度及清潔進(jìn)行量測。

日本政府與八家企業(yè)合力扶植的晶圓代工廠(chǎng)Rapidus作為2奈米晶圓代工，將開(kāi)啟日本制造時(shí)代，Rapidus社長(cháng)小池淳義指出，日本有優(yōu)秀的設備和材料廠(chǎng)商，但缺少重要芯片供應，期許日本半導體同業(yè)齊心協(xié)力，制造出能夠為全球做出貢獻的日本芯片。

TEL作為重要關(guān)鍵設備伙伴，將扮演關(guān)鍵要角、攜手重振日本半導體雄風(fēng)。