臺積電稱(chēng)其已解決造成40nm制程良率不佳的工藝問(wèn)題
據臺積電公司高級副總裁劉德音最近在一次公司會(huì )議上表示,臺積電40nm制程工藝的良率已經(jīng)提升至與現有65nm制程相同的水平,他并表示公司已經(jīng)完美解決了先前造成40nm制程良率不佳的工藝腔匹配(Chamber matching)問(wèn)題.
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臺積電19日舉辦了一場(chǎng)慶祝Phase5新廠(chǎng)房完工的慶典儀式,這間廠(chǎng)房隸屬于新竹科技園區的臺積電Fab12工廠(chǎng).據悉新完工的Phase5廠(chǎng)房將于今年第三季度起開(kāi)始批量投產(chǎn)28nm制程產(chǎn)品。
另?yè)⒌乱舯硎?,臺積電正在計劃興建Fab12 Phase6廠(chǎng)房,這座Phase6廠(chǎng)房將用于生產(chǎn)22nm制程產(chǎn)品。
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