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MEMS

MEMS是微機電系統的縮寫(xiě)。MEMS主要包括微型機構、微型傳感器、微型執行器和相應的處理電路等幾部分，它是在融合多種微細加工技術(shù)，并應用現代信息技術(shù)的最新成果的基礎上發(fā)展起來(lái)的高科技前沿學(xué)科。 MEMS技術(shù)的發(fā)展...... [查看詳細]

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