全球五大半導體業(yè)者共同成立450mm聯(lián)盟

　　為加速發(fā)展450mm(18寸)晶圓世代到來(lái)，全球五大半導體業(yè)者IBM、英特爾(Intel)、三星電子(SamsungElectronics)、臺積電和GlobalFoundries在2011年共同成立全球450mm聯(lián)盟(Global450Consortium)，并于美國紐約州Albany設立450mm晶圓技術(shù)研發(fā)中心。

　　450mm聯(lián)盟成立后，18寸晶圓世代的技術(shù)和機臺設備有不少方針已開(kāi)始確立，是半導體產(chǎn)業(yè)邁入18寸晶圓世代的重要里程碑，另一個(gè)重要進(jìn)展是為了打破微影設備生產(chǎn)技術(shù)瓶頸，微影設備大廠(chǎng)ASML發(fā)起「客戶(hù)聯(lián)合投資專(zhuān)案」(CustomerCo-InvestmentProgram)，由英特爾、臺積電和三星電子共同投資。

　　此研發(fā)計劃一方面是支持ASML開(kāi)發(fā)EUV微影技術(shù)，提高既有光學(xué)微影工具的效能，另一方面也是加速18寸晶圓制造技術(shù)的發(fā)展。