Vistec Lithography宣布與華中科技大簽署戰略合作伙伴協(xié)議

　　電子束光刻系統的知名廠(chǎng)商Vistec Lithography公司近日宣布他們與中國武漢華中科技大學(xué)光電工程學(xué)院簽署了戰略合作伙伴協(xié)議。武漢華中科技大學(xué)是大陸國家級重點(diǎn)院校之一，而 Vistec Lithography則是電子束光刻設備的領(lǐng)先廠(chǎng)商，按協(xié)議規定，兩家將在納米光刻技術(shù)研究和教學(xué)領(lǐng)域開(kāi)展合作。

　　這次合作的核心是Vistec公司提供給華中科技大學(xué)的EBPG5000pES電子束光刻系統，裝備這套系統之后，華中科技大學(xué)在教學(xué)，科研以及對外合作方面的實(shí)力將如虎添翼。華中科技大學(xué)稱(chēng)：“裝備這種新型光刻系統之后，我們在光電領(lǐng)域的技術(shù)實(shí)力將大為增強.”

　　電子束光刻設備可用于制作光掩膜或進(jìn)行無(wú)需光掩膜的電子束直寫(xiě)光刻，直接在半導體材料上用電子束刻制所需的電路版圖。