佳能發(fā)售半導體光刻機解決方案平臺“Lithography Plus”

佳能將于2022年9月5日起發(fā)售解決方案平臺“Lithography Plus^１”服務(wù)（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“Lithography Plus”），該系統匯聚佳能在半導體制造領(lǐng)域超過(guò)50年的技術(shù)積淀，以包括曝光工藝在內的海量半導體制造數據為支持，在提升設備維護運轉率的同時(shí)，能夠實(shí)現半導體制造工藝的優(yōu)化。

 佳能陸續推出了具有高處理性能的KrF光刻機和支持多種設備的i線(xiàn)光刻機等一系列產(chǎn)品，多年來(lái)一直積極地為購置佳能光刻機的客戶(hù)提供技術(shù)支持?！?/span>Lithography Plus”通過(guò)綜合運用技術(shù)經(jīng)驗與數據積累，在實(shí)現高效維護作業(yè)的同時(shí)，提高了光刻機運轉率，助力生產(chǎn)效率的提升。

1.為半導體光刻機帶來(lái)更高效的運營(yíng)支持

該系統具有光刻機狀態(tài)分析、定期維護結果分析和光刻機停止原因分析多種功能。根據這些數據，光刻機操作員可以更輕松地制定部件更換與維護方案，做好光刻機的曝光質(zhì)量控制。此外，該系統的“控制面板（Dash Board）”功能可實(shí)現工廠(chǎng)內多個(gè)光刻機數據可視化，進(jìn)一步提高了操作員維護業(yè)務(wù)的效率。

2.搭載能夠有效提升半導體光刻機運轉率的功能

通過(guò)“異常檢測”功能，可監視光刻機的工作狀態(tài)，檢測發(fā)生的異常及征兆，防止光刻機停止工作。此外，“自動(dòng)恢復”功能也有助于故障修復作業(yè)。作業(yè)無(wú)法自動(dòng)恢復時(shí)，可以通過(guò)分析設備狀態(tài)，提供故障修復手冊，詳細介紹修復方法，來(lái)確保故障的順利修復。此外，佳能的專(zhuān)家工程師可以通過(guò)遠程客服系統，遠程共享和了解設備狀態(tài)，詳細解答操作員提出的問(wèn)題。

3. 工法（Recipe）²優(yōu)化功能助力實(shí)現高成品率

該系統搭載的“工藝解決方案”功能匯集了佳能迄今為止積累的光刻機優(yōu)化案例，并對相關(guān)工法（Recipe）進(jìn)行了優(yōu)化。通過(guò)精細對準和線(xiàn)寬控制設置，可提供自動(dòng)優(yōu)化后的工法（Recipe），從新型半導體工藝投入初期開(kāi)始，為實(shí)現高成品率³提供支持。此外，該系統還具備與APC⁴等工藝設備的接口，可與生產(chǎn)管理系統聯(lián)動(dòng)運行。

1.產(chǎn)品詳細信息請參閱佳能官網(wǎng)：https://global.canon/ja/product/indtech/semicon/index.html

2.針對不同設備和制造流程的產(chǎn)品制造要求

3.產(chǎn)品合格率

4.Advanced Process Control : 按批次指示最佳處理條件的機構。具有反映上一次加工結果和顯示上一道工藝結果預測值等的功能

〈新產(chǎn)品特征〉

l  “質(zhì)量把控（Quality Control）”功能可通過(guò)分析光刻機的狀態(tài)，進(jìn)行設備質(zhì)量管理。用戶(hù)可以利用該功能實(shí)時(shí)掌握質(zhì)量下降的征兆和對準精度，提前對性能進(jìn)行維護。

l  “數據趨勢監測（Data Trend Monitor）”功能可實(shí)現設備傳感器數據和測量數值的可視化，進(jìn)行經(jīng)時(shí)變化、產(chǎn)品設備依賴(lài)性及設備事件相關(guān)調查。用戶(hù)可以利用該功能輕松地判斷是否做出響應，確定響應方法和時(shí)間等。

l  “故障履歷”功能可以顯示設備停止原因排名，通過(guò)該功能可實(shí)時(shí)掌握需要處理的事項。

l  數據可視化“控制面板（Dash Board）”功能可在一個(gè)界面上顯示維護作業(yè)所需的數據，也可以根據用戶(hù)的角色和用途進(jìn)行定制。

Dash Board示意圖

l  “異常檢測”功能，可根據從半導體光刻機內各種傳感器獲得的信息，監視光刻機狀況，捕捉異常征兆，提前采取措施，防止設備停止工作。用戶(hù)可根據檢測結果采取必要的措施。

l  自動(dòng)恢復功能可在設備停止工作的狀態(tài)下，判斷是否可以恢復，如果可以恢復，設備會(huì )自動(dòng)恢復運轉。例如，發(fā)生地震等災害時(shí)，可使暫停工作的設備恢復到原來(lái)的工作狀態(tài)。

l  如果需要人工修復支持，該系統會(huì )根據設備停止狀態(tài)顯示有效的修復步驟實(shí)施手冊，為順利修復提供支持。

部件定位手冊

l  佳能的專(zhuān)家工程師能夠實(shí)時(shí)遠程檢查設備狀態(tài)，并提供遠程客戶(hù)服務(wù)。該系統搭載了從故障預防到故障發(fā)生后的處理等不同情形下的修復支持功能，以確保高水準的設備運轉率。

遠程客戶(hù)服務(wù)示意圖

l  通過(guò)對應用于不同產(chǎn)品器件、不同工藝的產(chǎn)品制造工法（Recipe）進(jìn)行自動(dòng)優(yōu)化，能有助于縮短從產(chǎn)品啟動(dòng)制造到穩定量產(chǎn)的周轉時(shí)間（TAT⁵）。該系統搭載的“工藝解決方案”功能，可通過(guò)精細對準和線(xiàn)寬控制設置，自動(dòng)提供相關(guān)優(yōu)化工法（Recipe），從新型半導體制造投入初期開(kāi)始，為實(shí)現高成品率提供支持。未來(lái)，佳能將繼續提供技術(shù)支持服務(wù)，以幫助客戶(hù)解決各種問(wèn)題。

5. 周轉時(shí)間。指從試制產(chǎn)品投入到穩定量產(chǎn)所需的時(shí)間。

l  具備與APC（Advanced Process Control）等工藝設備的接口，可與生產(chǎn)管理系統聯(lián)動(dòng)運行。