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EEPW首頁(yè) >> 主題列表 >> 光刻機

光刻機領(lǐng)域國內接近世界先進(jìn)水平,9nm線(xiàn)寬光刻實(shí)現突破

  •   SEMICON China 2017開(kāi)幕日即3月14日,上海微電子裝備(集團)股份有限公司(后簡(jiǎn)稱(chēng)“SMEE”)宣布,SMEE 與荷蘭公司 ASML 簽署戰略合作備忘錄(MoU),為雙方進(jìn)一步的潛在合作奠定了基礎。   根據這項合作備忘錄,ASML 和 SMEE 將探索就 ASML 光刻系統的特定模塊或半導體行業(yè)相關(guān)產(chǎn)品進(jìn)行采購的可能性。此次MoU的簽署代表 ASML 繼日前與上海集成電路研發(fā)中心(ICRD)宣布合作之后,進(jìn)一步深入參與中國的IC產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。   光刻機被稱(chēng)
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耗費巨資購買(mǎi)EUV光刻機 臺積電有何打算?

  • 臺積電、三星與英特爾之間先進(jìn)制程的戰局依舊如火如荼的展開(kāi),三方比拼毫不手軟。
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片內相位測量工具模擬光刻機

  • 關(guān)鍵字:片內相位測量 模擬光刻機采用特殊照明方式的高/超高數值孔徑(NA)的193nm光刻機和相位移掩膜版(PSM),使得光刻分辨率的極限達到了32nm節點(diǎn)。不利的因素是掩膜的復雜度正在以指數級遞增,而業(yè)界又迫切需要
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ASML TWINSCAN系統實(shí)現新的里程碑

  •   ASML近日宣布,兩位使用TWINSCAN 光刻機的芯片制造商實(shí)現了生產(chǎn)新紀錄,即在24小時(shí)內實(shí)現了超過(guò)4000片晶圓的處理。這個(gè)里程碑記錄是在XT:870和XT:400上實(shí)現的,兩家使用者為亞洲的不同客戶(hù)。設備幫助他們提高了300mm光刻生產(chǎn)能力。  
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沉浸式光刻機供貨緊缺 臺系內存芯片廠(chǎng)制程升級受阻

  •   據內存業(yè)者透露,由于著(zhù)名光刻設備廠(chǎng)商ASML生產(chǎn)的NXT:1950i沉浸式光刻機目前供貨十分緊缺,因此臺系內存芯片廠(chǎng)商收到所訂購的這種設備的時(shí)間 可能會(huì )再后延12個(gè)月之久,由于NXT:1950i沉浸式光刻機對這些廠(chǎng)商轉移到38nm以上級別制程至關(guān)重要,因此預計臺系內存芯片廠(chǎng)商制程轉換的進(jìn)度 會(huì )受到較大的影響。NXT:1950i 是荷蘭ASML公司最新開(kāi)發(fā)的沉浸式光刻機,可用于制造12英寸32nm及以上級別制程的產(chǎn)品.   此前曾有報道稱(chēng) NXT:1950i的訂貨至到貨日期已經(jīng)被拉長(cháng)到了將近12個(gè)月,
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Imec和ASML共同驗證用于沉浸式光刻的新型照明系統

  •   Imec和ASML已合作驗證ASML的Tachyon Source Mask Optimization和可編程照明系統FlexRay,通過(guò)22nm SRAM單元的制造展示了其潛在應用價(jià)值。今年10月,imec使用的ASML XT:1900i掃描光刻設備將安裝FlexRay產(chǎn)品,幫助imec進(jìn)一步開(kāi)拓沉浸式光刻技術(shù)的應用。
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ASML Q2業(yè)績(jì)創(chuàng )新高 6套EUV設備將交貨

  •   ASML日前宣布,其2010年Q2凈銷(xiāo)售達到1,069 million歐元,凈收入為239 million 歐元,Q2的凈訂單價(jià)值1,179 million 歐元,包括了48套新系統及11套二手系統。各項數據均較2010年Q1有所提高。   ASML總裁兼CEO Eric Meurice認為,Q2銷(xiāo)售的強勁增長(cháng)證明了半導體產(chǎn)業(yè)近期對于光刻設備的需求,已有近20套NXT:1950i 設備運出。所有ASML的先進(jìn)NXT光刻機都包括了一個(gè)或多個(gè)一體化光刻部件。對于下一代將要應用于20nm以下節點(diǎn)的產(chǎn)品,E
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09尼康Nikon光刻機銷(xiāo)售下降

  •   Nikon的09半導體設備銷(xiāo)售額與08年相比下降31.7%為16億美元。   09年虧損6,32億美元, 相比于08年盈利8600萬(wàn)美元。其中半導體用光刻機銷(xiāo)售數量下降40%及LCD用光刻機下降30%。   按路透社報道,日本尼康公司計劃在2011年3月底結算的年度中, 銷(xiāo)售半導體用光刻機48臺, 相比09年的36臺,及LCD用光刻機58臺, 相比09年的45臺。
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全球存儲器短缺的三個(gè)理由

  •   2010年全球存儲器可能出現供應缺貨,而且非??赡軙?huì )延續下去。為什么?可能有三個(gè)原因,1),存儲器市場(chǎng)復蘇;2),前幾年中存儲器投資不足;3),由ASML供應的光刻機交貨期延長(cháng)。   巴克菜投資公司的分析師 Tim Luke在近期的報告中指出,通過(guò)存儲器的食物供應鏈看到大量的例證,認為目前存儲器供應偏緊的局面將持續2010整年,甚至延伸到2011年。   據它的報告稱(chēng),2010年全球NAND閃存的位增長(cháng)可達70%,而2009增長(cháng)為41%。2010年全球DRAM的位增長(cháng)達52%。   Luke認為
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半導體設備制造商面臨六大挑戰

  •   2009年對于半導體設備制造商是不可忘懷之年。所有制造商都受到危機的影響,但是2010年半導體工業(yè)正處于恢復之中,然而設備制造商仍面臨眾多的挑戰。   在SEMI主辦的ISS會(huì )上Globalfoundries的fab2總經(jīng)理 Norm Armour列出設備制造商面臨的六大挑戰。   1 兼并加劇   由于在有的設備類(lèi)中仍有4-5家制造商,所以兼并將加劇。當然也有如光刻機,僅剩下兩家,但是CVD,PVD,Etch仍顯太多。   2 光刻機價(jià)格高聳   用在光刻上的投資越來(lái)越大(一臺193nm浸
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半導體業(yè)衰退重創(chuàng )設備業(yè)

  •   在全球金融危機影響下,半導體業(yè)正進(jìn)入前所未遇的嚴重衰退時(shí)期,半導體固定資產(chǎn)投資在2008年下降27.3%基礎上,2009年將再下降34.1%。綜合分析各大分析機構的預測數據,2009年全球半導體業(yè)年銷(xiāo)售額的下降幅度將在15%到20%之間。   半導體設備業(yè)受災最重   半導體產(chǎn)業(yè)鏈中設備業(yè)受到的影響相對最為嚴重。依Gartner公司的官方數據顯示,全球半導體業(yè)固定資產(chǎn)投資兩年來(lái)逐漸下滑,2007年為592億美元,2008年下降了27.3%,為490億美元,而09年將再次下降34.1%,為323億美
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KLA-Tencor推出可解決二次成像挑戰的首款計算光刻機

  •   KLA-Tencor 公司(納斯達克股票代碼:KLAC)今天推出其領(lǐng)先業(yè)界的最新版計算光刻機 PROLITH 11。這種新型光刻機讓用戶(hù)首次得以評估當前的二次成像方案,并以較低的成本針對光刻在設計、材料與制程開(kāi)發(fā)等方面挑戰,嘗試不同的解決方案。這種新型計算光刻機還支持單次成像和浸沒(méi)技術(shù)。   KLA-Tencor 制程控制信息部副總裁兼總經(jīng)理 Ed Charrier 指出:“由于光刻復雜性及實(shí)驗成本的大幅增加,電路設計師與芯片制造商不得不面對二次成像光刻所帶來(lái)的挑戰。計算光刻已成為控制這
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中芯國際今年將進(jìn)全球45納米"俱樂(lè )部"

  •   中芯國際正悄悄從海外進(jìn)口關(guān)鍵設備,欲搶在今年年底試產(chǎn)45納米芯片,從而進(jìn)入全球半導體代工業(yè)45納米的“俱樂(lè )部”。   消息人士對《第一財經(jīng)日報》透露,29日中芯國際上海12英寸廠(chǎng)采購浸潤式光刻機已到位,“這標志著(zhù)中芯國際在量產(chǎn)45納米芯片方面有了生產(chǎn)保障。”   天價(jià)光刻機悄悄到廠(chǎng)   本報獲悉,這是中國大陸的第一臺浸潤式光刻機,該設備由荷蘭ASML生產(chǎn),后者是全球這一領(lǐng)域的第一大供應商。上述消息人士透露,由于光刻機屬高精密設備,為防止震動(dòng),從機場(chǎng)
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光刻機介紹

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