國產(chǎn)光刻機工廠(chǎng)落地雄安？中國電子院澄清：這是北京高能同步輻射光源

近期，一則消息在各大視頻平臺廣為傳播，稱(chēng)清華大學(xué)EUV項目把ASML的光刻機巨大化，實(shí)現了光刻機國產(chǎn)化，并表示這個(gè)項目已經(jīng)在雄安新區落地。

對此，中國電子工程設計院有限公司（下稱(chēng)中國電子院）9月18日發(fā)聲，稱(chēng)該項目并非網(wǎng)傳的國產(chǎn)光刻機工廠(chǎng)，而是北京高能同步輻射光源項目（HEPS）。

北京高能同步輻射光源項目坐落于北京懷柔雁棲湖畔，是國家“十三五”重大科技基礎設施，它是我國第一臺高能量同步輻射光源，也是世界上亮度最高的第四代同步輻射光源之一。該項目早在2019年就開(kāi)始建設、將于2025年底投入使用。

北京高能同步輻射光源項目實(shí)拍圖

HEPS是干嘛用的呢？它的作用是通過(guò)加速器將電子束加速到6GeV，然后注入周長(cháng)1360米的儲存環(huán)，用接近光速的速度保持運轉。電子束在儲存環(huán)的不同位置通過(guò)彎轉磁鐵或者各種插入件時(shí)就會(huì )沿著(zhù)偏轉軌道切線(xiàn)的方向，釋放出穩定、高能量、高亮度的光，也就是同步輻射光。

中國電子院解釋稱(chēng)，HEPS可以看成是一個(gè)超精密、超高速、具有強大穿透力的巨型X光機，它產(chǎn)生的小光束可以穿透物質(zhì)、深入內部進(jìn)行立體掃描，從分子、原子的尺度多維度地觀(guān)察微觀(guān)世界，HEPS是進(jìn)行科學(xué)實(shí)驗的大科學(xué)裝置，并不是網(wǎng)傳的光刻機工廠(chǎng)。

中國電子院稱(chēng)，該項目由全國勘察設計大師、國投集團首席科學(xué)家?jiàn)溆顜ш?，中國電子院多個(gè)技術(shù)科研和設計團隊協(xié)同合作，從項目可研立項到項目落地攻克了多項技術(shù)和工藝難關(guān)。目前高能同步輻射光源配套工程已全面完工。