為什么說(shuō)佳能是「明智」的光刻機出貨商?
1995 年,當日本半導體行業(yè)競爭還很激烈時(shí),尼康在光刻設備出貨額中占有 48.9% 的份額,佳能占 28.7% 的份額,讓日本總共獲得了 77.6% 的份額。當時(shí),尼康在光刻設備市場(chǎng)占有率第一,被譽(yù)為「器材之王」(圖 1)。
本文引用地址:http://dyxdggzs.com/article/202407/460871.htm圖 1 按公司劃分的光刻設備出貨量和份額(截至 2023 年)來(lái)源:根據摩根士丹利證券數據創(chuàng )建
然而,1995 年市場(chǎng)份額為 15.9% 的荷蘭 ASML 此后市場(chǎng)份額快速提升,于 2002 年超越尼康和佳能,2010 年市場(chǎng)份額超過(guò) 80%,2021 年市場(chǎng)份額達到 90%。2023 年,ASML 將以 94.2% 的市場(chǎng)份額占據主導地位,而尼康的市場(chǎng)份額將下降至 3.1%,佳能的市場(chǎng)份額將下降至 2.8%。
ASML 在 ArF 沉浸式設備的吞吐量和可用性方面壓倒了日本競爭對手,自 2008 年以來(lái),ArF 沉浸式設備已成為其主打產(chǎn)品。ASML 已成為尖端光刻設備 EUV 領(lǐng)域的主導公司。結果,日本在光刻設備領(lǐng)域的存在似乎消失了。
然而,如果我們計算光刻設備的「各類(lèi)光刻設備的出貨量份額」而不是「EUV 光刻設備出貨量份額」,則會(huì )出現完全不同的情況。筆者想討論下面的細節。
各公司光刻設備出貨量及占比
圖 2 顯示了各公司出貨的光刻設備數量。2011 年至 2014 年,ASML 出貨量從 222 臺減少至 136 臺。此外,尼康的銷(xiāo)量從 85 臺減少到 34 臺。另一方面,佳能的出貨量變化不大,從 52 臺變化到 54 臺。

圖 2 按公司劃分的光刻設備出貨量(截至 2023 年)來(lái)源:根據摩根士丹利證券數據創(chuàng )建
不過(guò),從 2015 年到 2023 年,ASML 和佳能的出貨量大幅增長(cháng)。ASML 從 169 臺增加到 449 臺,佳能從 80 臺增加到 187 臺。另一方面,尼康的銷(xiāo)量從 42 臺增加到 45 臺,并沒(méi)有大幅增長(cháng)。
接下來(lái)我們看一下全球光刻設備的出貨量以及各公司的出貨量占比(圖 3)。

圖 3 按公司劃分的光刻設備出貨量份額(截至 2023 年)來(lái)源:根據摩根士丹利證券數據創(chuàng )建
ASML 的出貨量份額穩定在 65% 左右。另一方面,佳能的市場(chǎng)份額從 2011 年的 11.4% 逐漸上升,2015 年以來(lái)一直維持在 30% 以下。另一方面,尼康的市場(chǎng)份額逐漸下降,從 2011 年的 23.7%,下降到 2023 年的 6.6%。
這樣一來(lái),佳能在銷(xiāo)量份額上根本無(wú)法與 ASML 匹敵,但在出貨量上卻擁有 ASML 近一半的份額。
那么,佳能大量出貨的是哪些光刻設備呢?
各公司光刻設備出貨量
圖 4 顯示了各公司各種光刻設備的出貨量。只有 ASML 可以出貨最先進(jìn)的光刻設備 EUV,每臺成本為 240 億日元。
至于每臺成本 98 億日元的 ArF 沉浸式,ASML 有 125 臺,尼康有 9 臺,ASML 以壓倒性?xún)?yōu)勢領(lǐng)先尼康。在每臺售價(jià) 31 億日元的 ArF 干貨市場(chǎng),ASML 有 32 臺,尼康有 10 臺,所以尼康做得好一點(diǎn)。

圖 4 按公司劃分的各種光刻設備的價(jià)格和出貨量(2023 年)來(lái)源:根據摩根士丹利證券數據創(chuàng )建
其中數量最多的 KrF 為 16 億日元,ASML 有 184 臺,尼康只有 2 臺,佳能有 56 臺。佳能在這里首次出現,佳能的 56 臺機器占 ASML 184 臺機器的 30%。此外,單價(jià) 7 億日元的 i-line,ASML 出貨量為 55 臺,尼康出貨量為 24 臺,佳能出貨量為 131 臺,約為 ASML 的 2.4 倍。
注意,各種光刻設備的價(jià)格是參考 ASML 的財務(wù)報告計算的。當時(shí)換算成日元是 1 歐元=160 日元。
佳能專(zhuān)注于 KrF 和 i-line
這樣看來(lái),佳能的戰略就清晰了。佳能的策略是專(zhuān)注于 KrF 和 i-line,而不觸及 EUV 和 ArF 等先進(jìn)技術(shù)。而且這個(gè)策略確實(shí)有效。
這是因為在制造半導體時(shí),無(wú)論多么尖端,都不可能只使用 EUV;而是會(huì )使用 ArF 浸沒(méi)式、ArF 干式、KrF 和 i-line。換句話(huà)說(shuō),無(wú)論未來(lái)半導體小型化進(jìn)展如何,KrF 和 i-line 總會(huì )有生意的。而且,由于設備成熟,開(kāi)發(fā)成本幾乎可以忽略不計。因此,佳能對 KrF 和 i-line 的重視可以說(shuō)是非常出色的。
另一方面,尼康的策略不如佳能那么明確。在 ArF 浸沒(méi)和 ArF 干燥方面,尼康無(wú)法與 ASML 匹敵。憑借 KrF 和 i-line,無(wú)法擊敗佳能。換句話(huà)說(shuō),尼康似乎正在彌補 ASML 在尖端設備方面的不足,并在彌補佳能在成熟設備方面的不足。
正如開(kāi)頭提到的,尼康在 20 世紀 90 年代被譽(yù)為「器材之王」。然而,由于 ASML 和佳能,它現在得以生存。你能真正感受到事物的盛衰、無(wú)常。
展望未來(lái),ASML 在尖端光刻設備方面已開(kāi)始出貨下一代 EUV 機器「High NA」。此外,下一代「Hyper NA」將于 2030 年左右開(kāi)發(fā)。
如此看來(lái),佳能似乎將業(yè)務(wù)重點(diǎn)放在 KrF 和 i-line 上,而 ASML 則投入巨額研發(fā)成本,推進(jìn)尖端技術(shù)。我覺(jué)得佳能放棄尖端的策略很「聰明」。
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