高能同步輻射光源 文章 進(jìn)入高能同步輻射光源技術(shù)社區

國產(chǎn)光刻機工廠(chǎng)落地雄安？中國電子院澄清：這是北京高能同步輻射光源

• 近期，一則消息在各大視頻平臺廣為傳播，稱(chēng)清華大學(xué)EUV項目把ASML的光刻機巨大化，實(shí)現了光刻機國產(chǎn)化，并表示這個(gè)項目已經(jīng)在雄安新區落地。對此，中國電子工程設計院有限公司（下稱(chēng)中國電子院）9月18日發(fā)聲，稱(chēng)該項目并非網(wǎng)傳的國產(chǎn)光刻機工廠(chǎng)，而是北京高能同步輻射光源項目（HEPS）。北京高能同步輻射光源項目坐落于北京懷柔雁棲湖畔，是國家“十三五”重大科技基礎設施，它是我國第一臺高能量同步輻射光源，也是世界上亮度最高的第四代同步輻射光源之一。該項目早在2019年就開(kāi)始建設、將于2025年底投入使用。北京高能同步
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