尼康推出新一代步進(jìn)式光刻機“NSR-2205iL1”，2024 年夏季上市
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IT之家 9 月 6 日消息，尼康宣布推出新一代具有 5 倍縮小投影倍率的 i-line 步進(jìn)式光刻機“NSR-2205iL1”，預計 2024 年夏季上市。
本文引用地址：http://dyxdggzs.com/article/202309/450276.htm
據稱(chēng)，這種光刻機具有縮小投影放大系統，支持功率半導體、通信半導體和 MEMS 等多種產(chǎn)品，并且與尼康現有的 i-line 曝光設備高度兼容；NSR-2205iL1 代表了尼康 5 倍步進(jìn)技術(shù)在過(guò)去二十五年中的最重大的更新，將可直接響應客戶(hù)對這些在芯片制造中發(fā)揮重要作用的光刻系統的需求。
尼康表示，與現有的尼康 i-line 曝光系統相比，NSR-2205iL1 具有出色的經(jīng)濟性，無(wú)論晶圓材料如何，都可以?xún)?yōu)化各種半導體器件的生產(chǎn)。
IT之家注：這是尼康 25 年來(lái)（從 1999 年“NSR-2205i14E2”開(kāi)始接單時(shí)計算）首次推出投影倍率降低 5 倍的新型 i-line 曝光系統。
主要性能：
| 分辨率 | ≤350nm |
|---|---|
| NA（孔徑） | 0.45 |
| 光源 | i-line（波長(cháng)：365 nm） |
| 縮小倍率 | 1:5 |
| 最大曝光場(chǎng) | 22×22mm |
| 疊加精度 | SMO：≤70nm |
尼康指出，隨著(zhù)電動(dòng)汽車(chē)、高速通信和各種 IT 設備的普及，支持這些應用的半導體需求呈指數級增長(cháng)。這些半導體必須執行各種具有挑戰性的功能，因此，設備制造商需要專(zhuān)門(mén)的基板和曝光系統來(lái)制造這些芯片。
除了擴展各種功能選項以滿(mǎn)足客戶(hù)多樣化的需求外，這款新開(kāi)發(fā)的 i-line 光刻機還將支持長(cháng)期的設備生產(chǎn)。
據介紹，NSR-2205iL1 可通過(guò)多點(diǎn)自動(dòng)對焦（AF）、先進(jìn)的晶圓臺平整技術(shù)以及寬深度焦點(diǎn)范圍（DOF）等多種優(yōu)點(diǎn)，在高精度晶圓測量的基礎上，為各種半導體制造過(guò)程提供高生產(chǎn)率，并優(yōu)化產(chǎn)量水平。此外，由于其晶圓厚度和尺寸的兼容性、高晶圓翹曲容忍度以及靈活的功能（包括但不限于支持 SiC（碳化硅）和 GaN（氮化鎵）加工），NSR-2205iL1 i-line 光刻機非常適用于各種應用場(chǎng)景。這款光刻機將提供卓越的性?xún)r(jià)比，同時(shí)滿(mǎn)足芯片制造商多樣化的需求。
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