《瓦森納協(xié)議》不攻自破？這幾家大陸廠(chǎng)喜提ASML設備

　　隨著(zhù)全球半導體行業(yè)的競爭已經(jīng)進(jìn)入到了“下半場(chǎng)”，臺積電和三星在7nm正打得火熱，但兩邊手里的“武器”，也就是極紫外光刻(EUV)光刻機，均是來(lái)自于ASML。

　　曾經(jīng)，一直傳言受西方《瓦森納協(xié)議》的限制，中國只能買(mǎi)到ASML的中低端產(chǎn)品，但ASML后來(lái)正式澄清，其最高端的EUV光刻機進(jìn)口到中國大陸完全沒(méi)有問(wèn)題。

　　那么近兩年以來(lái)，大陸有哪些集成電路制造商引進(jìn)了ASML的設備呢?

　　中芯國際：1.2億美元的EUV光刻機

　　去年5月，中芯國際向ASML訂購了一套EUV設備，據傳是當時(shí)最昂貴和最先進(jìn)的芯片生產(chǎn)工具，價(jià)值高達1.2億美元，這一設備預計將于2019年年初交付。

　　知情人士表示，1.2億美元的價(jià)格和2019年的交貨時(shí)間可能不準確，但訂單是真實(shí)的。他還指出，如果價(jià)格是1.2億美元，臺積電和三星的價(jià)格也不會(huì )低于這個(gè)數目。也就是說(shuō)，ASML給到中芯國際的價(jià)格已經(jīng)很便宜了。

　　集微網(wǎng)記者根據價(jià)格推測，中芯國際訂購的這臺EUV光刻機的型號應該是TwinscanNXE：3400B，這是當時(shí)市面上最先進(jìn)的EUV光刻機設備。

　　據ASML官網(wǎng)顯示，這臺價(jià)值1.2億美元的天價(jià)設備，能夠支持精細到5nm工藝節點(diǎn)的批量生產(chǎn)，由此也可以見(jiàn)得，14nm不是中芯國際的最終目標，7nm時(shí)代并不會(huì )太遙遠。

　　在其他數據方面，該設備采用了卡爾蔡司SMT全反射4倍光學(xué)變焦鏡頭組件，最大曝光范圍為26mm×33mm，擁有每小時(shí)155片的300mm尺寸晶圓雕刻能力。

　　要知道，這臺價(jià)值EUV設備的價(jià)值大致相當于中芯國際2017年的1.26億美元凈利潤，半導體行業(yè)專(zhuān)家莫大康曾表示這是為研發(fā)做準備的大投資，但不能高興的太早，因為設備出口許可證，ASML說(shuō)了不算，還要聽(tīng)美國的。

　　不過(guò)，ASML今年還將推出產(chǎn)能更高的新型號TwinscanNXE:3400C，每小時(shí)晶圓雕刻能力將從155片提升至170片，并換裝了Cymer公司的340W光源。這樣一來(lái)，預計3400B運抵中芯國際廠(chǎng)區的時(shí)候，已經(jīng)不再是市面上最先進(jìn)的EUV設備了。

　　長(cháng)江存儲：NXT1980Di

　　就在中芯國際下單EUV光刻機幾天后，長(cháng)江存儲購買(mǎi)自ASML的光刻機也運抵了武漢天河機場(chǎng)，陸續還有多臺進(jìn)廠(chǎng)。

　　根據集微網(wǎng)當時(shí)的報道，這臺光刻機為ASML的193nm浸潤式光刻機,型號為NXT1980Di，售價(jià)達7200萬(wàn)美元(約合人民幣4.6億元)，用于10nm級(14～20nm)的晶圓生產(chǎn)。

　　據了解，長(cháng)江存儲在2016年啟動(dòng)了位于武漢的國家存儲器基地的建設，總投資高達240億美元，按計劃，2020年月產(chǎn)能將達到30萬(wàn)片。

　　華虹六廠(chǎng)：喜提14nm關(guān)鍵設備

　　去年5月21日上午，華虹集團旗下上海華力集成電路制造有限公司建設和營(yíng)運的12英寸先進(jìn)生產(chǎn)線(xiàn)建設項目(“華虹六廠(chǎng)”)首臺工藝設備光刻機正式進(jìn)廠(chǎng)。

　　這臺ASML的光刻機型號與長(cháng)江存儲的193nm雙級沉浸式光刻機一樣，都是NXT1980Di，這兩臺也是當時(shí)大陸裝備的最先進(jìn)的沉浸式光刻設備。

　　華力12英寸先進(jìn)生產(chǎn)線(xiàn)建設項目是上海市最大的集成電路產(chǎn)業(yè)投資項目，總投資387億元人民幣，將建成月產(chǎn)能4萬(wàn)片的12英寸集成電路芯片生產(chǎn)線(xiàn)，工藝覆蓋28-14納米技術(shù)節點(diǎn)。

　　預計該生產(chǎn)線(xiàn)將于2022年底建成達產(chǎn)，未來(lái)主要從事邏輯芯片生產(chǎn)，重點(diǎn)服務(wù)國內設計企業(yè)先進(jìn)芯片的制造，并滿(mǎn)足部分事關(guān)國家信息安全的重點(diǎn)芯片制造需求。

　　SK海力士(無(wú)錫)：如期而至的NXT:2000i

　　去年8月，ASML曾表示已經(jīng)開(kāi)始出貨新設備TwinscanNXT:2000iDUV(NXT:2000i雙工件臺深紫外光刻機)，可用于7nm和5nm節點(diǎn)，并表示不久后就將進(jìn)入大陸。

　　ASML果然沒(méi)有食言，去年12月19日晚間，中國首臺ASMLNXT:2000i正式搬入SK海力士位于無(wú)錫的工廠(chǎng)。

　　NXT:2000i將是NXE:3400BEUV光刻機的有效補充，臺積電的第一代7nm全部采用了DUV工藝，在第二代7nm工藝(CLNFF+/N7+)，臺積電首次應用了EUV，不過(guò)僅限四個(gè)非關(guān)鍵層，其他關(guān)鍵層仍然使用的是DUV工藝。

　　作為當前ASML旗下套刻精度(overlay)最高的產(chǎn)品，NXT:2000i達到了和3400B一樣的1.9nm(5nm要求至少2.4nm，7nm要求至少3.5nm)精度。

　　無(wú)錫是SK海力士在中國的DRAM內存芯片生產(chǎn)基地，目前每月晶圓的產(chǎn)量約為14萬(wàn)片。另外，SK海力士還成立了SKHynixSystemIC公司，開(kāi)始進(jìn)軍晶圓代工市場(chǎng)，同時(shí)增加1000萬(wàn)美元投資，在無(wú)錫擴大了模擬IC芯片業(yè)務(wù)。

　　粵芯：神秘的運輸車(chē)

　　今年3月15日，廣州粵芯半導體在廣州舉行了主設備進(jìn)場(chǎng)儀式。日前，曾有數臺載有半導體設備的運輸車(chē)進(jìn)入了粵芯的廠(chǎng)區，其中就有一臺格外引人注目，因為其車(chē)廂外部印有ASML商標。

　　據集微網(wǎng)記者了解，粵芯半導體項目是國內第一座以虛擬IDM(irtuallDM)為營(yíng)運策略的12英寸芯片廠(chǎng)，也是廣州第一條12英寸芯片生產(chǎn)線(xiàn)，一期目標產(chǎn)能為4萬(wàn)片每月，投資高達100億元。

　　粵芯半導體目前的工藝覆蓋90nm到180nm，產(chǎn)品主要包括微處理器、電源管理芯片、模擬芯片、功率分立器件等。二期工程建成后，能滿(mǎn)足物聯(lián)網(wǎng)、汽車(chē)電子、人工智能、5G等創(chuàng )新應用的模擬芯片需求，屆時(shí)工藝覆蓋將為40nm到65nm。

　　單以工藝節點(diǎn)的覆蓋來(lái)推測的話(huà)，這臺ASML的設備，有可能是TwinscanNXT:1965Ci，該設備能滿(mǎn)足20nm級別的光刻工藝需求。

　　鞋是別人的，路還要靠自己走

　　ASML去年的凈銷(xiāo)售額為109億歐元，凈收入為26億歐元。僅第4季度就收到了5個(gè)EUV設備訂單。按計劃，今年更將出貨30臺EUV設備，其中包括DRAM客戶(hù)的首批批量生產(chǎn)系統。

　　中國大陸的半導體制造目前還落后于世界一流水平兩至三代，雖然如今有ASML先進(jìn)的硬件設施鼎力相助，但還需要自身工藝研發(fā)方面取得突破。

　　如今，就連臺積電和三星這樣的大廠(chǎng)都要看ASML的臉色行事，沒(méi)有ASML提供設備，他們的先進(jìn)工藝研發(fā)也會(huì )受阻。中國半導體產(chǎn)業(yè)在追趕世界第一梯隊的路上，半導體設備國產(chǎn)化具有重要戰略意義。

　　雖然去年出現過(guò)一臺號稱(chēng)能做10nm的國產(chǎn)光刻機，但后來(lái)澄清了這臺只是原理機，不專(zhuān)業(yè)的報道一度引得國人拍手叫好。其實(shí)，國內也有像中微半導體和北方華創(chuàng )這樣有實(shí)力的半導體設備廠(chǎng)商，雖然與ASML有一定實(shí)力差距，但要想不受制于人，只有自主研發(fā)一條路。