中芯1.2億美元下單最先進(jìn)EUV光刻機 如何躲過(guò)《瓦森納協(xié)定》的？

　　據《日經(jīng)亞洲評論》(Nikkei Asian Review)15日援引消息人士的話(huà)稱(chēng)，中國芯片加工企業(yè)中芯國際(SMIC)向全球最大的芯片設備制造商——荷蘭ASML訂購了首臺最先進(jìn)的EUV(極紫外線(xiàn))光刻機，價(jià)值1.2億美元。目前，業(yè)內已達成共識，必須使用EUV光刻機才能使半導體芯片進(jìn)入7nm，甚至5nm時(shí)代。今天，中芯國際方面對觀(guān)察者網(wǎng)表示，對此事不做評論。

　　消息稱(chēng)，這臺幾乎相當于中芯國際去年全部?jì)衾麧櫟脑O備，將于2019年前交付。

　　ASML發(fā)言人對《日經(jīng)亞洲評論》表示，該企業(yè)對包括中國客戶(hù)在內的全球客戶(hù)都一視同仁。而且，向中國出售EUV光刻機并沒(méi)有違反《瓦森納協(xié)定》(the Wassenaar Arrangement)(下稱(chēng)：《協(xié)定》)。

　　半導體行業(yè)專(zhuān)家莫大康對此分析稱(chēng)，“1.2億美元加上配套是個(gè)大投資，是為研發(fā)作好準備。在到貨之前，尚不能說(shuō)ok，因為設備出口許可證，ASML說(shuō)了不算，還要聽(tīng)美國的”。

　　中芯國際員工在上海晶圓廠(chǎng)

　　據消息人士透露，作為內地規模最大、技術(shù)最先進(jìn)的芯片制造企業(yè)，中芯國際是在美國4月份對中興通訊制裁后下達的訂單。

　　他還表示，中芯國際在采購此價(jià)格不菲的設備上，獲得了來(lái)自中國政府方面的資金支持。

　　觀(guān)察者網(wǎng)注意到，對比這臺EUV光刻機的價(jià)值，中芯國際去年凈利潤僅為1.264億美元。

　　TWINSCAN NXE：3400B EUV光刻機。截圖自ASML官網(wǎng)

　　ASML是世界上唯一一個(gè)能夠制造EUV光刻機的廠(chǎng)商，并且產(chǎn)量極低。其全部產(chǎn)能早在生產(chǎn)之前就被預訂一空。

　　在中美貿易爭端之際，中芯國際向ASML下訂單，將不僅使中國企業(yè)縮小與芯片市場(chǎng)領(lǐng)導者的代差，同時(shí)也能保證對華關(guān)鍵設備的供應。

　　值得注意的是，ASML在4月中旬舉行的財報會(huì )議上公開(kāi)稱(chēng)，今年計劃有20臺EUV光刻機交付，但并沒(méi)有說(shuō)明訂單詳情。

　　不過(guò)，ASML客戶(hù)包括英特爾、三星和臺積電等國際芯片巨頭，EUV光刻機也將確保上述企業(yè)保持在芯片領(lǐng)域的領(lǐng)先優(yōu)勢。

　　根據《日經(jīng)亞洲評論》提供的數據，今年，臺積電已經(jīng)向ASML訂購接近10臺EUV光刻機，三星約為6臺，英特爾為3臺。

　　另外，該報道作者還認為，雖然中芯國際的技術(shù)落后三星、臺積電兩到三代，并且現在還在28nm和14nm制程上掙扎，但是中芯國際購買(mǎi)其第一臺EUV光刻機的舉動(dòng)，凸顯了其提升中國自主半導體制造的決心。

　　事實(shí)上，EUV光刻機作為現今最先進(jìn)的芯片制造設備，是唯一能夠生產(chǎn)7nm以下制程，因此，其也被稱(chēng)為“突破摩爾定律的救星”。

　　從2019年半導體芯片將進(jìn)入7nm時(shí)代開(kāi)始(現在處于10nm時(shí)代)，EUV光刻機可以被稱(chēng)為戰略性設備，沒(méi)有就會(huì )使芯片制造寸步難行。

　　“中芯提前布局7nm是件好事”

　　《日經(jīng)亞洲評論》報道稱(chēng)，目前，幾家領(lǐng)先的芯片制造商仍在努力安裝和測試EUV光刻機。但由于還沒(méi)有成功生產(chǎn)7nm以下制程芯片的經(jīng)驗，仍有很多挑戰需要克服。

　　工藝尺寸越小，開(kāi)發(fā)越昂貴且難度越大，當然芯片性能也越強大。

　　報道提到，目前，蘋(píng)果iPhone X和iPhone 8系列的核心處理器采用了臺積電的10nm工藝，今年新款iPhone的處理器預計將采用7nm工藝。

　　如今，業(yè)內已達成共識，更尖端的芯片制造工藝將小于5nm，并且必須使用EUV光刻機才能實(shí)現。

　　有分析師稱(chēng)，盡管代價(jià)高昂，并且需要很長(cháng)時(shí)間追趕對手，但是中芯國際不會(huì )放棄投資半導體技術(shù)。

　　中芯國際CEO趙海軍

　　據中芯國際CEO趙海軍透露，今年將全年資本支出從19億美元上調至23億美元，用于先進(jìn)制程的研發(fā)、設備開(kāi)支以及擴充產(chǎn)能。

　　他預測，未來(lái)幾年，中國芯片設計廠(chǎng)商數量每年將增長(cháng)20%。

　　“中芯國際已處于有利位置，將抓住有潛力的市場(chǎng)，并通過(guò)加速發(fā)展制造工藝，擴大可預期的市場(chǎng)空間”。

　　一位接近中芯的業(yè)內人士坦言， 中芯國際對未來(lái)先進(jìn)工藝做儲備是意料之中的，也證明該公司對未來(lái)發(fā)展的路徑非常清晰。

　　另外，莫大康指出，中芯有錢(qián)提前布局7nm是件好事。目前該設備實(shí)用性方面還有一些問(wèn)題，所以需要做許多配套工作。

　　“對于中芯來(lái)說(shuō)，要從人員培訓開(kāi)始，正好是個(gè)學(xué)習機會(huì )，等中芯能做7nm可能至少5年以上，還趕得上”。

　　《瓦森納協(xié)定》嚴重影響我國高科技國際合作

　　本文開(kāi)頭所提到的《協(xié)定》，全稱(chēng)為《關(guān)于常規武器和兩用物品及技術(shù)出口控制的瓦森納安排》，是世界主要的工業(yè)設備和武器制造國在巴黎統籌委員會(huì )解散后，于1996年成立的一個(gè)旨在控制常規武器和高新技術(shù)貿易的國際性組織。

　　《協(xié)定》擁有33個(gè)成員國，中國不在其列，其主要目的是阻止關(guān)鍵技術(shù)和元器件流失到成員國之外。

　　值得注意的是，《協(xié)定》雖然允許成員國在自愿的基礎上對各自的技術(shù)出口實(shí)施控制，但實(shí)際上，成員國在重要的技術(shù)出口決策上受到美國的影響。

　　而中國、朝鮮、伊朗、利比亞等國均在被限制國家名單之中。

　　不難想象，這嚴重影響了我國與其成員國之間開(kāi)展的高技術(shù)國際合作。

　　譬如，作為《協(xié)定》成員國之一的日本，出于政治和經(jīng)濟的需要，也一直對中日兩國高技術(shù)合作與交流持消極、謹慎的態(tài)度。

　　而在半導體領(lǐng)域，受限于《協(xié)定》，從芯片設計、生產(chǎn)等多個(gè)領(lǐng)域，中國都不能獲取到國外的最新科技。

　　臺積電創(chuàng )始人張忠謀，有“芯片大王”、“臺灣半導體教父”之稱(chēng)

　　騰訊財經(jīng)此前報道，臺積電2016年在南京獨資設立16nm制程12英寸晶圓廠(chǎng)前，受到了美國的百般阻撓。

　　但最終，國民黨借助當時(shí)在臺“立法院”的優(yōu)勢，艱難地通過(guò)了南京晶圓廠(chǎng)的投資審核。

　　不止臺積電，包括三星、英特爾在內的半導體三巨頭均受到《協(xié)定》框架的約束，而“三巨頭”也壟斷了全球的高端芯片制造。

　　另外，值得一提的是，15日，路透社報道援引三星一名高管的話(huà)稱(chēng)，他們正與包括中興在內的數家智能手機制造商洽談移動(dòng)處理器芯片供應業(yè)務(wù)。

　　三星電子隨后在一份聲明中對稱(chēng)，尚不能確定能與中興達成協(xié)議，其政策是對待所有廠(chǎng)商或者所有客戶(hù)一視同仁。