KLA-Tencor宣布推出針對光學(xué)和EUV 空白光罩的全新FlashScanTM產(chǎn)品線(xiàn)

　　今天，KLA-Tencor公司宣布推出全新的FlashScanTM空白光罩*檢測產(chǎn)品線(xiàn)。自從1978年公司推出第一臺檢測系統以來(lái)，KLA-Tencor一直是圖案光罩檢測的主要供應商，新的FlashScan產(chǎn)品線(xiàn)宣告公司進(jìn)入專(zhuān)用空白光罩的檢驗市場(chǎng)。光罩坯件制造商需要針對空白光罩的檢測系統，用于工藝開(kāi)發(fā)和批量生產(chǎn)過(guò)程中的缺陷檢測，此外，光罩制造商(“光罩廠(chǎng)”)為了進(jìn)行光罩原料檢測，設備監控和進(jìn)程控制也需要購買(mǎi)該檢測系統。 FlashScan系統可以檢查針對光學(xué)或極紫外(EUV)光刻的空白光罩。

　　“先進(jìn)的光刻技術(shù)從表征良好的空白光罩開(kāi)始?！?nbsp;KLA-Tencor的光罩和寬帶等離子晶圓檢測部總經(jīng)理熊亞霖博士指出，“無(wú)缺陷的EUV光罩坯件極難制造，這不僅推高了生產(chǎn)成本，也推延了EUV光刻可能帶給新一代芯片制造的惠益。 我們全新的FlashScan空白光罩檢測儀可以在裸基板，吸收膜和光阻涂層上捕獲各種類(lèi)型的缺陷。此外，對比目前市場(chǎng)上的其他系統， FlashScan系統具有更高的產(chǎn)量和靈敏度，這將縮短空白光罩制造商和光罩廠(chǎng)的學(xué)習周期時(shí)間?！?/p>

　　利用KLA-Tencor晶圓缺陷檢測系統的激光散射技術(shù)，FlashScan系統可以滿(mǎn)足目前所有正在開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)的光學(xué)與EUV空白光罩對于靈敏度和檢測速度要求。采用光罩檢測市場(chǎng)獨特的三通道數據采集系統，該系統可以對各種類(lèi)型的光罩坯件的缺陷進(jìn)行檢測、尺寸測量和區分，例如在空白光罩制造或運輸期間可能出現在光阻上的針孔和掉落顆粒。

　　領(lǐng)先的光罩廠(chǎng)對高靈敏度、高產(chǎn)量和全類(lèi)型的缺陷檢測系統顯示了濃厚的興趣，這證明了市場(chǎng)對該產(chǎn)品的需求。為了保證空白和圖案光罩制造商所需的優(yōu)異性能和產(chǎn)量，FlashScan系統由KLA-Tencor全球綜合服務(wù)網(wǎng)絡(luò )提供技術(shù)支持。有關(guān)新FlashScan產(chǎn)品系列的更多信息(包括當前型號的說(shuō)明)請查閱FlashScan的網(wǎng)頁(yè)。