諾發(fā)在臺積電供應鏈管理論壇上獲得優(yōu)秀供應商獎

 
諾發(fā)公司的VECTOR系統憑借其技術(shù)創(chuàng )新和高效生產(chǎn)力被評為最佳CVD產(chǎn)品

諾發(fā)系統有限公司(Novellus Systems, Inc., Nasdaq股票代碼：NVLS)宣布，該公司的VECTOR®系統在臺積電2006供應鏈管理論壇上獲得TSMC頒發(fā)的“2006年度優(yōu)秀CVD供應商獎”。350多家TSMC供應商參加了這次活動(dòng)，諾發(fā)公司是獲得“2006年度優(yōu)秀供應商獎”殊榮的十一家公司之一。諾發(fā)公司的VECTOR 300mm等離子增強化學(xué)氣相淀積（PECVD）設備被半導體制造商所廣泛采用，用于高性能IC電介質(zhì)薄膜的淀積。該系統在薄膜技術(shù)上取得了諸多技術(shù)革新，同時(shí)具有很高的生產(chǎn)力，因此被TSMC所認可。

TSMC總裁兼CEO蔡力行博士說(shuō)：“隨著(zhù)我們在半導體產(chǎn)業(yè)領(lǐng)先地位的加強，供應商繼續為我們開(kāi)發(fā)低成本和高效的設備、零部件和材料，從而使合作雙方進(jìn)一步增強競爭力，共同邁向成功的未來(lái)?！?

諾發(fā)系統有限公司電介質(zhì)事業(yè)部高級副總裁Tim Archer說(shuō)：“諾發(fā)公司致力于為代工廠(chǎng)提供不斷改善的生產(chǎn)靈活性。由于VECTOR在薄膜技術(shù)上的技術(shù)革新和高效生產(chǎn)力，TSMC可以在同一工廠(chǎng)內利用VECTOR進(jìn)行多個(gè)工藝時(shí)代產(chǎn)品的生產(chǎn)。我們非常榮幸能夠獲得這一殊榮。我們將繼續努力與TSMC一起合作，為該公司在65nm以及65nm以下技術(shù)節點(diǎn)取得不斷成功提供有力的支持?！?

諾發(fā)公司從2000年開(kāi)始推出VECTOR系統，該系統能夠淀積雙嵌入式結構所需的各種電介質(zhì)薄膜。VECTOR是全球裝機量最大的300mm CVD系統，前10大半導體公司中有9家公司采用了該系統。VECTOR設備最初是為130nm和90nm生產(chǎn)設計的，通過(guò)技術(shù)更新可以延伸到65nm技術(shù)節點(diǎn)，同時(shí)將產(chǎn)能提高達30%。