Entegris 在 SEMICON China 上展示晶片和光罩客戶(hù)解決方案

　　中國上海/明尼蘇達州明尼阿波利斯 CHASKA –  2006年 3 月 22日訊 - Entegris, Inc.（納斯達克：ENTG）將攜其業(yè)界領(lǐng)先的晶片和光罩處理產(chǎn)品參加本周在上海舉行的 SEMICON China 2006 展覽會(huì )（3 月 21 日 – 23 日）。Entegris 將在本周的展會(huì )上展示其四種領(lǐng)先的產(chǎn)品，它們分別是 300 毫米 FOSB（前面開(kāi)口傳輸盒）、Spectra™ FOUP （前面開(kāi)口一體盒）和 SMP 625 單光罩包裝盒以及高級光罩 SMIF 盒。Entegris是凈化、保護和傳輸中國乃至全世界的半導體公司的重要生產(chǎn)材料的全球市場(chǎng)領(lǐng)導者。（太平洋展廳，展位 #566）
　　
　　“Entegris 的工業(yè)標準晶片和光罩處理技術(shù)、產(chǎn)品和服務(wù)正在不斷為客戶(hù)提供領(lǐng)先的解決方案，并使他們在中國乃至全世界半導體市場(chǎng)上取得持續的工藝發(fā)展和成品率改善，”晶片處理部的副總裁 Patrick McKinney 說(shuō)。

Entegris 300 毫米 FOSB（如下圖所示）

　　隨著(zhù) 300 毫米晶片處理不斷向全自動(dòng)晶片傳輸的邁進(jìn)，Entegris 的 FOSB 包含了可幫助客戶(hù)實(shí)現工藝一致性和成本節約的領(lǐng)先技術(shù)。Entegris FOSB 采用獨特的與 FIMS 兼容的門(mén)，使工廠(chǎng)能更加高效實(shí)現向全自動(dòng)生產(chǎn)環(huán)境的轉變。

ENTEGRIS 在 SEMICON CHINA 上展出晶片處理解決方案

Entegris Spectra™ FOUP （如下圖所示）

　　Spectra™ 采用最新的 300 毫米晶片傳輸先進(jìn)技術(shù)，使客戶(hù)能夠達到先進(jìn)的 90 納米及以下節點(diǎn)技術(shù)。它與所有的工藝工具和自動(dòng)化設備完全兼容，并可獲得最長(cháng)的正常運行時(shí)間。 Spectra™ FOUP 具有經(jīng)過(guò)權威驗證的設計，可保護晶片免受微粒、空氣傳播分子的污染，比市場(chǎng)上其它任何 FOUP 都能更好地防止沖擊與振動(dòng)對晶片的影響，確保獲得更高的成品率。 Entegris 現場(chǎng)服務(wù)專(zhuān)家將在客戶(hù)現場(chǎng)維護 Spectra™ FOUP。 Spectra™ FOUP 配備先進(jìn)的 ESD 接地，并支持多種識別策略。

Entegris 在 300 毫米晶片領(lǐng)域的專(zhuān)業(yè)技術(shù)和領(lǐng)導能力

　　在包括中國在內的全世界范圍內，越來(lái)越多的晶片生產(chǎn)廠(chǎng)商對開(kāi)發(fā) 300 毫米晶片表現出極大的興趣和渴望。通過(guò)在晶片處理和傳輸方面不斷開(kāi)發(fā)先進(jìn)的技術(shù)，Entegris 在推動(dòng)業(yè)界從 200 毫米晶片向 300 毫米晶片邁進(jìn)過(guò)程中發(fā)揮了重大的作用。
 
　　Entegris 還為保護和傳輸光罩提供了卓越的技術(shù)解決方案。下面介紹將具有上述特性的兩款產(chǎn)品：
 
Entegris SMP 625 單罩盒（如下圖所示）

　　為使光罩具有最高的性能，傳輸裝置必須保護精密的表面特性，并防止污染源與光罩接觸。Entegris 現在推出了一種先進(jìn)的單罩包裝盒 SMP 625，它為 150 毫米光罩提供了超強保護作用，使代工廠(chǎng)始終保持競爭力。SMP 專(zhuān)門(mén)設計同光罩處理自動(dòng)裝置兼容，并可安全地集成到現有自動(dòng)化環(huán)境中，積極改善代工廠(chǎng)的生產(chǎn)效率并降低成本。SMP 625 光罩包裝盒設計還可保護光罩免受傳輸途中的沖擊和振動(dòng)的傷害。
 
　　ENTEGRIS 在 SEMICON CHINA 上展示晶片處理解決方案

采用卓越技術(shù)的 Entegris 高級光罩盒（如下圖所示）

　　Entegris 最近推出了其高級光罩盒產(chǎn)品，作為老一代技術(shù)盒的直接替代品。 該新型光罩盒立足于提升生產(chǎn)效率的設計理念，減少了微粒產(chǎn)生，改善 ESD 接地，并采用簡(jiǎn)化的按扣安裝結構，因而具有更高的可靠性。無(wú)需對現有設備進(jìn)行任何更改。 該光罩盒采用無(wú)任何金屬部件設計，這意味著(zhù)不會(huì )造成光罩刮傷或金屬污染。

關(guān)于 ENTEGRIS

　　Entegris是全球物料完好性管理界的領(lǐng)導者 – 凈化、保護和運輸用于高科技產(chǎn)品、程序和服務(wù)的重要材料。 Entegris 和 Mykrolis 于 2005 年 8 月完成合并，創(chuàng )立了新的 Entegris 公司。合并后的公司為半導體產(chǎn)業(yè)和其它高科技產(chǎn)業(yè)提供技術(shù)、產(chǎn)品和服務(wù)解決方案。Entegris 通過(guò)了 ISO 9001 認證，在美國、中國、法國、德國、日本、馬來(lái)西亞、新加坡、南韓和中國臺灣都已設立了制造、客戶(hù)服務(wù)或科研設施。其它相關(guān)信息，請登錄 www.entegris.com。