挺進(jìn)20nm：臺積電2011年將開(kāi)始在Fab12工廠(chǎng)裝用ASML產(chǎn)EUV光刻設備

　　據臺積電公司負責技術(shù)研發(fā)的副總裁蔣尚義表示，2011年臺積電從荷蘭ASML公司訂購的極紫外(EUV，波長(cháng)13.5nm)光刻設備將運抵廠(chǎng)內，這批訂 購的設備將為臺積電公司2013年將公司制程能力升級到20nm級別鋪平道路.蔣尚義是在本月24日舉辦的臺積電技術(shù)論壇會(huì )議上說(shuō)出這番話(huà)的,他同時(shí)還指 出EUV光刻技術(shù)要想投入商用還需要更加成熟，另外他還透露這批訂購的EUV光刻工具每小時(shí)能刻制100片晶圓。

　　臺積電首批EUV光刻設備將被安裝在300mm Fab12工廠(chǎng)內，而臺積電未來(lái)的研發(fā)重點(diǎn)則將放在28nm及更高級別制程技術(shù)的研發(fā)方面。

　　臺積電早些時(shí)候曾宣布他們會(huì )跳過(guò)22nm制程節點(diǎn)，直接從28nm節點(diǎn)跳至20nm制程，這家公司透露將于2012年下半年開(kāi)始20nm制程芯片的試產(chǎn)。

　　EUV(極紫外光：波長(cháng)13.5nm)是目前比較流行的DUV(深紫外光：波長(cháng)193nm)光刻技術(shù)的下一代技術(shù)，與眼下流行的沉浸式光刻+193nm波長(cháng)技術(shù)這種增加光刻系統數值孔徑的方案相比，EUV從另外一個(gè)方面即直接縮短光波的波長(cháng)入手來(lái)提升制程的等級。不過(guò)目前EUV光刻技術(shù)由于需要重新開(kāi)發(fā)光掩膜技術(shù)，提升光源功率，因此這項技術(shù)要想走向主流仍有較多困難需要克服。