IC設備國產(chǎn)化多點(diǎn)突破二手市場(chǎng)尋求整合

　　“工欲善其事，必先利其器。”集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展離不開(kāi)裝備制造業(yè)的支撐，而裝備業(yè)的發(fā)展水平也是衡量一個(gè)國家集成電路產(chǎn)業(yè)總體水平的重要標準。近年來(lái)，我國集成電路裝備業(yè)取得了長(cháng)足的進(jìn)步，12英寸設備在多個(gè)工序實(shí)現國產(chǎn)化。但由于8英寸、12英寸集成電路生產(chǎn)線(xiàn)在我國仍有很大的發(fā)展空間，這也給國外的二手設備提供了用武之地，同時(shí)，也給從事設備翻新的企業(yè)提供了發(fā)展機遇。

　　12英寸國產(chǎn)設備進(jìn)展顯著(zhù)

　　●多種核心裝備實(shí)現國產(chǎn)化

　　●12英寸65納米是下階段重點(diǎn)

　　一條標準的集成電路生產(chǎn)線(xiàn)需要300～400臺工藝設備，一般認為，其核心裝備包括光刻機、刻蝕機、離子注入機、CVD(化學(xué)氣相淀積)設備、PVD(物理氣相淀積)設備和高溫爐;隨著(zhù)光刻精度進(jìn)入90納米節點(diǎn)，銅制程設備也進(jìn)入核心裝備的行列;此外，用于硅片表面處理的清洗機也是非常重要的裝備。

　　“在集成電路生產(chǎn)設備中，刻蝕機的重要性?xún)H次于光刻機。國內裝備制造企業(yè)在柵刻蝕和介質(zhì)刻蝕兩個(gè)領(lǐng)域都已經(jīng)取得了突破。”02專(zhuān)項總體專(zhuān)家組組長(cháng)、中科院微電子所所長(cháng)葉甜春告訴記者，“目前，面向12英寸集成電路生產(chǎn)線(xiàn)的國產(chǎn)刻蝕機已通過(guò)了芯片制造廠(chǎng)的考核認證，用于8英寸生產(chǎn)線(xiàn)的刻蝕機已經(jīng)進(jìn)入市場(chǎng)。”

　　摻雜也是集成電路生產(chǎn)的重要工序，隨著(zhù)技術(shù)的進(jìn)步，用離子注入進(jìn)行摻雜的工藝已經(jīng)逐漸取代了早期的擴散工藝。近幾年，國內裝備制造企業(yè)在該領(lǐng)域也取得了顯著(zhù)進(jìn)步。據葉甜春介紹，目前國產(chǎn)離子注入機已能滿(mǎn)足8英寸生產(chǎn)線(xiàn)的要求，12英寸離子注入機也已進(jìn)入整機調試階段。“除了刻蝕機和離子注入機之外，用于12英寸集成電路生產(chǎn)的國產(chǎn)高溫爐也已經(jīng)送進(jìn)芯片制造廠(chǎng)進(jìn)行工藝認證考核。”葉甜春說(shuō)。

　　針對清洗工序，中國裝備制造企業(yè)也有不錯的表現。2009年，盛美半導體設備(上海)有限公司已經(jīng)研制出適用于45納米、12英寸集成電路生產(chǎn)的單片清洗設備，并送到國際知名芯片制造企業(yè)進(jìn)行生產(chǎn)線(xiàn)測試。該公司工藝工程師賈照偉在接受記者采訪(fǎng)時(shí)表示：“隨著(zhù)集成電路精度的提升，對硅片表面顆粒物和硅片均勻性的要求越來(lái)越高，傳統上用于批量清洗硅片的槽式清洗機有逐漸被單片清洗機取代的趨勢。”

　　記者從《國家科技重大專(zhuān)項“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”2009年項目指南》中了解到，02專(zhuān)項把2012年之前集成電路裝備的研發(fā)目標定位在65納米節點(diǎn)，其中，PVD、銅互連、快速熱退火、勻膠顯影以及相關(guān)檢測設備將成為研發(fā)重點(diǎn)。葉甜春表示：“上海華力微電子有限公司承擔的‘909工程升級改造’項目將采用65納米工藝，02專(zhuān)項的實(shí)施也將滿(mǎn)足該項目的需求。”

　　二手設備瞄準8英寸市場(chǎng)

　　●8英寸二手設備期待進(jìn)入中國市場(chǎng)

　　●二手設備廠(chǎng)家尋求整合

　　近年來(lái)，國外的集成電路產(chǎn)品生產(chǎn)越來(lái)越多地由8英寸生產(chǎn)線(xiàn)轉至12英寸生產(chǎn)線(xiàn)，而在國際金融危機的沖擊下，很多8英寸生產(chǎn)線(xiàn)也提前停產(chǎn)。據曾經(jīng)管理過(guò)上華、宏力和中緯等多家IC代工企業(yè)的業(yè)內知名專(zhuān)家蔡南雄統計，在全球范圍內，目前已經(jīng)下線(xiàn)或即將下線(xiàn)的8英寸設備數量超過(guò)1萬(wàn)臺，一大批從事二手設備翻新和銷(xiāo)售的廠(chǎng)商也把目光投向中國市場(chǎng)。美國亞洲技術(shù)公司中國區總代葉野在接受記者采訪(fǎng)時(shí)表示，目前中國的集成電路生產(chǎn)線(xiàn)以6英寸和6英寸以下為主，8英寸生產(chǎn)線(xiàn)數量還不多，而二手設備的價(jià)格通常不到新設備價(jià)格的1/10，因此對投資者非常有吸引力。