臺內存芯片廠(chǎng)商制程轉換計劃傳因設備交貨期拖延而更變

　　據內存業(yè)者透露，由于沉浸式光刻設備的交貨日程有所延長(cháng)，因此南亞，華亞(南亞與鎂光的合資廠(chǎng))兩家內存芯片制造商今年轉向50nm級別制程節點(diǎn)的計劃有 可能會(huì )后延.而另一家臺系內存芯片廠(chǎng)商瑞晶(力晶與爾必達的合資廠(chǎng))計劃于今年二月份開(kāi)始的光刻設備導入計劃也有可能會(huì )后延兩個(gè)月左右的時(shí)間。

　　而南亞和華亞則澄清稱(chēng)其購買(mǎi)的沉浸式光刻設備將以分期到貨的形式進(jìn)場(chǎng)，并宣稱(chēng)此前進(jìn)場(chǎng)的設備已經(jīng)按原計劃完成了進(jìn)貨。

　　按南亞和華亞的計劃，他們將于年底前完成向鎂光50nm制程技術(shù)的轉換工作，并將于下半年開(kāi)始試產(chǎn)40nm制程級別的內存芯片產(chǎn)品。而瑞晶公司則計劃于今年第二季度開(kāi)始啟用45nm制程技術(shù)制造內存芯片.

　　最近Gartner公司曾有一份報告指出，由于設備廠(chǎng)商的193沉浸式光刻機供貨數量有限，而這種設備又對芯片廠(chǎng)商制程技術(shù)升級起著(zhù)極為關(guān)鍵的作用，因此今年芯片產(chǎn)用于采購設備的支出增長(cháng)將極為有限，而據原先的預計，今年芯片廠(chǎng)商在設備采購方面的支出將有56.6%的增長(cháng)幅度。

　　此外，據光刻機廠(chǎng)商ASML表示，在芯片廠(chǎng)商制程技術(shù)升級浪潮的驅動(dòng)下，該公司接到的光刻機訂單數量出現了上升態(tài)勢。