光刻機巨頭回應荷蘭出口管制新規

觀(guān)察者網(wǎng) 呂棟

6月30日晚間，荷蘭光刻機巨頭ASML在一份聲明中稱(chēng)，荷蘭政府于今日頒布了有關(guān)半導體設備出口管制的新條例。正如其在今年三月發(fā)布的消息中所述，這些新的出口管制條例針對對象為先進(jìn)的芯片制造技術(shù)，包括最先進(jìn)的沉積設備和浸潤式光刻系統。

ASML表示，根據新出口管制條例規定，該公司需要向荷蘭政府申請出口許可證才能發(fā)運最先進(jìn)的浸潤式DUV系統（即TWINSCAN NXT：2000i及后續推出的浸潤式光刻系統）。荷蘭政府將決定是否授予或拒發(fā)出口許可證，并將向ASML提供許可證所附條件的細節。

ASML在聲明中重點(diǎn)指出，荷蘭政府新頒布的出口管制條例只涉及TWINSCAN NXT：2000i及后續推出的浸潤式光刻系統（DUV，深紫外光刻）。而該公司的EUV光刻（極紫外光刻）系統在此前已經(jīng)受到限制，其他系統的發(fā)運暫未受荷蘭政府管控。

“ASML將繼續遵守適用的出口管制條例，其中包括荷蘭、歐盟及美國的出口管制條例?！?/span>

這家光刻機巨頭稱(chēng)，荷蘭政府新頒布的出口管制條例將于2023年9月1日生效，在此日期前，ASML可開(kāi)始提交出口許可證申請，荷蘭政府將視具體情況批準或拒絕這些申請。

ASML參展SEMICON China 2023 圖源：觀(guān)察者網(wǎng)

當地時(shí)間周五（6月30日），荷蘭政府正式宣布限制某些先進(jìn)半導體設備出口的新規，這些規定將于9月1日生效。具體而言，荷蘭政府將要求先進(jìn)芯片制造設備的公司在出口之前須獲得許可證。盡管荷蘭政府并未直接點(diǎn)名會(huì )受到限制的公司，但外界都明白這是在針對當地最出名的半導體設備公司ASML。

荷蘭方面這一動(dòng)作其實(shí)早有跡象。今年3月，荷蘭外貿與發(fā)展合作大臣施賴(lài)納馬赫爾（Liesje Schreinemacher）就曾向荷蘭議員宣稱(chēng)，“鑒于技術(shù)發(fā)展和地緣政治背景，政府得出結論，為了（國際）國家安全，有必要擴大對特定半導體制造設備的現有出口管制?！?/span>

彼時(shí)ASML就曾發(fā)布聲明稱(chēng)，新出口管制并不適用于所有的浸潤式光刻系統，而只適用于所謂“最先進(jìn)的”，并且這些管控措施轉化為立法并生效還需要時(shí)間。ASML所謂“最先進(jìn)的”DUV，是指TWINSCAN NXT:2000i和后續推出的浸潤式系統。

這也意味著(zhù)，ASML生產(chǎn)的TWINSCAN NXT:1980Di等更成熟的浸潤式DUV機型不在受限范圍。

查詢(xún)方正證券2020年6月發(fā)布的研報發(fā)現，TWINSCAN NXT:2000i DUV（雙工作臺深紫外光刻機）曾是ASML最先進(jìn)的浸沒(méi)式光刻系統，也是EUV光刻機之前的重要過(guò)渡產(chǎn)品，同時(shí)是后期7nm/5nm產(chǎn)能的重要補充。這種機型在2018年就已開(kāi)始出貨，被視為可用于生產(chǎn)7nm等制程（多次曝光）。

ASML官網(wǎng)顯示，TWINSCAN NXT:2000i專(zhuān)為與EUV混合使用而設計，可為高級邏輯和DRAM節點(diǎn)的大批量制造提供出色的覆蓋、聚焦控制和交叉匹配。比這款光刻機更先進(jìn)的型號是TWINSCAN NXT:2050i，該系統滿(mǎn)足多種圖案化要求，為在高級邏輯和DRAM節點(diǎn)制造300毫米晶圓提供經(jīng)濟高效的解決方案。

ASML官網(wǎng)截圖

在先后兩次聲明中，這家荷蘭光刻機巨頭提到，主要關(guān)注成熟制程的客戶(hù)，可以使用不太先進(jìn)的浸潤式光刻工具，“我們認為這些管制條例不會(huì )對已發(fā)布的2023年財務(wù)展望以及于2022年11月投資者日宣布的長(cháng)期展望產(chǎn)生重大影響”。

但不能自由出貨，ASML在華收入將不可避免受到干擾。該公司預計2023年中國大陸銷(xiāo)售額將保持在22億歐元左右（約合人民幣162億元），而全球總銷(xiāo)售額將增長(cháng)25%，因為主要客戶(hù)臺積電和英特爾都在擴產(chǎn)。

根據ASML財報，2022年該公司共出貨345臺光刻系統，其中有81臺浸潤式DUV光刻機（ArFi），占比為23%。所有產(chǎn)品中，42%銷(xiāo)往中國臺灣，29%銷(xiāo)往韓國，14%銷(xiāo)往中國大陸，銷(xiāo)往美國的只有7%。

ASML光刻機型號（資料圖）

在荷蘭政府宣布新的半導體出口管制條例后，中國駐荷蘭大使館6月30日很快做出回應：荷蘭政府正式出臺半導體制造設備的出口管制措施，這是對出口管制措施的濫用，是對自由貿易和國際經(jīng)貿規則的嚴重背離，中方對此堅決反對。

“我們呼吁荷方從維護國際經(jīng)貿規則及中荷經(jīng)貿合作大局出發(fā)，立即糾正錯誤做法。中方將堅決維護自身合法權益。同時(shí)，也愿與荷方一道，本著(zhù)互利互惠的原則，共同探討解決方案，共同推動(dòng)中荷經(jīng)貿關(guān)系健康發(fā)展?！敝袊v荷蘭大使館發(fā)言人表示。

ASML方面也早就對出口管制做出過(guò)警示。今年2月，在接受歐洲媒體采訪(fǎng)時(shí)，ASML首席執行官溫彼得直言，如果美國及其盟友切斷中國（大陸）獲得某些半導體和半導體制造技術(shù)的渠道，中國將被迫加倍努力開(kāi)發(fā)自主技術(shù)。他坦言，雖然出口管制是合法工具，但不應該被濫用，決策者在“擺弄”半導體供應鏈之前應充分了解它的復雜性。

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