2010決勝年　ASML 主攻38納米、EUV設備

　　全球最大半導體微顯影設備業(yè)者ASML表示，目前客戶(hù)訂單增加相當多，但主是來(lái)自半導體業(yè)者制程微縮而非產(chǎn)能擴充的需求，半導體業(yè)者仍持續微縮半導體制程，摩爾定律預料將持續延續。以目前ASML最先進(jìn)的浸潤式微顯影機種來(lái)看，新一代的機種NXT 1950i 也已于2009年下半出貨，未來(lái)將快速增加出貨，同時(shí)深紫外光(EUV)也至少囊括5套客戶(hù)訂單，對ASML來(lái)說(shuō)2010年將是極重要的一年。

　　ASML NXT技術(shù)平臺資深經(jīng)理Frank van de Mast指出，XT1900Hi的下一代機種NXT 1950i目前可因應38納米制程技術(shù)，但在疊影技術(shù)上可以做到更為精密的程度達2納米，而且產(chǎn)出速度更快，1小時(shí)產(chǎn)出可達175~200片晶圓。外界預測，采用ASML NXT 1950i最精密的浸潤式顯影機種多半的客戶(hù)訂單應該來(lái)自存儲器晶圓廠(chǎng)。

　　此外，在頗受業(yè)界矚目的深紫外光(EUV)方面，ASML所采用的Cymer光源已可以從20瓦提高到75瓦，達到1小時(shí)生產(chǎn)60片晶圓不成問(wèn)題，預計可在2010年達到此目標，并計劃在2014年達到每小時(shí)180片晶圓的高生產(chǎn)率。

　　EUV 微顯影系統副總Ron Kool指出，EUV平臺NXE 3100預期2010年可以做到27納米，ASML對于EUV有相當完整、積極的技術(shù)藍圖規畫(huà)，預期在NXE 3100之后相繼推出NXE3300B等后續機種持續提高生產(chǎn)力，最快預計將在2012年第1季問(wèn)世，足以因應22~16納米以下制程所需。

　　ASML 目前至少已經(jīng)確保從6家客戶(hù)端獲得來(lái)自5套EUV系統訂單，包括三星電子(Samsung Electronics)及超微(AMD)晶圓生產(chǎn)部門(mén)都采用EUV開(kāi)發(fā)新產(chǎn)品，且ASML與三星的技術(shù)藍圖幾乎緊密相關(guān)。

　　ASML 研發(fā)副總Jos Benschop亦表示，盡管目前業(yè)界在雙重曝光顯影之后也有提出三重曝光(triple patterning)技術(shù)，技術(shù)上是可行的，不過(guò)他認為更重要的是經(jīng)濟規模能否降低成本，以目前深紫外光所能達到的技術(shù)突破，在成本上已經(jīng)可以因應量產(chǎn)，使三重曝光顯影技術(shù)更有競爭力。