客戶(hù)充分肯定采用FSI清洗技術(shù)可實(shí)現成品率提高

　　FSI國際有限公司（納斯達克：FSII）日前宣布，在上月于以色列、意大利、法國和德國舉辦知識服務(wù)系列研討會(huì )（KSS）上，公司多家客戶(hù)的專(zhuān)題報告中肯定了FSI清洗技術(shù)在芯片制造中對成品率的提高起到了顯著(zhù)的作用。包括意法半導體（STMicroelectronics）、Numonyx B.V.、Tower半導體有限公司、奇夢(mèng)達（Qimonda AG）、CEA Leti在內的FSI客戶(hù)，都在其報告中對基于FSI創(chuàng )新型清洗產(chǎn)品的先進(jìn)工藝進(jìn)行描述，并提交了多種不同生產(chǎn)應用中的成品率提升數據記錄。

　　“所有這些報告都針對了目前半導體制造環(huán)境中極具重要性的不同應用，”FSI董事長(cháng)兼首席執行官Don Mitchell說(shuō)道。“以鎳鉑自對準多晶硅化物的低溫退火為例，我們的一家客戶(hù)展示了FSI機臺如何將在其他情況下很難或無(wú)法達到的工藝集成到生產(chǎn)之中。FSI知識服務(wù)系列研討會(huì )‘客戶(hù)面對客戶(hù)’的本質(zhì)，確保了為觀(guān)眾提供具有實(shí)踐價(jià)值的信息互換。”

　　其他報告中議題還包括：
　　•采用FSI 高溫SPM工藝，在氮化物側間隙壁上實(shí)現最低缺陷率和最低殘留的鈷自對準多晶硅化物的形成。
　　•采用FSI 無(wú)鹽酸可選擇金屬去除工藝，實(shí)現淺結的低溫NiPt硅化物形成
　　•FSI的高溫硫酸和稀釋過(guò)氧化物配制，來(lái)實(shí)現W金屬柵可兼容的光刻膠的去除
　　•采用FSI ZETA® 噴霧式清洗系統的ViPR™ 技術(shù)低成本全濕光刻膠去除
　　•采用FSI MAGELLAN® 浸泡式清洗系統，用在線(xiàn)調制稀釋化學(xué)品和STG® 烘干技術(shù)在關(guān)鍵清洗中實(shí)現最低缺陷率
　　•采用FSI的ANTARES® 系統低溫冷凝汽膠清洗技術(shù)，在DRAM制造中實(shí)現缺陷去除

　　2008年11月的亞洲系列活動(dòng)即將啟動(dòng)

　　FSI一直把亞洲視為一個(gè)戰略市場(chǎng)。公司與亞洲領(lǐng)先的半導體制造商合作，通過(guò)FSI機臺和工藝實(shí)現了出世界級創(chuàng )新。正如在美國、歐洲和以色列舉辦的KSS系列一樣，在亞洲舉行的該系列研討會(huì )已經(jīng)成為亞洲集成電路制造商與亞洲及世界同行分享生產(chǎn)和商業(yè)實(shí)踐知識的完美平臺。

　　2007年4月，KSS亞洲系列研討會(huì )在首爾、新加坡、上海、新竹和臺南5個(gè)城市相繼舉行。來(lái)自MagnaChip 半導體公司、三星電子公司、 Hynix 半導體有限公司、 Gartner Dataquest, 特許半導體制造、中芯國際集成電路制造有限公司以及聯(lián)華電子股份有限公司的參會(huì )代表分別在不同地區發(fā)表了主旨演講和技術(shù)講座。超過(guò)360名行業(yè)代表參會(huì )并聽(tīng)取了以上IC制造商和FSI代表關(guān)于IC產(chǎn)業(yè)出現的問(wèn)題和趨勢的演講。

　　受今年5月歐洲、中東和亞洲（EMEA）KSS和2007年亞洲KSS巨大成功的鼓舞，FSI將于今年11月在新竹、臺南、上海、首爾和新加坡舉辦2008年的亞洲KSS。除了此次KSS EMEA的熱門(mén)話(huà)題，如用于金屬、PLAD的ViPR技術(shù)，FSI的高介質(zhì)專(zhuān)利技術(shù)以及新型單晶圓技術(shù)開(kāi)發(fā)等，來(lái)自亞洲領(lǐng)先IC制造商的發(fā)言代表將介紹通過(guò)在采用FSI清洗技術(shù)后，他們在提高成品率方面所取得的新成就。

　　FSI KSS自2004年開(kāi)始舉辦以來(lái)，現已成為亞洲IC制造商了解影響行業(yè)的多種問(wèn)題和趨勢的一個(gè)重要機會(huì )。所有的領(lǐng)先的半導體制造商參加了2007年度的亞洲 KSS。研討會(huì )之后的調查表明，2007年4月舉辦的FSI KSS獲得了與會(huì )者的高度評價(jià)。

　　2008年5月會(huì )議的報告光盤(pán)現已能夠提供給FSI客戶(hù)，可以通過(guò)FSI網(wǎng)站的以下網(wǎng)址訂購：http://www.fsi-intl.com/kssemea08/emea08_cd_req.php