晶圓廠(chǎng)“綠色化”需要供應鏈的緊密合作

　　在1月31日舉行的SEMICONKorea的EHSForum(環(huán)境、健康與安全論壇)上，來(lái)自SamsungElectronics、HynixSemiconductor、TI、AppliedMaterials、TEL等廠(chǎng)商的演講者紛紛就節能減排戰略、機會(huì )以及挑戰等議題發(fā)表了自己獨到的見(jiàn)解，并指出顯著(zhù)降低晶圓廠(chǎng)能耗以及溫室氣體排放需要芯片制造商、設備供應商以及子系統供應商之間的緊密合作。

　　三星的SangYoonJung介紹了三星在降低溫室氣體排放方面的企業(yè)使命以及韓國政府對抗氣候變化的承諾。溫室氣體排放物質(zhì)主要包括全氟化碳(perfluorocarbons)、三氟甲烷(CHF3)、三氟化氮(NF3)以及六氟化硫(SF6)——總稱(chēng)為全氟化合物(PFCs)。SangYoonJung先生表示，盡管當前半導體制造業(yè)僅占韓國溫室氣體排放量的3%，但這一行業(yè)正在快速成長(cháng)。他強調了韓國政府的政策與目標，還深入總結了三星的PFC減排戰略，包括使用替代氣體、廢氣處理計劃(PFC轉換或降解)以及工藝優(yōu)化。世界半導體委員會(huì )(WorldSeminconductorCouncil)已承諾在2010年前將PFC排放量降低至其1995年基準線(xiàn)的90%的水平。三星自2007年起已成功替換其80%的PFC氣體，并改進(jìn)消除效率至90%以上。

　　三星當前正在實(shí)施一項“綠色設計”計劃，該計劃旨在通過(guò)廢棄熱能回收、設施改進(jìn)和采用高能效設備，使公司新的晶圓廠(chǎng)能源使用量降低30%。SangYoonJung強調了供應鏈合作的必要性，并敦促設備制造商在提高能效和減低PFC排放方面做出更多努力。

　　海力士半導體的SeoulJongKo介紹了公司的清潔發(fā)展機制(CDM)計劃，該計劃在世界同類(lèi)項目中尚屬首例。CDM是《東京議定書(shū)》中旨在幫助工業(yè)化國家達到其溫室氣體減排目標的一項機制。該機制允許擁有溫室氣體減排目標的國家的公共或私人實(shí)體在發(fā)展中國家投資溫室氣體減排項目，這些項目產(chǎn)生的溫室氣體減排量(即“經(jīng)核準的減排量”，CER)可以作為前者履行其所承諾的限排或減排量，或出售給其它感興趣的團體。

　　來(lái)自TEL的ShigeitoIbuka全面介紹了TEL的環(huán)境項目。這些項目已得到了日經(jīng)環(huán)境管理調查(NikkeiEnvironmentalManagementSurvey)等的廣泛認可。TEL的節能行動(dòng)已將每晶圓面積的能源使用量降低至僅2000年水平的35%。

　　來(lái)自CleanSystemsKorea的SangJunLee亦指出了知識產(chǎn)權因素對協(xié)調工藝、設備和廢氣處理系統以提高能效帶來(lái)的困難。他建議成立一個(gè)研究團體或工作委員會(huì )來(lái)探尋在不損害專(zhuān)利訴求的前提下優(yōu)化能效的方法。

　　AppliedMaterials公司副總裁NormArmour介紹了公司廣泛開(kāi)展的可持續發(fā)展項目，并概括了高科技在全球氣候變化方面所扮演的重要角色。該公司在光伏、燃料電池、固態(tài)照明等可再生能源領(lǐng)域的業(yè)務(wù)獲得了快速成長(cháng)，此外還創(chuàng )立了一套自我發(fā)展方法——DesignforEnvironment(DfE)，并將其應用于公司所有產(chǎn)品的整個(gè)產(chǎn)品生命周期。DfE包括在籌劃、設計和預算方面為新產(chǎn)品和已有產(chǎn)品進(jìn)行能效設計和應用、資源保護、回收等考慮。

　　在減少PFC排放方面，AppliedMaterials也執行了“優(yōu)化-替代-廢棄(Optimize-Substitute-Abate)”的戰略。該公司采用了包括遠程清潔、反應腔診斷、高效冷卻與熱交換設備和新化學(xué)物質(zhì)合成在內的諸多新技術(shù)，以降低PFC的消耗量。該公司提供一系列廢棄物處理系統并深信作為一家全系列設備供應商，公司能夠通過(guò)整合工藝設計改進(jìn)能源使用效率。

　　德州儀器的TimYeakley先生的發(fā)言為論壇一天的演講畫(huà)上了句號。他介紹了德儀在可持續發(fā)展和GHG減排項目方面取得的巨大成功。德儀成立了數個(gè)小組解決公司各個(gè)方面的能源使用問(wèn)題。從2002年至今，德州儀器已經(jīng)完成了37個(gè)此類(lèi)項目，每天項目的平均回報期僅為1.3年。德儀采取了一系列行動(dòng)，包括冷卻裝置優(yōu)化、變頻驅動(dòng)、泵浦替代、廢棄物和廢水回收、POU冷卻器替代等，以達到WSC的PFC減排目標。該公司當前正在采用諸如空閑模式協(xié)議、高效泵浦和使用點(diǎn)廢棄物處理效率等技術(shù)來(lái)降低能耗。