總投資155億 國產(chǎn)CMOS傳感器工廠(chǎng)又迎來(lái)一臺ASML先進(jìn)光刻機搬入

日前國產(chǎn)芯片廠(chǎng)商格科微宣布成功實(shí)現整套ASML光刻機中的關(guān)鍵設備——先進(jìn)ArF光刻機的搬入。

據格科微表示，目前，格科微潔凈室已按計劃分階段順利驗收，相關(guān)廠(chǎng)務(wù)系統配備進(jìn)展順利，共有六十一臺設備已經(jīng)搬入。未來(lái)，外延、蝕刻、薄膜、清洗等相關(guān)設備仍會(huì )陸續搬入。

格科微表示，ArF光刻機的成功引入，是格科微“12英寸CIS集成電路特色工藝研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目”建設的關(guān)鍵節點(diǎn)。

依托自有工廠(chǎng)即格科半導體的先進(jìn)制程，格科微將進(jìn)一步加快先進(jìn)CIS工藝和高階專(zhuān)利像素的研發(fā)速度，并在自有工廠(chǎng)實(shí)現批量生產(chǎn)驗證，從而極大縮短高端產(chǎn)品從研發(fā)到大量供應市場(chǎng)的周期。

據了解，該項目總投資約155億元，建設一座12英寸、月產(chǎn)6萬(wàn)片的芯片廠(chǎng)，建造12英寸晶圓CMOS圖像傳感芯片特殊工藝制造生產(chǎn)線(xiàn)，預計年底達到量產(chǎn)狀態(tài)。

今年2月，格科微披露2021年度業(yè)績(jì)快報。報告期內，公司實(shí)現營(yíng)收70億元，同比增長(cháng)8.44%；實(shí)現歸母凈利潤12.59億元，同比增長(cháng)62.78%；扣非凈利潤12.03億元，同比增長(cháng)57.09%。