ASML澄清與中芯國際交易EUV與DUV光刻機一字之差大不同

　　近日，中芯國際與ASML達成12億美元交易購買(mǎi)晶圓生產(chǎn)設備的消息引發(fā)關(guān)注。針對雙方此次合作，有媒體報道稱(chēng)“除了EUV光刻機，中芯國際幾乎可以買(mǎi)到其他所有型號的光刻機?！钡沁@一說(shuō)法很快被ASML官方澄清，該協(xié)議與DUV光刻技術(shù)的現有協(xié)議相關(guān)。
　　可能很多網(wǎng)友看到這里有點(diǎn)蒙圈，這繞來(lái)繞去的到底是玩的什么文字游戲。這里先進(jìn)行一個(gè)小科普，EUV和DUV到底有啥區別呢？EUV也就是“極深紫外線(xiàn)”的意思，而DUV是“深紫外線(xiàn)”的意思，通過(guò)字面就知道EUV看上去就比DUV高級，實(shí)際上也是如此。

　　ASML澄清與中芯國際交易細節

　　一般來(lái)講，DUV基本上只能做到25nm，Intel憑借雙工作臺的模式做到了10nm，但是卻無(wú)法達到10nm以下。只有EUV能滿(mǎn)足10nm以下的晶圓制造，并且還可以向5nm、3nm繼續延伸。事實(shí)上EUV光刻機的出現，確實(shí)是幫助業(yè)界突破7nm制程的一個(gè)關(guān)鍵。
　　當年不是傳說(shuō)已經(jīng)翻車(chē)的武漢弘芯曾經(jīng)擁有也是國內唯一一臺可以用于生產(chǎn)7nm芯片的EUV光刻機嘛，但還沒(méi)啟用就拉去銀行抵押貸款了。這一事件曾經(jīng)一度引起業(yè)界轟動(dòng)，并作為人們茶余飯后的談資流傳至今，由此可見(jiàn)7nm EUV光刻機是多么關(guān)鍵的存在。

　　ASMLEUV光刻機

　　好了，回到正題。關(guān)于中芯國際和ASML雙方的聲明，到底該如何理解呢？愚鈍的小編思考了半天，大致理解為他們說(shuō)的其實(shí)是“除了EUV都能”和“僅限現有DUV”的區別，乍看之下再聯(lián)想到目前的現狀這兩者其實(shí)沒(méi)什么區別，但是ASML的說(shuō)法更嚴謹一些。
　　因為如果未來(lái)技術(shù)更先進(jìn)了，又出來(lái)一個(gè)"FUV"光刻機呢，那“除了EUV都可以”的說(shuō)法是存在漏洞的?；蛘逜SML技術(shù)爆發(fā)了，通過(guò)DUV技術(shù)就做到了1nm先進(jìn)工藝，所以ASML非常嚴謹的設立定了兩個(gè)限制條件："該協(xié)議與DUV光刻技術(shù)的現有協(xié)議相關(guān)。"

　　中芯國際采購的是DUV光刻機