荷蘭巨頭1nm光刻機迎新突破！中國訂購的EUV光刻機呢？

　　據TechWeb網(wǎng)站11月30日最新報道，近日荷蘭光刻機巨頭阿斯麥（ASML）又送來(lái)一則好消息，該司已經(jīng)與比利時(shí)半導體研究機構IMEC共同完成了1nm光刻機的設計工作。
　　據了解，先進(jìn)制程的光刻機對于曝光設備的分辨率要求更高。與此同時(shí)，ASML已經(jīng)完成了0.55NA曝光設備的基本設計工作。按照阿斯麥的計劃，預計相應的曝光設備全線(xiàn)準備好之后，會(huì )在2022年實(shí)現商業(yè)化。

　　然而，這家荷蘭企業(yè)的光刻機制造技術(shù)卻變得重大突破之際，我國芯片制造巨頭——中芯國際自阿斯麥訂購的EUV光刻機至今卻還未到貨。據悉，中芯國際于2018年自阿斯麥（ASML）手上購買(mǎi)了一臺價(jià)值約1.2億美元（折合約7.9億元人民幣）的EUV光刻機。
　　由于訂購的設備一直沒(méi)到手，中芯國際也在11月11日當天下調了一部分資本支出，將原本約457億元的開(kāi)支計劃減少了55億元至約402億元。那么，之后中芯國際有沒(méi)有可能徹底取消這筆買(mǎi)賣(mài)呢？恐怕還不好說(shuō)，畢竟當前全球能造出EUV光刻機的僅有阿斯麥一家。

　　不過(guò)，中企也很有可能從韓國身上找到“轉機”。據韓國媒體11月16日報道，韓國知識產(chǎn)權局（KIPO）發(fā)布的報告顯示，經(jīng)過(guò)長(cháng)達10年的發(fā)展與鉆研（2011－2020年），該國EUV光刻專(zhuān)利已經(jīng)高達193項。而在此之前，全球光刻市場(chǎng)是美國企業(yè)Cymer公司“一家獨大”。

　　要知道，當前韓國電子巨頭三星正盼能從我國半導體市場(chǎng)“分得一塊蛋糕”。11月12日當天，三星首次面向我國發(fā)布了芯片產(chǎn)品——Exynos1080，還宣布將向我國智能手機制造巨頭vivo供應5nm高端芯片。據此，可以想象，若韓國能與我國分享光刻技術(shù)，那么我國實(shí)現光刻機國產(chǎn)化也指日可待了。