中芯國際稱(chēng)7nm EUV光刻機問(wèn)題已解決 技術(shù)研發(fā)步入正軌

在半導體工藝進(jìn)入10nm節點(diǎn)之后，制造越來(lái)越困難，其中最復雜的一步——光刻需要用到EUV光刻機了，而后者目前只有荷蘭ASML阿斯麥公司才能供應。中芯國際去年也訂購了一臺EUV光刻機，日前該公司表示與ASML之間已解決光刻機的問(wèn)題，EUV技術(shù)研發(fā)步入正軌。

前不久有消息稱(chēng)ASML停止對中芯國際供應EUV光刻機，隨后ASML公司表示不是停供，而是延期，主要是在準備該國政府的出口申請文本工作。

中芯國際董事長(cháng)周子學(xué)日前在韓國訪(fǎng)問(wèn)，韓媒報道稱(chēng)周子學(xué)表態(tài)已經(jīng)解決了與ASML之間就光刻機供應存在的問(wèn)題，強調中芯國際在先進(jìn)工藝上的研發(fā)、生產(chǎn)一直處于穩定的軌道上，與客戶(hù)及設備供應商之間沒(méi)有任何問(wèn)題。

ASML公司是EUV光刻機目前唯一的供應商，今年四季度，ASML預計交付8臺EUV光刻機，平均每臺價(jià)格達到了1.2億歐元，折合人民幣9.3億元，堪稱(chēng)人類(lèi)最昂貴的設備了。