ASML出貨新光刻機NXT2000i：用于7nm/5nm DUV工藝

　　據外媒報道，光刻機霸主ASML(阿斯麥)已經(jīng)開(kāi)始出貨新品Twinscan NXT：2000i DUV(NXT：2000i雙工件臺深紫外光刻機)，可用于7nm和5nm節點(diǎn)。

　　NXT：2000i將是NXE：3400B EUV光刻機的有效補充，畢竟臺積電/GF的第一代7nm都是基于DUV工藝。

　　同時(shí)，NXT：2000i也成為了ASML旗下套刻精度(overlay)最高的產(chǎn)品，達到了和3400B一樣的1.9nm(5nm要求至少2.4nm，7nm要求至少3.5nm)。

　　ASML將于本季度末開(kāi)始量產(chǎn)Twinscan NXT：2000i，價(jià)格未披露。目前，NXE：3400B EUV光刻機的報價(jià)是1.2億美元一臺，傳統的ArF沉浸式光刻機(14nm節點(diǎn))報價(jià)是7200萬(wàn)美元之間， NXT：2000i肯定是在這兩者之間了。

　　最后簡(jiǎn)單介紹下ASML公司，其脫胎于荷蘭飛利浦的光刻研發(fā)小組，2017年全球光刻機市場(chǎng)占比7成，是絕對的一哥，后面跟著(zhù)的是佳能、尼康和上海微電子。

　　集成電路在制作過(guò)程中經(jīng)歷材料制備、掩膜、光刻、刻蝕、清洗、摻雜、機械研磨等多個(gè)工序，其中以光刻工序最為關(guān)鍵，它是整個(gè)集成電路產(chǎn)業(yè)制造工藝先進(jìn)程度的重要指標，即在芯片制造過(guò)程中的掩膜圖形到硅襯底圖形之間的轉移。(上刻出晶體管器件的結構和晶體管之間的連接通路。)

　　圖為NXE：3300 EUV光刻機