“合肥造”光刻設備將打破國外壟斷

　　中國芯片制造業(yè)高端裝備一直以來(lái)依賴(lài)國外進(jìn)口，尤其是高端光刻設備受到西方封鎖，有錢(qián)也買(mǎi)不到，或是毫無(wú)競價(jià)權，國內進(jìn)口集成電路裝備采購每年達數十億美元。在高新區的合肥芯碁微電子裝備有限公司，正在通過(guò)自主創(chuàng )新，改變這種現況。

　　據介紹，合肥芯碁微電子裝備有限公司主要經(jīng)營(yíng)微電子高端裝備研發(fā)、制造、技術(shù)服務(wù)。公司技術(shù)團隊是以曾承接國家02重大科技專(zhuān)項《130—65nm制版光刻設備及產(chǎn)業(yè)化》項目核心人員為基礎，結合國內外業(yè)界精英組成，60%以上碩博士。團隊骨干均為國內首創(chuàng )激光直寫(xiě)光刻設備、激光曝光設備的核心骨干成員。

　　“有別于傳統的創(chuàng )新，我們是完全自主知識產(chǎn)權，用在集成電路制造領(lǐng)域的核心裝備，目標是取代進(jìn)口。”合肥芯碁微電子裝備有限公司相關(guān)負責人介紹說(shuō)，即將投產(chǎn)的激光直寫(xiě)光刻機、雙臺面激光曝光機，均為進(jìn)口替代產(chǎn)品。

　　其中，該公司的MLL及LDW系列光刻設備是國內目前唯一可以替代進(jìn)口的半導體光刻設備，已有38所、771所、中科大微納米中心、11所、13所、半導體所、華中科大等客戶(hù)購買(mǎi)使用。需求逐步增長(cháng)，現在每年約30臺套。LDI激光曝光機系列是國內目前與以色列奧寶(壟斷全球75%市場(chǎng)在中國去年銷(xiāo)售臺220臺)直接競爭的產(chǎn)品。QS系列檢測設備，現有客戶(hù)中芯國際、13所、43所、西南所等，計劃項目投產(chǎn)后第二年銷(xiāo)售合計20臺，銷(xiāo)售收入約3000萬(wàn)元。

　　此外，集成電路產(chǎn)業(yè)是國家重點(diǎn)支持和發(fā)展的戰略性產(chǎn)業(yè)，高端裝備制造業(yè)更是工業(yè)4.0及中國制造2025發(fā)展重點(diǎn)趨勢，芯碁微電子裝備正是為集成電路產(chǎn)業(yè)提供自主高端裝備的高科技企業(yè)，是各級政府重點(diǎn)支持的新興產(chǎn)業(yè)。

　　合肥芯碁微電子裝備有限公司相關(guān)負責人認為，核心高端裝備業(yè)的進(jìn)口制約導致我國集成電路產(chǎn)業(yè)和國防軍工產(chǎn)業(yè)面臨巨大的戰略安全威脅。芯碁微電子裝備正是以保障國家經(jīng)濟與產(chǎn)業(yè)安全為己任，志存高遠，力爭盡快成長(cháng)為中國微電子裝備業(yè)的領(lǐng)導企業(yè)。