中國ASML機臺裝機量已接近1400臺！

2023年11月5日-10日，第六屆中國國際進(jìn)口博覽會(huì )（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“進(jìn)博會(huì )”）將在上海全面線(xiàn)下舉辦。光刻設備領(lǐng)先供應商阿斯麥（ASML）今年也將第五次參加進(jìn)博會(huì )，公司將以“光刻未來(lái)，攜手同行”為主題，亮相國家會(huì )展中心技術(shù)裝備展區集成電路專(zhuān)區，并首次以互動(dòng)視頻的形式帶領(lǐng)觀(guān)眾深度了解ASML包括光刻機臺、計算光刻以及光學(xué)和電子束量測在內的全景光刻解決方案如何相互協(xié)作、支持客戶(hù)。

在正式參會(huì )前夕，ASML全球高級副總裁、中國區總裁沈波就本屆參展計劃、在華業(yè)務(wù)發(fā)展情況及未來(lái)規劃等熱點(diǎn)話(huà)題和外界展開(kāi)交流。

△ASML全球副總裁、中國區總裁沈波

“今年，我們深圳和武漢的研發(fā)團隊開(kāi)發(fā)并發(fā)布了一款貼合中國客戶(hù)需求的新版本計算光刻產(chǎn)品，能夠實(shí)現行業(yè)領(lǐng)先的良率。在此背景下，我們也希望通過(guò)進(jìn)博會(huì )這樣的平臺持續讓外界對ASML有更客觀(guān)、全面的認識，ASML始終積極響應中國集成電路行業(yè)的發(fā)展需求，為客戶(hù)提供全景光刻解決方案，這其中不僅包括大家熟知的光刻機臺，還有計算光刻、以及光學(xué)和電子束量測，從而幫助客戶(hù)經(jīng)濟高效地提升良品率和生產(chǎn)效率?！鄙虿ń障蛎襟w介紹。

ASML持續擴大在中國的研發(fā)投入

自1988年向中國交付了首臺步進(jìn)式光刻機之后，ASML公司已經(jīng)在中國市場(chǎng)深耕30余年，參與支持了中國半導體行業(yè)的發(fā)展，提供全包括光刻機臺、計算光刻、以及光學(xué)和電子束量測的全景光刻解決方案，從而幫助客戶(hù)提高效率并降低成本。

目前，ASML在中國設有16個(gè)辦事處、12個(gè)倉儲物流中心、3個(gè)開(kāi)發(fā)中心、1個(gè)培訓中心以及1個(gè)維修中心。ASML在中國大陸的員工總人數已經(jīng)超過(guò)1600人。

據了解，2004年，ASML在深圳建立首個(gè)計算光刻開(kāi)發(fā)中心。經(jīng)過(guò)近20年的人才積累，該中心已成為ASML在全亞洲最大的專(zhuān)業(yè)軟件開(kāi)發(fā)中心。目前，ASML在國內有深圳和武漢兩個(gè)計算光刻開(kāi)發(fā)中心。

“計算光刻主要應用于芯片的開(kāi)發(fā)與制造環(huán)節，實(shí)際是通過(guò)大量的數學(xué)和物理模型的建立來(lái)幫助客戶(hù)在芯片開(kāi)發(fā)和制造時(shí)設計出一個(gè)模板——用專(zhuān)業(yè)的詞來(lái)說(shuō)叫‘光罩’（又叫‘掩模版’）；光刻機是把這個(gè)光罩上面客戶(hù)設計的圖案投影到晶圓上面，然后晶圓通過(guò)光刻膠的顯影后續的工序把它呈現出來(lái)?！鄙虿ńo出相關(guān)定義時(shí)說(shuō)。

ASML“鐵三角”全景光刻解決方案中的另一環(huán)是量測，其是曝光后晶圓成像檢查和反饋的環(huán)節，幫助進(jìn)一步優(yōu)化模型。量測分還為光學(xué)和電子束兩種，其中，ASML電子束量測在北京設有開(kāi)發(fā)中心，是ASML電子束量測的全球四大開(kāi)發(fā)中心之一，專(zhuān)門(mén)從事電子束系統關(guān)鍵組件的開(kāi)發(fā)。

“ASML的服務(wù)不光是對故障維修和讓設備正常運轉，很重要的一個(gè)附加值在于A(yíng)SML團隊能夠配合客戶(hù)的工藝做調整、優(yōu)化，幫助客戶(hù)實(shí)現其工藝要求，從而使客戶(hù)能夠在制造芯片過(guò)程中獲得更好的良率和生產(chǎn)效率，更順暢地把工藝窗口做好；這是我們圍繞‘成像環(huán)節’做的一些事情，其中需要的不僅僅是光刻機，我們的計算光刻軟件和量測系統一起構成了緊密協(xié)作的三角形?！鄙虿ㄔ诮涣鲿?huì )上談到。

ASML在中國的機臺裝機量接近1400臺

根據ASML的財報顯示，截止9月30日的前三季度，ASML全球凈銷(xiāo)售額達203.21億歐元，而中國區同期收入約合52.67億歐元，占比25.91%左右。其中，ASML三季度來(lái)自中國大陸的銷(xiāo)售收入占比由二季度的24%（銷(xiāo)售額約為13.45億歐元），幾乎翻倍增長(cháng)到了46%（銷(xiāo)售額約為24.42億歐元），要知道今年一季度中國大陸的銷(xiāo)售收入占比僅8%。這也進(jìn)一步凸顯了中國大陸市場(chǎng)對于A(yíng)SML光刻系統旺盛的需求，以及ASML對中國大陸市場(chǎng)交付的快速增長(cháng)。

對于中國大陸市場(chǎng)增長(cháng)情況，沈波解釋稱(chēng)，過(guò)去兩年，受產(chǎn)能制約等因素影響，ASML對全球客戶(hù)交付率基本維持50%左右。今年中國大陸市場(chǎng)交付相對較多，主要因為一些產(chǎn)能越大的全球客戶(hù)對行業(yè)波動(dòng)會(huì )越敏感，當行業(yè)景氣度下滑時(shí)，這些客戶(hù)會(huì )選擇放緩產(chǎn)能建設和設備采購進(jìn)度。而中國大陸的客戶(hù)目前仍處于產(chǎn)能建設階段，有些客戶(hù)甚至剛起步，尤其在成熟制程這塊需求非常旺盛，所以對行業(yè)波動(dòng)相對不那么敏感。

“即便面對行業(yè)波動(dòng)，中國大陸客戶(hù)對我們的需求仍是將前兩年訂的貨盡快交付，而其他客戶(hù)的需求時(shí)間節點(diǎn)發(fā)生了變化。所以，最后大家看到的結果是中國大陸市場(chǎng)所占的份額相對出現上升?！鄙虿ㄕf(shuō)道。

沈波還特別指出，“現在網(wǎng)上有各種各樣的關(guān)于我們的消息，說(shuō)我們不賣(mài)機器到中國，這種很吸引眼球的傳聞。然而，實(shí)際上我們從1988年首臺機器運到中國，到2023年底，ASML在中國的光刻機加上量測的機臺裝機量接近1400臺。所以，實(shí)際上我們這些年在中國的成長(cháng)幅度還是非?？捎^(guān)的。我們一直在不停地投入做這件事情?！?/p>

光刻設備供不應求，ASML正努力提升供應能力

作為全球半導體設備行業(yè)的創(chuàng )新領(lǐng)導者，1984年成立的ASML公司，提供涵蓋硬件、軟件和服務(wù)在內的全景光刻解決方案，幫助芯片制造商在硅晶圓上批量“刻”制圖形。目前，ASML是全球最大的光刻機制造商，通也是全球唯一的極紫外光（EUV）的光刻機制造商。

“我們的光刻機每小時(shí)能處理多達300余片晶圓，每一片晶圓可能在光刻機中曝光時(shí)間只有十幾秒。這十幾秒，機器要把所有的曝光完成。其中，在一片晶圓上，根據產(chǎn)品種類(lèi)和設計的差異需要產(chǎn)生100束光左右，每一束光都會(huì )有區別，并且在實(shí)時(shí)調整。這個(gè)過(guò)程非常復雜、非常精細?！鄙虿ū硎?，光刻環(huán)節，處于上千道工序里面最核心的位置。量產(chǎn)芯片廠(chǎng)，產(chǎn)品良率基本上在90%以上。這一千多道工序，每一道工序的誤差、偏差都需要控制得非常精確。任何一道工序有問(wèn)題，芯片最后出來(lái)就可能不是一個(gè)合格的產(chǎn)品，這對芯片廠(chǎng)而言是巨大的成本。

根據ASML于今年10月18日公布的最新財報顯示，截止9月30日的前三季度，ASML全球凈銷(xiāo)售額達203.21億歐元，而中國區同期收入約合52.67億歐元，占比25.91%左右。ASML預計，2023年第四季度的凈銷(xiāo)售額在67億-71億歐元之間，毛利率在50%-51%之間。

對于A(yíng)SML來(lái)說(shuō)，截止今年三季度，公司仍有超過(guò)350億歐元的未交付訂單。如何突破產(chǎn)能瓶頸以應對市場(chǎng)需求增長(cháng)仍是ASML需要解決的問(wèn)題。

“總體來(lái)講，到目前為止，我們還屬于有一點(diǎn)產(chǎn)能不足的狀態(tài)。對市場(chǎng)的需求來(lái)說(shuō)。盡管現在全球行業(yè)整體處在周期谷底，但ASML目前在手還沒(méi)執行的訂單有350億歐元?？傮w上（光刻設備）還是供不應求?！鄙虿ū硎?，2023年ASML公司銷(xiāo)售額相比2022年（212億歐元）將增長(cháng)30%，預計達270億歐元以上。

展望行業(yè)趨勢，沈波認為，當前存儲芯片庫存在進(jìn)一步降低，同時(shí)價(jià)格出現些許回升；邏輯芯片廠(chǎng)設備的使用率慢慢地往回升，行業(yè)整體正觸底回升，明后年則有望企穩；行業(yè)存在周期起伏，但長(cháng)期上升態(tài)勢未變。

“預計到2025年，行業(yè)回暖將使現有產(chǎn)能開(kāi)滿(mǎn)并需要新產(chǎn)能，同時(shí)，全球各地，包括在中國、美國、歐洲、日韓等會(huì )有新的芯片廠(chǎng)在2025年投入運行，兩個(gè)因素疊加，屆時(shí)會(huì )帶來(lái)一波半導體設備的需求?！鄙虿ㄖ赋?。

對此ASML此前也已經(jīng)公布了長(cháng)期的產(chǎn)能規劃，目標是在2030年代中期做到全球每年交付600臺DUV機器。沈波解釋稱(chēng)：“過(guò)去很多年，我們每年是全球交付200臺機器左右，到今年應能提升到300多臺的產(chǎn)能，但缺口仍比較大。近年來(lái)，我們積極和供應商溝通，以期在配合和協(xié)作下，確保順利地響應、滿(mǎn)足2025年的產(chǎn)能爬升。如果各方面都配合得符合預期，我們會(huì )在2025年底或者2026年初具備500到600臺DUV之間的全球年供應產(chǎn)能?！?/p>

中國大陸業(yè)務(wù)明年或受10-15%影響

今年以來(lái)，隨著(zhù)相關(guān)國家半導體出口管制政策接連出臺，業(yè)內對地緣政治的影響更為擔憂(yōu)。今年9月，荷蘭最新芯片出口管制措施生效。根據ASML此前回應，自2024年1月1日起，ASML將基本不會(huì )獲得向中國客戶(hù)發(fā)運TWINSCAN NXT：2000i及后續推出的浸潤式光刻系統的出口許可證。而在此之前，ASML的EUV光刻系統已受到出口限制。

今年10月17日，美國商務(wù)部工業(yè)與安全局（BIS）也發(fā)布多項規則，更新并擴大了2022年10月7日發(fā)布的對先進(jìn)半導體及其制造設備實(shí)施的一系列嚴格的出口管制措施等。

ASML回應稱(chēng)，“根據目前收到的信息，我們認為適用該新規的涉及先進(jìn)芯片制造的中國晶圓廠(chǎng)數量有限……ASML將向美國政府進(jìn)一步澄清這些新規的適用范圍。ASML持續致力于遵守經(jīng)營(yíng)所在國家/地區所有適用的法律和法規，包括出口管制法規?！?/p>

在三季度財報會(huì )議上，ASML CEO Peter Wennink進(jìn)一步解釋稱(chēng)，“1980Di原則上將受出口管制限制，但僅當用于先進(jìn)半導體制造時(shí)，僅適用于少數應用。這意味著(zhù)1980Di僅對少數晶圓廠(chǎng)禁止出口，但可向絕大多數應用于次關(guān)鍵和成熟制程的中國大陸客戶(hù)直接出口，無(wú)需許可?！?/p>

那么，美國的新規對于A(yíng)SML中國業(yè)務(wù)具體會(huì )有多大影響呢？

沈波坦言，“現在對于新的出口管制政策，我們還在研究中?？傮w來(lái)看，如果以今年我們在中國的業(yè)務(wù)為基礎，明年的業(yè)務(wù)大概會(huì )受到10%-15%的影響。中國明年的市場(chǎng)需求還是蠻旺盛的。短期內我們感覺(jué)應該對總體業(yè)務(wù)量不會(huì )有太大影響。從公司角度，到2030年，行業(yè)整體趨勢一直起伏性增長(cháng)，所以對公司銷(xiāo)售的總體趨勢不會(huì )有太大的改變?！?/p>

“我們只有部分浸潤式產(chǎn)品明年會(huì )被放到出口管制的范圍，并不是所有的。即使有了新的出口管制，我們還有非常大的一塊浸潤式的業(yè)務(wù)在中國?！鄙虿ㄑa充稱(chēng)。

在沈波看來(lái)，芯片制造需要一千多道工序，每道工序都集中了全球在該領(lǐng)域最好的公司和人才，才能保證把事情做好；在歷史發(fā)展進(jìn)程中，半導體也一直是需要全球高度合作的產(chǎn)業(yè)，但近年來(lái)不光是ASML，整個(gè)行業(yè)發(fā)展都受到了很多地緣政治方面的影響。如何去應對這種變化？沈波表示，“對ASML而言，只要在合法合規的框架下，我們一定會(huì )盡最大的努力去支持所有的客戶(hù)?！?/p>

“在我們看來(lái)，先進(jìn)制程芯片從數量上講是相對較小的，絕大多數是成熟制程芯片。我覺(jué)得，對于中國來(lái)講，這么大終端市場(chǎng)需求推動(dòng)下，把成熟制程芯片做到非常具有競爭力的水平，對半導體行業(yè)來(lái)講是最高效的，可以達到一個(gè)事半功倍的效果，有助于提高投入產(chǎn)出比?！鄙虿ㄕf(shuō)道。

編輯：芯智訊-浪客劍 來(lái)源：綜合自鈦媒體、證券時(shí)報等