恭喜！國內2大半導體廠(chǎng)導入光刻機

2021年12月8日，英諾賽科（珠海）科技有限公司為ASML光刻機成功導入8英寸硅基氮化鎵量產(chǎn)線(xiàn)舉辦了慶典。英諾賽科于2021年引入ASML光刻機，憑借著(zhù)其卓越的成像性能和獨特的TWINSCAN架構（雙晶圓工件平臺），英諾賽科進(jìn)一步提升了硅基氮化鎵功率器件制造的產(chǎn)能及產(chǎn)線(xiàn)良率。此次慶典上，ASML副總裁兼中國區總經(jīng)理沈波代表ASML被英諾賽科授予“最佳戰略合作伙伴”稱(chēng)號。

近年來(lái)，相較傳統硅材料，氮化鎵(GaN)和碳化硅(SiC) 等第三代半導體，以其更小尺寸、更高轉換頻率、更高功率密度等特點(diǎn)，逐漸成為了全球半導體產(chǎn)業(yè)的新焦點(diǎn)。此新材料可滿(mǎn)足節能、減排、智能制造等全球戰略需求。氮化鎵是“第三代半導體”關(guān)鍵材料之一，具有廣闊的市場(chǎng)前景，可滲透到包括消費、工業(yè)和汽車(chē)類(lèi)電子應用領(lǐng)域。作為全球領(lǐng)先的8英寸硅基氮化鎵芯片制造商（IDM），英諾賽科一直致力于推動(dòng)第三代半導體制造技術(shù)的創(chuàng )新和革命。
英諾賽科首席執行官孫在亨表示：“我們在今年第二季度引進(jìn)了ASML光刻機，改善了光刻工藝窗口，進(jìn)一步提高了產(chǎn)能和產(chǎn)線(xiàn)良率，帶來(lái)了可觀(guān)的成本效益。在設備入駐后，雙方技術(shù)團隊密切合作，通過(guò)現場(chǎng)驗證和快速迭代，技術(shù)挑戰迎刃而解，在短短三個(gè)月內實(shí)現試生產(chǎn)，最終在10月進(jìn)入正式量產(chǎn)階段。通過(guò)與半導體設備領(lǐng)跑者ASML的合作，加快了英諾賽科產(chǎn)品推向市場(chǎng)的速度，助力了氮化鎵半導體的蓬勃發(fā)展?！?/span>
這是一次重大突破，ASML光刻機首次進(jìn)入8英寸硅基氮化鎵量產(chǎn)線(xiàn)。為了給英諾賽科提供更有力的支持，ASML始終根據其制造需求不斷升級光刻設備ASML光刻機的順利入駐將持續助力英諾賽科的大規模量產(chǎn)，為其長(cháng)期發(fā)展保駕護航。
“我們很榮幸能成為英諾賽科的合作伙伴，并為此次得獎感到自豪。英諾賽科的蓬勃發(fā)展反映了第三代半導體近年來(lái)的突飛猛進(jìn)和長(cháng)期的發(fā)展潛力”沈波說(shuō)，“ASML一直致力于以領(lǐng)先的光刻技術(shù)為客戶(hù)提供不懈的支持和服務(wù)，以推動(dòng)整個(gè)半導體行業(yè)的創(chuàng )新發(fā)展。我們將繼續為英諾賽科的持續發(fā)展提供先進(jìn)的技術(shù)和優(yōu)質(zhì)的服務(wù)?！?/span>
ASML 深紫外光刻業(yè)務(wù)資深副總裁Ron Kool表示：“我們也欣喜地看到ASML TWINSCAN的卓越性能首次在8英寸硅基氮化鎵芯片制造領(lǐng)域得到驗證。我們完全有信心支持英諾賽科未來(lái)的持續增長(cháng)?！?/span>
晶瑞電材：公司已購得KrF光刻機
12月8日，有投資者向晶瑞電材提問(wèn)，晶瑞電材是否擁有KrF光刻機？是否具備批量生產(chǎn)KrF光刻膠的條件？
晶瑞電材表示，公司近期已購得KrF光刻機一臺，可用于KrF光刻膠的曝光測試，同時(shí)公司KrF光刻膠量產(chǎn)化生產(chǎn)線(xiàn)正在積極建設中。
此前，晶瑞電材已經(jīng)購得用于負膠、g線(xiàn)、i線(xiàn)、ArF等4臺光刻機，再加之此次購得的KrF光刻機，晶瑞電材已經(jīng)到位5臺光刻機。
據悉，目前晶瑞電材KrF光刻膠已經(jīng)完成中試，進(jìn)入了客戶(hù)測試驗證階段。這意味著(zhù)，此次晶瑞電材新購得深紫外線(xiàn)KrF光刻機后，可以快速投建其KrF光刻膠產(chǎn)線(xiàn)，加速其KrF光刻膠量產(chǎn)化進(jìn)程，也是其KrF光刻膠量產(chǎn)并導入晶圓廠(chǎng)的最后一步。
關(guān)于公司的主導產(chǎn)品，晶瑞電材表示，公司的主導產(chǎn)品包括光刻膠及配套材料、超凈高純試劑、鋰電池材料和基礎化工材料等，廣泛應用于半導體、新能源、基礎化工等行業(yè)，主要應用到下游電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程的清洗、光刻、顯影、蝕刻、去膜、漿料制備等工藝環(huán)節。公司專(zhuān)業(yè)從事微電子化學(xué)品的產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售。公司經(jīng)過(guò)多年研發(fā)和積累，超凈高純試劑主要產(chǎn)品達到國際最高純度等級（G5），打破了國外技術(shù)壟斷，制定了多項行業(yè)標準；被中國電子材料行業(yè)協(xié)會(huì )評為“中國電子化學(xué)品十強企業(yè)”，光刻膠產(chǎn)品規?；a(chǎn)近30年，達到國際中高級水準，是國內最早規模量產(chǎn)光刻膠的少數幾家企業(yè)之一。
晶瑞電材新增的KrF光刻機除了加快公司KrF光刻膠產(chǎn)品的驗證調試節奏，還為后續量產(chǎn)線(xiàn)的建成奠定必要基礎。目前，半導體國產(chǎn)替代已成為行業(yè)共識，在缺芯和晶圓廠(chǎng)產(chǎn)能擴張的推動(dòng)下，上游半導體制造材料的需求持續高漲。未來(lái)隨著(zhù)光刻膠業(yè)務(wù)逐步放量生產(chǎn)，光刻膠業(yè)務(wù)與新能源材料業(yè)務(wù)及其他半導體業(yè)務(wù)齊頭并進(jìn)，晶瑞電材將會(huì )保持行業(yè)領(lǐng)先的地位繼續高速發(fā)展，進(jìn)一步鞏固自己的龍頭地位。