國產(chǎn)光刻機第一股！華卓精科科創(chuàng )板過(guò)會(huì )，與清華共享專(zhuān)利

作者 |  高歌
編輯 |  Panken
芯東西9月17日報道，今天，北京華卓精科科技股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“華卓精科“）于科創(chuàng )板成功過(guò)會(huì )。華卓精科主營(yíng)業(yè)務(wù)為超精密測控設備，產(chǎn)品包括精密運動(dòng)系統、光刻機雙工件臺模塊、靜電卡盤(pán)、晶圓級鍵合設備、激光退火設備等，主要應用于集成電路制造、超精密制造、光學(xué)、醫療等行業(yè)。光刻機工件臺是光刻機的3大核心部件之一，華卓精科是國內首家自主研發(fā)并實(shí)現光刻機雙工件臺商業(yè)化生產(chǎn)的企業(yè)，也是國內光刻機龍頭上海微電子的供應商。目前，華卓精科的DWS系列雙工件臺可用于65nm及以上節點(diǎn)的I-line、KrF和ArF干式光刻機，但尚未通過(guò)上海微電子的驗收。今年7月29日，華卓精科的上市委會(huì )議結果為暫緩審議，上市委現場(chǎng)詢(xún)問(wèn)了有關(guān)其光刻機雙工件臺的產(chǎn)業(yè)化前景、其技術(shù)研發(fā)是否依賴(lài)清華大學(xué)、以及2019年和2020年第四季度的大額銷(xiāo)售收入等事項。報告期內，華卓精科營(yíng)收呈遞增趨勢，2018年、2019年、2020年其營(yíng)收分別為8570萬(wàn)元、1.21億元和1.52億元。本輪IPO，華卓精科計劃募資7.35億元，將用于半導體裝備關(guān)鍵零部件研發(fā)制造、超精密測控產(chǎn)品長(cháng)三角創(chuàng )新與研發(fā)中心、集成電路裝備與零部件產(chǎn)品創(chuàng )新項目、光刻機超精密位移測量及平面光柵測量技術(shù)研發(fā)4個(gè)項目。

華卓精科的董事、核心技術(shù)人員、首席科學(xué)家朱煜為公司的控股股東和實(shí)際控制人，其實(shí)際控制股份比例為54.23%。上會(huì )稿顯示，朱煜為清華大學(xué)長(cháng)聘教授，華卓精科的一眾高管也都有清華背景。

營(yíng)收持續增長(cháng)超精密測控裝備為主要收入來(lái)源

根據上會(huì )稿，華卓精科在報告期內營(yíng)收持續增長(cháng)，且增速較快。華卓精科2018年-2020年各期營(yíng)收分別為8570.92萬(wàn)元、1.21億元和1.52億元。其2019年營(yíng)收增幅達41.14%，2020年營(yíng)收增幅則為25.94%。凈利潤方面，華卓精科2018年、2019年、2020年凈利分別為1512.36萬(wàn)元、2087.24萬(wàn)元和1242.83萬(wàn)元。上會(huì )稿稱(chēng)，華卓精科其營(yíng)收增速較快主要是因為下游終端市場(chǎng)需求旺盛以及半導體設備國產(chǎn)替代趨勢的影響。2020年，華卓精科凈利潤下降較多，則由于其管理費用、貸款利息、計提預計信用損失大幅增加。

具體來(lái)說(shuō)，華卓精科的營(yíng)收組成可分為超精密測控裝備部件、超精密測控裝備整機與其他3類(lèi)。其中，超精密測控裝備部件主要為精密運動(dòng)系統及技術(shù)開(kāi)發(fā)、光刻機雙工件臺模塊及技術(shù)開(kāi)發(fā)、經(jīng)典卡盤(pán)及技術(shù)開(kāi)發(fā)和隔振器4類(lèi)；超精密測控裝備整機則可以分為晶圓級鍵合設備及技術(shù)開(kāi)發(fā)與激光退火設備。華卓精科的主要收入來(lái)源為精密運動(dòng)系統及技術(shù)開(kāi)發(fā)，在報告期內其業(yè)務(wù)營(yíng)收組成比例波動(dòng)較大。2020年光刻機雙工件臺收入占其總營(yíng)收的11.42%，在2019年該項收入則為0。上會(huì )稿稱(chēng)，光刻機雙工件臺技術(shù)開(kāi)發(fā)難度較大。2019年，上海微電子作為國內唯一的光刻機整機廠(chǎng)商未完成對合同內容驗收，因此華卓精科該業(yè)務(wù)收入為0。

從客戶(hù)情況來(lái)說(shuō)，華卓精科主要客戶(hù)為半導體等領(lǐng)域的企業(yè)，高?？蛻?hù)收入占比較低。中科飛測、上海微電子在報告期內一直為華卓精科的前五大客戶(hù)。2018年-2020年，華卓精科向前五大客戶(hù)的銷(xiāo)售收入占主營(yíng)業(yè)務(wù)收入比例分別為50.23%、53.57%及58.03%。雖然前五大客戶(hù)的銷(xiāo)售占比不高，但上海微電子是國內唯一的光刻機整機廠(chǎng)商，所以一定程度上華卓精科光刻機雙工件臺的商業(yè)化前景取決于上海微電子的光刻機整機銷(xiāo)售情況。

在原材料采購方面，華卓精科所需原材料主要可分為基礎材料、電氣類(lèi)、機械類(lèi)和光學(xué)類(lèi)。2020年，華卓精科對機械類(lèi)和電氣類(lèi)原材料采購金額較高，占比合計達76.39%。2018年-2020年華卓精科向前五大供應商合計采購金額占比分別為37.69%、29.41%及20.63%，呈下降趨勢。翟柯萊姆達、Zygo Corporation和山東鑫磊精密機械有限公司在2019年和2020年是華卓精科的前五大供應商。

產(chǎn)品填補多項國產(chǎn)空白光刻機雙工件臺存在制程差距

對光刻機市場(chǎng)來(lái)說(shuō)，主要廠(chǎng)商有荷蘭ASML和日本尼康、佳能和中國上海微電子4家。尼康和佳能主要采用“In House”生產(chǎn)模式，即光刻機的主要子系統均由整機廠(chǎng)研發(fā)和生產(chǎn)。ASML早期采用“Out House”生產(chǎn)模式，即僅負責整機的設計和子系統的需求定義，子系統由第三方廠(chǎng)商進(jìn)行生產(chǎn)。2010年后，ASML也開(kāi)始自行設計工件臺。上會(huì )稿指出，無(wú)論上述整機廠(chǎng)商采取何種研發(fā)、生產(chǎn)模式，其工件臺均不單獨對外銷(xiāo)售。這也意味著(zhù)華卓精科對于光刻機的國產(chǎn)化替代較為重要。和ASML所使用的光刻機雙工件臺對比，華卓精科的DWS系列產(chǎn)品和ASML的干式深紫外（DUV）光刻機雙工件臺處于同一架構，但性能有所落后；華卓精科的浸沒(méi)式DWSi系列產(chǎn)品尚未完成研發(fā)；在極紫外（EUV）領(lǐng)域，華卓精科并未推出產(chǎn)品。截至最新的上會(huì )稿簽署，華卓精科DWS系列光刻機雙工件臺累計發(fā)貨4臺，仍處于與上海微電子光刻機整機集成、測試階段，尚未通過(guò)上海微電子的最終驗收。

此外，在精密運動(dòng)系統、晶圓級鍵合設備、激光退火設備、靜電卡盤(pán)等不同的市場(chǎng)，華卓精科還需要面對不同的國內外競爭對手。這些對手既有Aerotech、應用材料、泛林半導體、東京電子、住友重工等國外巨頭，也有中微公司、長(cháng)川科技、北方華創(chuàng )等國內半導體設備廠(chǎng)商。相對來(lái)說(shuō)，華卓精科存在融資渠道單一、品牌知名度較低、客戶(hù)資源較為劣勢等差距。此外，華卓精科的晶圓級鍵合設備、激光退火設備等仍處于小批量定制生產(chǎn)階段，未實(shí)現規?；慨a(chǎn)，其光刻機雙工件臺也尚未通過(guò)下游客戶(hù)驗收。在產(chǎn)線(xiàn)豐富度和產(chǎn)品性能上，華卓精科同樣和行業(yè)龍頭存在差距。

盡管華卓精科的產(chǎn)品和行業(yè)龍頭相比存在不少差距，但是由于該公司較為豐富的技術(shù)積累，其產(chǎn)品填補了多項國內空白，促進(jìn)了半導體制造設備和核心部件的國產(chǎn)替代進(jìn)程。截至2021年6月30日，華卓精科共擁有198項專(zhuān)利以及1項專(zhuān)利獨占權，其中包括發(fā)明專(zhuān)利148項、實(shí)用新型43項、外觀(guān)設計2項、美國專(zhuān)利5項。因為朱煜是清華大學(xué)的長(cháng)聘教授，華卓精科與清華大學(xué)存在較為密切的技術(shù)交流、合作。上會(huì )稿寫(xiě)道，華卓精科承接了清華大學(xué)原發(fā)技術(shù)積累，并在報告期內委托清華大學(xué)進(jìn)行了65nm雙工件臺關(guān)鍵技術(shù)測試開(kāi)發(fā)項目。華卓精科與清華大學(xué)作為共同專(zhuān)利權人擁有的專(zhuān)利共計162項，其中協(xié)議轉讓方式獲取的專(zhuān)利115項、委托開(kāi)發(fā)方式獲取的專(zhuān)利30項、合作研發(fā)方式獲取的專(zhuān)利17項，清華大學(xué)授權華卓精科獨占實(shí)施許可的專(zhuān)利1項。

研發(fā)團隊占比超30%2名核心技術(shù)人員系清華兼職

華卓精科研發(fā)人員共有133人，占員工總數比例為33.08%。核心技術(shù)人員共有7人，分別為朱煜、張鳴、楊鵬遠、陳靜、張利、張豹和劉效巖，其中朱煜和張鳴為華卓精科原有核心技術(shù)人員。朱煜2001年于中國礦業(yè)大學(xué)獲機械設計及理論專(zhuān)業(yè)博士學(xué)位。畢業(yè)后，朱煜曾先后于中國礦業(yè)大學(xué)和清華大學(xué)從事教學(xué)和博士后工作。2004年10月至今，朱煜為清華大學(xué)教授，也是科技部重點(diǎn)領(lǐng)域創(chuàng )新團隊負責人及國家02科技重大專(zhuān)項技術(shù)副總師。此外，朱煜在全球擁有授權專(zhuān)利227項，其中發(fā)明專(zhuān)利173項；他還發(fā)表了200余篇論文，出版專(zhuān)著(zhù)2本。2007年和2016年，朱煜曾在北京七星華創(chuàng )電子和北方華創(chuàng )任獨立董事；2012年5月至2015年7月，他任華卓有限董事長(cháng)兼總經(jīng)理；2015年8月至2015年9月，朱煜為華卓精科董事長(cháng)；2015年9月至今，他擔任華卓精科董事、首席科學(xué)家。值得一提的是，朱煜也是國產(chǎn)CMP廠(chǎng)商華海清科的股東，擁有華海清科4.98%的股份。

張明2005年于清華大學(xué)獲機械工程專(zhuān)業(yè)博士學(xué)位。1999年3月至2000年7月，他在中國運載火箭技術(shù)研究院任助理工程師；2005年7月，張鳴在清華大學(xué)任博士后、助理研究員、副研究員等職。2017年8月，張鳴任華卓精科技術(shù)顧問(wèn)；2018年2月起，他開(kāi)始擔任華卓精科董事。張鳴曾參與過(guò)國家重大專(zhuān)項、973計劃、863計劃等6項國家級項目，發(fā)表論文66篇，其中SCI期刊收錄17篇。目前，張鳴擁有國家授權專(zhuān)利164項，其中發(fā)明專(zhuān)利147項。當前朱煜、張鳴已取得清華大學(xué)兼職批復，作為兼職人員在華卓精科任職。兩人也承諾，如果華卓精科順利上市，其將繼續向清華大學(xué)辦理兼職批復，繼續從事兼職工作；如果未能取得清華大學(xué)同意兼職的批復，則將從清華大學(xué)辦理離職手續并全職在華卓精科工作。

朱煜實(shí)際控股比例過(guò)半

根據上會(huì )稿，朱煜直接持有華卓精科35.72%的股份，他還通過(guò)艾西科技和艾西博銳持有5.45%的股份。而華卓精科的徐登峰、張鳴、楊開(kāi)明、尹文生、胡金春、穆海華、成榮7名股東合計持有13.06%的公司股份，并于與朱煜保持一致行動(dòng)關(guān)系。所以朱煜實(shí)際控制的股份比例為54.23%，是華卓精科的實(shí)際控制人和控股股東。此外，持有華卓精科股份比例超過(guò)5%的股東還有水木愿景和水木長(cháng)風(fēng)兩家公司，持股比例分別為8.75%和6.78%。華卓精科董事長(cháng)吳勇為水木愿景、水木長(cháng)風(fēng)和吳勇本人推薦擔任。

結語(yǔ)：產(chǎn)學(xué)合作填補空白需要面對多領(lǐng)域巨頭競爭

與此前過(guò)會(huì )的華海清科類(lèi)似，華卓精科也是依托于清華大學(xué)的技術(shù)積累，并通過(guò)“產(chǎn)學(xué)研用”模式，將學(xué)術(shù)成果轉化為商用化產(chǎn)品，填補了我國光刻機工件臺這一半導體核心部件的空白。因此，華卓精科如果能夠上市成功，對我國光刻機的國產(chǎn)替代有著(zhù)積極意義。但同時(shí)，華卓精科的產(chǎn)品業(yè)務(wù)較多，部分產(chǎn)品尚未規?；慨a(chǎn)，能否在這些已經(jīng)比較成熟的行業(yè)獲得成功仍需觀(guān)望。