彌費科技宣布完成晶圓廠(chǎng)整廠(chǎng)AMHS系統驗證交付

9月25日至27日北京微電子國際研討會(huì )暨IC WORLD大會(huì )在京隆重召開(kāi)，彌費科技董事長(cháng)、CEO繆峰受邀出席并在27日的專(zhuān)題論壇「集成電路專(zhuān)用設備的機遇與挑戰」中帶來(lái)《適用于半導體晶圓廠(chǎng)的國產(chǎn)自動(dòng)物料傳送系統AMHS》的主題演講，分享半導體晶圓廠(chǎng)國產(chǎn)化AMHS的關(guān)鍵性技術(shù)挑戰與市場(chǎng)機會(huì )，并首次公開(kāi)了在半導體領(lǐng)域整廠(chǎng)級AMHS國產(chǎn)替代成功交付的最新案例。

作為中國領(lǐng)先的半導體晶圓廠(chǎng)AMHS設備整體解決方案供應商，彌費科技完成了從AMHS產(chǎn)品供應商向AMHS系統級供應商的演進(jìn)，采用公司AMHS硬件設備及軟件的整廠(chǎng)訂單已被國內最大的專(zhuān)注于車(chē)規級碳化硅芯片制造企業(yè)廣東芯粵能半導體有限公司驗收通過(guò)。此次成功交付展示了彌費科技在該領(lǐng)域的技術(shù)實(shí)力和解決方案的可靠性，也代表著(zhù)彌費科技成為國內首家具備晶圓廠(chǎng)整廠(chǎng)級AMHS解決方案、量產(chǎn)能力、項目實(shí)施經(jīng)驗和交付案例的國產(chǎn)替代供應商，填補了國產(chǎn)半導體AMHS系統在該領(lǐng)域的空白。

AMHS是一套復雜的自動(dòng)化搬運系統，對工廠(chǎng)自動(dòng)化尤為重要。以大陸目前量產(chǎn)的先進(jìn)工藝節點(diǎn)28nm為例，其平均光刻層數近50層、工藝步驟超過(guò)1000步、生產(chǎn)周期90天左右，一個(gè)4萬(wàn)片月產(chǎn)能28nm工藝節點(diǎn)的全自動(dòng)晶圓廠(chǎng)每天的晶圓盒傳送量超10萬(wàn)次，相比于晶圓廠(chǎng)AMHS系統，面板廠(chǎng)的傳送量?jì)H為半導體晶圓廠(chǎng)的1%。晶圓廠(chǎng)搬送的載體一般是5-10公斤的晶圓盒，而面板廠(chǎng)一般是幾百斤的玻璃基板，搬送效率和復雜度完全不是一個(gè)級別。對于面板廠(chǎng)和晶圓廠(chǎng)的AMHS系統來(lái)說(shuō)，是兩套完全不同的標準，不能兼容。

半導體芯片制造流程復雜，生產(chǎn)工序達上千道，晶圓制作過(guò)程技術(shù)要求較高。晶圓廠(chǎng)的AMHS系統由硬件設備及全自動(dòng)控制軟件構成，數量眾多的AMHS設備在A(yíng)MHS軟件的控制下實(shí)現全自動(dòng)物料智能搬運，實(shí)現晶圓廠(chǎng)無(wú)人化運轉，一套高效的AMHS系統可以在極大程度上減少在制品的等待時(shí)間，對保持和提升晶圓廠(chǎng)的產(chǎn)量、稼動(dòng)率、良率等核心生產(chǎn)指標至關(guān)重要。隨著(zhù)芯片工藝節點(diǎn)的不斷升級，晶圓廠(chǎng)的工藝制造流程與AMHS系統的結合已成為晶圓廠(chǎng)生產(chǎn)建設必不可少的重要規劃，對于晶圓廠(chǎng)至關(guān)重要。

*一般一座12寸40nm 40000片月產(chǎn)能的晶圓廠(chǎng)通常包含約200臺天車(chē)構成的天車(chē)傳送系統、約25-30臺大型存儲設備和10000臺以上的空中緩存單元，以及其他各種形式的傳輸、存儲 、凈化設備。

"通過(guò)自動(dòng)化、智能化的改造可大幅提升設備生產(chǎn)效率和產(chǎn)品良率， AMHS可實(shí)現半導體晶圓廠(chǎng)生產(chǎn)線(xiàn)間物料的無(wú)塵自動(dòng)搬運，減少搬運過(guò)程的振動(dòng)，滿(mǎn)足半導體的精密化生產(chǎn)需求，提升半導體的生產(chǎn)效率，已成為眾多先進(jìn)晶圓廠(chǎng)的標配。"芯粵能表示，"此次彌費科技AMHS系統級解決方案驗證通過(guò)并順利交付，提高了芯粵能工廠(chǎng)的自動(dòng)化水平，實(shí)現了智能化管理，有望幫助芯粵能大幅提高生產(chǎn)效率，保證產(chǎn)品質(zhì)量穩定性。"

彌費科技董事長(cháng)兼CEO繆峰表示，今年第四季度，預計彌費科技將進(jìn)一步實(shí)現8英寸和12英寸半導體晶圓廠(chǎng)AMHS的整廠(chǎng)量產(chǎn)交付，這意味著(zhù)海外寡頭在過(guò)去20～30年對半導體AMHS這一細分賽道上壟斷局面將被徹底打破。彌費科技作為半導體自動(dòng)化領(lǐng)域的后起之秀，憑借優(yōu)異的產(chǎn)品技術(shù)能力和在行業(yè)內取得的良好口碑，已成為中國境內極少數能提供成套半導體晶圓廠(chǎng)AMHS的中國本土供應商之一。