彌費科技8吋&12吋晶圓廠(chǎng)AMHS系統驗收，打破行業(yè)長(cháng)期海外壟斷

彌費科技近期宣布已在兩家12吋晶圓廠(chǎng)完成自動(dòng)物料搬運系統（AMHS）的驗收，成為國內首家在晶圓廠(chǎng)領(lǐng)域打破海外長(cháng)期壟斷的國產(chǎn)AMHS供應商。

在晶圓廠(chǎng)整廠(chǎng)AMHS系統級驗收上，彌費科技已累計完成一家8吋碳化硅晶圓廠(chǎng)，一家12吋IDM晶圓制造廠(chǎng)和一家12吋標準代工廠(chǎng)國產(chǎn)化驗證平臺，并打通了驗證平臺和量產(chǎn)代工廠(chǎng)之間的銜接，實(shí)現了該驗證平臺上的所有國產(chǎn)化晶圓生產(chǎn)設備和量產(chǎn)線(xiàn)之間的無(wú)縫切換，既完成了國產(chǎn)化率和供應鏈安全的目標，也幫客戶(hù)實(shí)現了整廠(chǎng)晶圓制造效率的顯著(zhù)提升。

不同應用領(lǐng)域對AMHS系統的性能要求不同。相比于面板制造、硅片廠(chǎng)、封裝廠(chǎng)等應用場(chǎng)景，晶圓制造廠(chǎng)從制造工序、搬運量、調度頻率、天車(chē)設備性能要求、軟件調度要求和整體AMHS系統可靠性、穩定性等要求上都相對最高，所以這一應用領(lǐng)域長(cháng)期被兩家海外公司壟斷，全球95%以上的晶圓廠(chǎng)都使用海外供應商的產(chǎn)品。在晶圓廠(chǎng)領(lǐng)域的交付并驗收成功，充分證明了彌費科技AMHS系統的高品質(zhì)和可靠性，使我國AMHS產(chǎn)品在國際市場(chǎng)的競爭力得到了顯著(zhù)提升。

彌費科技一直深耕在自動(dòng)化搬運系統中最難的應用領(lǐng)域—晶圓制造廠(chǎng)。自2018年開(kāi)始，針對晶圓廠(chǎng)的自動(dòng)化需求，逐步開(kāi)發(fā)完成了31類(lèi)硬件產(chǎn)品、2類(lèi)軟件產(chǎn)品，涵蓋軟件產(chǎn)品、傳輸產(chǎn)品、存儲產(chǎn)品、凈化產(chǎn)品和零部件。與同類(lèi)型的供應商相比，產(chǎn)品線(xiàn)更齊全并且技術(shù)完全自主可控，具備技術(shù)平臺持續升級迭代、產(chǎn)品混合兼容部署的能力。

作為自動(dòng)物料搬運系統（AMHS）國產(chǎn)化的先鋒，彌費科技成功攻克了在A(yíng)MHS系統中最高難度的晶圓廠(chǎng)交付及驗收。開(kāi)啟了國產(chǎn)AMHS系統在晶圓廠(chǎng)實(shí)際量產(chǎn)過(guò)程中的系統數據積累，通過(guò)數據分析和優(yōu)化，進(jìn)一步提升了系統的穩定性和可靠性。此外，公司還不斷打磨優(yōu)化自身產(chǎn)品的供應鏈，并搭建了零部件的可靠性驗證到系統級的可靠性驗證測試平臺，鞏固和擴大在成本控制及項目交付方面的競爭優(yōu)勢。這一里程碑式的成就，預示著(zhù)未來(lái)將逐步消除晶圓廠(chǎng)對國產(chǎn)自動(dòng)物料搬運系統（AMHS）的疑慮和不信任。這不僅打破了當前國產(chǎn)AMHS供應商僅能獲得demo line的惡性循環(huán)，也預示著(zhù)燒錢(qián)時(shí)代的終結。這一進(jìn)展意味著(zhù)國產(chǎn)AMHS將逐漸獲得更廣泛的市場(chǎng)認可，為我國半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展注入新的活力。

公司還充分發(fā)揮半導體晶圓廠(chǎng)中國AMHS企業(yè)標桿作用，引領(lǐng)行業(yè)標準的制定。由公司牽頭制定的AMHS行業(yè)首個(gè)團體標準——《集成電路晶圓廠(chǎng)用天車(chē)傳送系統應用要求》即將正式發(fā)布。立足于半導體晶圓廠(chǎng)對自主可控天車(chē)系統應用的迫切需求，將自身對天車(chē)傳送系統技術(shù)領(lǐng)域積累的應用成果與產(chǎn)業(yè)鏈、高等學(xué)府研究所及行業(yè)協(xié)會(huì )緊密融合。凝聚了5家協(xié)會(huì )及高校研究所、3家半導體晶圓廠(chǎng)、6家產(chǎn)業(yè)鏈上下游設備零部件及軟件企業(yè)的智慧和力量，共同打造出了高質(zhì)量的標準化成果。

在上海市集成電路行業(yè)協(xié)會(huì )組織的標準評審會(huì )上，該標準獲得行業(yè)專(zhuān)家高度認可。作為國內首個(gè)天車(chē)傳送系統標準，對于該系統的研發(fā)與應用具有重要的指導意義，有助于建立和完善中國AMHS行業(yè)自律機制，推進(jìn)行業(yè)健康可持續發(fā)展，提升中國企業(yè)在國際市場(chǎng)的競爭力。

彌費科技始終秉承技術(shù)創(chuàng )新驅動(dòng)的理念，激勵了更多企業(yè)投入到這一領(lǐng)域的研究與開(kāi)發(fā)中。作為國產(chǎn)AMHS供應商的領(lǐng)頭羊，彌費科技將繼續發(fā)揮自身優(yōu)勢，為實(shí)現AMHS領(lǐng)域的全面國產(chǎn)化不懈努力。