三星首次采用韓國本土EUV光刻膠 打破日企壟斷

據報道，三星首次引入韓國本土公司東進(jìn)世美肯（Dongjin Semichem）研發(fā)的EUV光刻膠（EUV PR）進(jìn)入其量產(chǎn)線(xiàn)，這也是三星進(jìn)行光刻膠本土量產(chǎn)的首次嘗試。在2019年經(jīng)歷與日本的光刻膠等關(guān)鍵原料的供應風(fēng)波之后，三星就在嘗試將關(guān)鍵原料的供應本土化，經(jīng)過(guò)三年的努力，韓國實(shí)現了光刻膠本地化生產(chǎn)。

在日本限制出口、三星嘗試重構EUV光刻膠的供應鏈之后，東進(jìn)世美肯就已開(kāi)始研發(fā)EUV光刻膠，并在去年通過(guò)了三星的可靠性測試，隨后不到一年就被應用于三星的大規模生產(chǎn)線(xiàn)。不過(guò)，EUV光刻膠可用于3-50道程序，目前也還不確定是用于哪一工藝程序。

同三星電子整體的生產(chǎn)線(xiàn)相比，東進(jìn)世美肯的EUV光刻膠用于一條工藝線(xiàn)還只是很小的一部分，但對于一種此前100%全部依賴(lài)進(jìn)口的原材料，能用于一條工藝線(xiàn)也有特殊的意義。

由于需要考慮與海外供應商之間的關(guān)系等多重因素，目前還不清楚三星是否會(huì )將本土EUV光刻膠用于更多的工藝線(xiàn)，預計根據其表現將決定未來(lái)的供應是否增加。