阿斯麥ASML全新EUV光刻機將于2021年中期發(fā)貨

14日訊，《科創(chuàng )板日報》記者從ASML獲悉，其公布了EUV路線(xiàn)圖上的新機型TWINSCANNXE:3600D的最終規格，這是30mJ/cm2的曝光速度達到每小時(shí)曝光160片晶圓，提高了18%的生產(chǎn)率，并改進(jìn)機器匹配套準精度至1.1納米，并計劃于2021年的中期開(kāi)始發(fā)貨。