臺積電買(mǎi)下市場(chǎng)上50%的EUV光刻機 貢獻了60%的產(chǎn)能

　　在本周召開(kāi)的臺積電技術(shù)研討會(huì )上，最重要的中心信息之一是，該公司在半導體制造領(lǐng)域處于世界領(lǐng)先地位，特別是在領(lǐng)先的工藝技術(shù)領(lǐng)域。
　　為進(jìn)一步傳達信息，臺積電展示了一張幻燈片，指出了它與其他產(chǎn)品的相對位置：通過(guò)結合ASML的聲明和自己的內部采購單，臺積電預測他們已安裝了全世界約約50％的激活EUV機器。除此之外，該公司還擁有約60％的EUV晶圓累計生產(chǎn)量。
　　

大型晶圓廠(chǎng)目前已知的公開(kāi)EUV工藝包括TSMC的7+和N5，以及三星的7LPP（及以下任何產(chǎn)品），英特爾的EUV努力僅在明年進(jìn)入其自己的7nm產(chǎn)品組合。這些流程之外的任何前沿技術(shù)都將繼續擴大EUV的使用范圍。
　　與常規DUV機器相比，EUV機器的吞吐率通常較低，每小時(shí)約為120-175片晶圓，最新版本可以達到275 wph，但是由于1層EUV通?？梢源?-4層DUV，因此吞吐率更高。但是，對于這些代工廠(chǎng)來(lái)說(shuō)，渴望擴展到多個(gè)EUV機器以增加晶圓的物理數量是一個(gè)迫切的目標 。

唯一制造EUV機器的公司是ASML，并且該公司公開(kāi)宣布其每年銷(xiāo)售多少臺機器。詳情如下

請注意，到目前為止，ASML仍未完全達到其目標，但是已經(jīng)足夠接近實(shí)現目標，這表明到2020年第二季度末，ASML僅出貨了13臺，但他們預期是35個(gè)系統。這些數字包括ASML已制造的所有不同類(lèi)型的Twinscan NXE機器，而更新的機器具有更高的吞吐量（有時(shí)會(huì )翻新一些舊的機器）。截止到2020年Q2，我們預測ASML已經(jīng)發(fā)貨的EUV機接近71臺，到2020年年底，這個(gè)數字將有可能達到90臺，然而ASML可能有多達積壓49 EUV掃描曝光機訂單，即使具有這些發(fā)貨目標。

　　如果ASML已經(jīng)出貨了71臺機器，那么根據臺積電的數字，這意味著(zhù)該公司大約有30-35臺。請注意，TSMC的數字是針對“已安裝的EUV”機器的。我們獲悉，從獲取零件到校準機器使用最多需要6個(gè)月的時(shí)間。因此，目前，這些晶圓廠(chǎng)中有一些正在等待安裝EUV機器，或者在Intel的情況下，可能僅用于早期測試或風(fēng)險前試驗。我們知道，GlobalFoundries擁有兩臺早期的EUV機器，安裝了一臺，但是當它決定不追求領(lǐng)先的7nm時(shí)最終出售了這兩臺機器，其中國內企業(yè)訂購了一臺，但據我們所知，由于美國施加的限制，它沒(méi)有安裝。。
　　隨著(zhù)臺積電為其N(xiāo)5生產(chǎn)增加其Fab 18的產(chǎn)能，并提高其EUV集成度，看看臺積電是否受制于其所擁有的機器數量是否受到限制將很有趣。在某個(gè)時(shí)候，英特爾在部署7納米工藝時(shí)也會(huì )想購買(mǎi)一個(gè)數量（我已經(jīng)看到英特爾已經(jīng)至少有10臺機器，但我無(wú)法確認），所以可能會(huì )有一個(gè)誰(shuí)先獲得訂單的爭吵。
　　但是可以肯定的是，ASML正處于中間位置，壟斷著(zhù)一切。