全球芯片競爭 他是唯一有原創(chuàng )發(fā)言權的華人科學(xué)家

　　“做科技是不分地域的……，我們都是希望科技越做越好，希望大家不要惡性競爭，要良性競爭。

　　“(中國的半導體)有很多產(chǎn)品也賣(mài)得不錯，我想跟美國比當然是有點(diǎn)差距了，跟日本比我想差距會(huì )小一點(diǎn)，日本那邊的資歷跟人才各個(gè)方面可能沒(méi)有大陸那么有優(yōu)勢吧，將來(lái)要超越日本應該是不難的。

　　“我很羨慕當今年輕人，你們這個(gè)時(shí)代沒(méi)有戰爭，不用逃難，豐衣足食，有很好的設備和儀器……但是你們的責任也是非常大的，你們將來(lái)必定要青出于藍而勝于藍，這個(gè)國家和社會(huì )的責任都在你們身上?！?/p>

　　2018年11月19日，在未來(lái)科學(xué)大獎頒獎現場(chǎng)，林本堅(Burn Lin)以一種飽經(jīng)世事的過(guò)來(lái)人口吻向聽(tīng)眾講述自己的見(jiàn)解。

　　就在“雜交水稻之父”袁隆平等六位科學(xué)家分享另外兩個(gè)獎項的同時(shí)，這位早前在大陸名不見(jiàn)經(jīng)傳的科學(xué)家，卻一人獨攬100萬(wàn)美元獎金。

　　連他自己都有些意外。

　　當他早前接到一個(gè)大陸的陌生電話(huà)，被通知得獎，聽(tīng)到獎金數額，林的直觀(guān)反應是：這個(gè)獎金不少哦。

　　之后，林本堅進(jìn)一步了解到，每一位得獎?wù)呱砗?，至少有十幾位工作忙碌且很有成就的科學(xué)家為之寫(xiě)推薦信。

　　作為未來(lái)科學(xué)大獎“數學(xué)與計算機科學(xué)獎”的唯一獲得者，林本堅憑什么，又是何來(lái)頭?

　　“大概從2006年開(kāi)始至今，世界上所有的高端芯片-包括咱們人手一部的手機里的核心芯片、人工智能芯片、5G芯片、比特幣挖礦芯片，無(wú)一不是浸潤式光刻科技制造的。說(shuō)沒(méi)有浸潤式光刻科技就沒(méi)有IT的今天，毫不夸張。世界上第一個(gè)提出這個(gè)科技的就是林本堅?！? 未來(lái)論壇理事會(huì )輪值主席陳恂激動(dòng)地說(shuō)。

　　“委員會(huì )能找出他這樣在工業(yè)界做出世界級、決定性貢獻的華人科學(xué)家，真令人佩服!這樣的人在中國，絕無(wú)僅有?！?/p>

　　“你們看，Burn多孤單!”

　　“當時(shí)在IBM，寫(xiě)個(gè)單子就能買(mǎi)最先進(jìn)的設備，發(fā)個(gè)文章就能領(lǐng)先全世界?！?/p>

　　回憶起早年在美國的工作經(jīng)歷，林本堅至今覺(jué)得“很有趣，很穩定，可以做一輩子?！?/p>

　　但金鱗豈非池中物。

　　在美國紐約州的IBM華生研究中心，他曾是孤獨的。

　　1980年代，因為對“微影路線(xiàn)之爭”的分歧，他與整個(gè)部門(mén)的關(guān)系變得火花四濺。所謂微影，是挾制整個(gè)半導體工業(yè)的光刻工藝，它的攻關(guān)進(jìn)程決定了芯片特征尺寸的大小，是推進(jìn)芯片性能迭代、建造強大計算和通信設備的關(guān)鍵技術(shù)。

　　1980年代后期的IBM乃至全球芯片界，曾一度全力攻關(guān)“X光微影”的研發(fā)。除了林本堅。

　　他仔細研究過(guò)X光微影，不僅光源不好解決、操作難度大，而且很快會(huì )觸達清晰度的極限。相較而言，紫外線(xiàn)微影不僅較易操作，而且提升空間更大。

　　一根筋的林本堅跑去央告老板：“只要給我X光十分之一的預算，我就能做出很多超越競爭對手的成果!”

　　可老板不為所動(dòng)：“對手在大力推動(dòng)X(jué)光，IBM不容落后!”

　　于是出現了這樣一幕：在部門(mén)例會(huì )上，一側是熙熙攘攘的“X光微影”團隊，人滿(mǎn)為患，而另一側是紫外光團隊的光桿司令林本堅。

　　“你看，Burn多孤單……”老板拐著(zhù)彎兒地“勸退”他。

　　林本堅的目光向周?chē)粧?，回答道：“我選擇到最有成長(cháng)空間的位置?！蔽輧刃σ粓F。

　　不久后，X光團隊完成一個(gè)技術(shù)攻關(guān)，眾人聚會(huì )慶祝，洋洋得意的老板給每人發(fā)了一件T恤，上面印著(zhù)“X ray works(X光可用)”的字樣。

　　林本堅接過(guò)T恤，刷刷幾筆改成“X ray works-for the dentists(X光可用，給牙醫用)”，還專(zhuān)門(mén)懸掛在文件柜上，路過(guò)的老板和同事們都能看見(jiàn)。

　　這樁往事至今是老友們的笑料，同事們從此知道，隨和的Burn Lin一旦碰到專(zhuān)業(yè)上的挑釁，真的會(huì )像他的英文名Burn一樣易燃易爆炸。

　　“我常常跟很多人意見(jiàn)不一樣，如果我發(fā)現我是對的，我就不跟他們玩兒了?！睉浖巴?，他帶著(zhù)一絲小傲嬌對網(wǎng)易科技記者說(shuō)。既然無(wú)法改變潮水方向，那就利用手頭的資金和人手獨闖前路。

　　“做不可能之夢(mèng)，戰不能敗之敵，忍不可忍之悲……”這是他早年最喜歡的一首描述堂吉訶德精神的歌曲。

　　很多年后，當他在臺積電研發(fā)130納米光刻芯片，每小時(shí)已經(jīng)可以做出100多片時(shí)，IBM還有人在用X光做250納米工藝，因為技術(shù)滯后且無(wú)法量產(chǎn)，最后不得不放棄。

　　“你們能不能管管他，不要攪局!”

　　為IBM工作22年的林本堅，在50歲時(shí)選擇提前退休。彼時(shí)，他已經(jīng)10度獲得美國IBM杰出發(fā)明獎、杰出優(yōu)秀獎，為公司創(chuàng )造多項世界第一，申請的專(zhuān)利資料堆滿(mǎn)文件柜。

　　“我離開(kāi)IBM時(shí)，沒(méi)有歡送會(huì )?！彼粺o(wú)遺憾地回憶。

　　這位極少與人紅臉的儒雅先生，雖然在科研上一絲不茍，私下卻溫厚謙謹，從不舍得責罵下屬。離開(kāi)IBM時(shí)，他或許曾期待一場(chǎng)惜別，卻等來(lái)一場(chǎng)交涉。

　　IBM希望他保證不會(huì )到對手那里工作。還提出他將來(lái)無(wú)論受聘誰(shuí)家，都要提前告知，屆時(shí)再確認有沒(méi)有競爭關(guān)系。

　　老東家可能意識到了，林本堅這個(gè)人，只要不在自己手里，放到哪兒都是科研核武器。

　　這枚核武器后來(lái)回到故鄉臺灣，很快轟炸了整個(gè)半導體世界。

　　2002年，半導體行業(yè)奉為圭臬的摩爾定律突然失靈。

　　這個(gè)定律預言，當價(jià)格不變時(shí)，每隔18~24個(gè)月，集成電路上可容納的元器件數目就會(huì )增加一倍，性能和性?xún)r(jià)比隨之提高一倍。

　　出自科研界的說(shuō)法是，晶體管越小，芯片就越快，耗能更少。

　　過(guò)去半個(gè)多世紀，全世界科學(xué)家都在想盡辦法延續這個(gè)定律，以維持信息技術(shù)的高速進(jìn)步。然而，在把芯片尺寸縮小至65納米之后，業(yè)界卡殼了。

　　當時(shí)幾乎所有人都寄希望于157納米 波長(cháng)光刻、以空氣為介質(zhì)的“干式”微影技術(shù)的突破上，全球頭部廠(chǎng)商為此投入幾十十多億美元，仍然毫無(wú)進(jìn)展緩慢進(jìn)展。

　　如果摩爾定律衰亡，意味著(zhù)人類(lèi)信息技術(shù)可能陷入停滯。

　　2002年，在一次國際微影研討會(huì )上，林本堅?huà)伋鲆豁楊嵏哺墒焦に?、利用水做介質(zhì)的“浸潤式微影”技術(shù)。據他介紹，這項技術(shù)不僅比傳統工藝造價(jià)低廉、操作簡(jiǎn)便，而且還比157納米干式技術(shù)提高了整整2倍的芯片解析度!

　　現場(chǎng)幾千人聽(tīng)得汗毛倒豎。如果這項技術(shù)行得通，整個(gè)芯片工藝可以前進(jìn)兩代半至三代。

　　業(yè)界瞬間炸鍋。有人視他為救世主，有人視他為攪局者，有人揪住浸潤式工藝中“水容易產(chǎn)生污染、產(chǎn)生氣泡”等技術(shù)細節提出質(zhì)疑，有人抨擊他嘩眾取寵。

　　更大的反彈來(lái)自那些已經(jīng)為157納米工藝投入血本、甚至已建好生產(chǎn)設備的廠(chǎng)商，其中一家投入數億元的大公司直接給臺積電高層打電話(huà)：“你們能不能管管他，不要攪局!”

　　幸運的是，臺積電上至“大老板”張忠謀下至數百名工程師，鼎力襄助他做實(shí)驗、發(fā)論文、辦講演。

　　為了不授人以柄，每發(fā)表一項結論之前，他都會(huì )把數據推演到窮盡，甚至連未被提出的細節也一并設想，以實(shí)證回應質(zhì)疑。

　　為了爭取那些為芯片量產(chǎn)做機器的廠(chǎng)商，林本堅親自跑遍美國、日本、德國、荷蘭等地，逐一拜會(huì )龍頭企業(yè)，不成想，一上來(lái)就遭遇一家美國大廠(chǎng)當頭棒喝：我們絕不會(huì )用你的科技，永遠不!

　　這一年，林本堅60歲。以技術(shù)虔誠，在大大小小的商人面前苦口婆心。

　　“他一個(gè)人站在一艘‘航空母艦’前叫停?！泵绹鴩夜こ淘涸菏?、臺灣新竹交通大學(xué)校長(cháng)張懋中如此評價(jià)林的孤膽。

　　經(jīng)過(guò)反復拜會(huì )，世界最大的光刻機制造商荷蘭艾斯摩爾、尼康等國際大廠(chǎng)漸漸服膺于這位華人科學(xué)家的縝密論證和眼光，紛紛轉向。

　　2003年，艾斯摩爾公司給林本堅展示了剛剛趕制出來(lái)的第一片用浸潤式曝光機做出的成像，一向恭謹舉止得體的林本堅興奮得手舞足蹈。

　　不久之后，浸潤式微影技術(shù)正式量產(chǎn)。

　　從量產(chǎn)第一代45納米芯片開(kāi)始，工業(yè)界40納米、32納米、28納米、20納米、16納米、14納米、10納米、7納米芯片，都靠浸潤式技術(shù)推進(jìn)。

　　2014年，一次在臺灣地區接受電視節目采訪(fǎng)，主持人特意問(wèn)到林本堅，他這個(gè)獨步全球的“微影浸潤式技術(shù)”到底是個(gè)什么樣的技術(shù)?

　　林本堅描述說(shuō)，這項技術(shù)主要就是將一個(gè)集合了各種線(xiàn)、管的電路系統縮到超級小，植到晶片上?？s到多小呢?譬如說(shuō)，把一根頭發(fā)剪下來(lái)，就是這根頭發(fā)橫截面那么大，“我們現在的科技可以做到放七千個(gè)電路在上面，所以這是很奇妙的地方?！?/p>

　　林本堅的工作，就是負責差不多每?jì)赡陮⒅s小30%，“繼續把可以成像的東西縮小”。

　　據媒體報道，林本堅在未來(lái)科學(xué)大獎之后曾到清華大學(xué)演講，經(jīng)他披露，光影微刻技術(shù)如今發(fā)展到一個(gè)頭發(fā)橫截面已經(jīng)可以裝下20735個(gè)SRAM(一種存儲器)單元。

　　摩爾定律起死回生。

　　據不完全統計，今天世界上每年超82%的芯片由浸潤式微影技術(shù)生產(chǎn)，從2002年至今，林本堅以?xún)赡暌坏乃俣?，將摩爾定律向前推進(jìn)了7代。

　　“他真是越來(lái)越厲害了”

　　僅2017年，全世界就有1.5億顆芯片由浸潤式微影技術(shù)制造產(chǎn)生。而臺積電在全球半導體制造市場(chǎng)的份額，去年超過(guò)56%，是第二名的4倍多，名冠第一毫無(wú)疑問(wèn)。

　　世界半導體看中國臺灣，臺灣半導體看臺積電，本世紀以來(lái)擎起臺積電的一根柱子，是林本堅。

　　2000年，全球互聯(lián)網(wǎng)泡沫破裂，半導體行業(yè)遭受重創(chuàng )。當時(shí)跟著(zhù)大廠(chǎng)亦步亦趨的臺積電在危機淘汰的邊緣苦撐待變。

　　就在這一年，年屆花甲的林本堅放棄在美國38年的產(chǎn)業(yè)、人脈、名望，加入前途未卜的臺積電。

　　“孩子們當時(shí)已經(jīng)在美國成家立業(yè)，我知道他們不會(huì )跟我回來(lái)?！绷直緢哉f(shuō)。

　　一向理解他的妻子黃修慧，當時(shí)剛剛在美國找到一份新工作，心里也著(zhù)實(shí)作了一番思想斗爭，最后還是決定隨丈夫返回臺灣。

　　當年從IBM離職后，盛名在外的Dr.Burn Lin不知是多少大企業(yè)垂涎的科學(xué)偶像，他前腳走出IBM，后腳就有幾家產(chǎn)業(yè)龍頭遞來(lái)橄欖枝，其中一家直接送來(lái)聘書(shū)，待遇榮寵，另一家更大的公司派副總作陪吃飯，都被林本堅婉言謝絕。

　　相較之下，當時(shí)的臺積電實(shí)在有點(diǎn)“寒酸”，早年差點(diǎn)被IBM收購。

　　入職后，臺積電配給他的團隊不到50人，把他請進(jìn)門(mén)的副總蔣尚義，小心翼翼地問(wèn)他對待遇有什么要求。林本堅沒(méi)提任何要求，而臺積電把當時(shí)所能給的最好的待遇都給了他。

　　一個(gè)求賢若渴，一個(gè)虛懷若谷。這一干就是15年。

　　入職后，林本堅不僅以浸潤式微影取代干式微影，一舉讓臺積電進(jìn)階為產(chǎn)業(yè)技術(shù)的領(lǐng)導者，而且把科研隊伍從50人擴充到700多人，帶出一支世界上最領(lǐng)先的微影技術(shù)研發(fā)隊伍，由此建立臺灣半導體制造霸權。

　　2004年，林本堅的浸潤式微影成為業(yè)界“顯學(xué)”，逐漸逆襲成全球主流技術(shù)。

　　英特爾等半導體龍頭及設備商認定，這是摩爾定律跨入45納米之后的解決方案，國際輿論也稱(chēng)，這項技術(shù)使臺積電設計能力足夠和IBM、英特爾等巨頭并駕齊驅。

　　網(wǎng)易科技記者讀到相關(guān)資料記錄，臺積電的193納米浸潤式微影機臺當初一出，IBM等十家原來(lái)訂購157納米干式機的國際半導體廠(chǎng)紛紛退單，跟進(jìn)臺積電，改訂浸潤式機臺。

　　此后的臺積電在芯片迭代上一路搶跑，躋身一線(xiàn)大廠(chǎng)，領(lǐng)銜世界半導體工業(yè)近20年。

　　林本堅的這一技術(shù)創(chuàng )新，連之前將他挖入的臺積電前共同運營(yíng)長(cháng)蔣尚義都直呼沒(méi)想到。

　　十多年前，蔣就曾對媒體說(shuō)道：

　　“我們發(fā)現他真是越來(lái)越厲害了，他193浸潤式的方法，改寫(xiě)了全世界半導體微影藍圖，產(chǎn)業(yè)界為了開(kāi)發(fā)157納米花了幾十億美元，但是因為他，這幾十億的美元全像倒在海里去了，沒(méi)有了?！?/p>

　　他終究改變了潮水方向。

　　2012年，臺積電總營(yíng)收達到170億美元，其中47%來(lái)自浸潤式技術(shù)。2016年營(yíng)收320億，浸潤式撐起半壁江山。

　　臺積電老董事長(cháng)、“半導體教父”張忠謀曾在他的退休晚會(huì )上說(shuō)：假如沒(méi)有你和你所建立的團隊，臺積電不會(huì )有今天。

　　2008年，林本堅以臺灣科學(xué)家的身份當選為美國國家工程院院士。

　　今年11月，林本堅成為第一個(gè)獲頒2018未來(lái)科學(xué)大獎的臺灣科學(xué)家。

　　頒獎當天，這位低調神秘的76歲老人像剛被發(fā)掘的寶藏，被各路記者拉著(zhù)腳不沾地轉場(chǎng)。

　　他彬彬有禮、豐采奕奕，顛覆了人們對科研工作者的一貫印象。有關(guān)他的奇事被從幕后搬上臺前，收獲著(zhù)大陸科研界的掌聲。

　　但他似乎并不習慣被聚焦。記者們喜歡奇談怪論，他的發(fā)言卻像一堂認認真真的學(xué)術(shù)報告。

　　內斂、安靜、風(fēng)趣，這幾個(gè)特點(diǎn)，是洋溢在林本堅身上的易被感知的特點(diǎn)。

　　在科學(xué)家的崗位上盡責盡心，當先生，又表現得體、周道。

　　未來(lái)科學(xué)大獎頒獎典禮走紅毯的入場(chǎng)環(huán)節中，和別的獲獎?wù)哂兴煌?，林本堅攜家人入場(chǎng)時(shí)，走在C位的不是他自己，而是他那位白發(fā)蒼蒼的太太黃修慧女士。

　　黃女士左手牽著(zhù)丈夫，右手挽著(zhù)從美國專(zhuān)程趕來(lái)的兒子，在一眾媒體的見(jiàn)證下，三人一字排開(kāi)，在紅毯上不疾不徐地走過(guò)，家庭在林本堅心目中的排位，斤兩可見(jiàn)。

　　發(fā)表獲獎感言時(shí)，林本堅用較多篇幅講科研和人生歷程，把感謝太太的話(huà)放到最后面說(shuō)，對太太重重夸贊，“我要是有什么成就的話(huà)，這位太太的功勞是不容埋沒(méi)的”。

　　主持人等他發(fā)言完，壞壞地打趣他，“我作為一位語(yǔ)言工作者，給您一個(gè)小小提示，下次您就直接說(shuō)太太，不要說(shuō)這位太太?！?/p>

　　全場(chǎng)哄笑。

　　領(lǐng)獎后，他攜妻兒匆匆離去。自2015年從臺積電退休后，他的角色便從叱咤業(yè)界的芯片大師，回歸為一位丈夫、一位父親，一位授業(yè)解惑的老師。

　　“他的心，跟上了他的每一個(gè)步伐?！?/strong>

　　許多人試圖以“成功學(xué)”的眼光解析林本堅，希望為年輕學(xué)者、尤其是青黃不接的大陸芯片界尋找起飛靈感。

　　可惜他的信條都太過(guò)樸拙——誠信、正直、操守，還有反復強調的合作精神。

　　“技術(shù)上的困難都是紙上談兵，要有晚上睡不著(zhù)覺(jué)的信念去解決問(wèn)題?！彼χ?zhù)勉勵年輕人，做科研一定是享受科學(xué)樂(lè )趣的，“不要死犟，要會(huì )轉彎，會(huì )求助，‘三個(gè)臭皮匠頂個(gè)諸葛亮’?！?/p>

　　在臺積電，這位神仙級科學(xué)家溫和如老師，不發(fā)脾氣，不罵人，對下級與上級一樣尊重、信任，謙和到所有人都喊他Burn爺爺，細致到每次演講都親自修改主題、字體，重復演練。

　　可一旦涉及科研水平、技術(shù)原則，他又極度專(zhuān)注、嚴謹甚至鐵腕。

　　當初浸潤式微影提出后，林本堅成為相關(guān)利益方的活靶子，不少大企業(yè)指名道姓地戳脊梁骨，他始終未見(jiàn)半分退縮。

　　同事們都說(shuō)：Burn內心堅定如鐵，行動(dòng)上卻“以柔克剛，以德服人”。他身上好像有種魔力，能讓英特爾這樣桀驁的老大哥都舍棄數年研究投入，跟著(zhù)他林本堅、跟著(zhù)臺積電一起轉彎。

　　這種磁場(chǎng)，與其說(shuō)是魔力，不如說(shuō)是掌控力。對事業(yè)如此，對家庭、生命亦如此。

　　“我熱愛(ài)科學(xué)，但我不能讓科學(xué)主宰我的生命?！?/p>

　　確切地說(shuō)，他不僅沒(méi)讓工作主宰生命，反而是一個(gè)精通攝影、小提琴、網(wǎng)球、桌球，酷愛(ài)籃球、聲樂(lè )、溜冰、旅行和各種小發(fā)明的多才多藝多樂(lè )的人生玩家。

　　早年在IBM工作時(shí)，很多同事因為工作外派與家人長(cháng)期分居，林本堅也被外派，但不論離家多遠，他每周末寧可驅車(chē)來(lái)回十幾個(gè)鐘頭也要往家趕。

　　“有時(shí)間我蠻喜歡下廚，炒牛肉，做白斬雞……”林本堅在自傳《把心放上去》中寫(xiě)道，他還偶爾用相機、鮮花、音樂(lè )和其他小禮物，為妻子精致地準備一個(gè)surprise……

　　在其他人生角色上的成功，絲毫不遜于他作為科學(xué)家的精彩。

　　在北京參加未來(lái)科學(xué)大獎典禮的幾天里，林本堅總是一副精致而優(yōu)雅的派頭，頭發(fā)梳理得紋絲不亂，一身西服整潔端莊，舉止紳士。

　　“您氣質(zhì)真好!”在網(wǎng)易科技采訪(fǎng)現場(chǎng)，攝影師由衷贊嘆。林本堅風(fēng)度翩翩，讓人猜不出年齡。

　　從臺積電退休后，林本堅在數所大學(xué)兼任教授，還和妻子一同為俄亥俄州立大學(xué)母校創(chuàng )辦助學(xué)基金。此次未來(lái)大學(xué)大獎的100萬(wàn)美元獎金，也全數捐入基金會(huì )。

　　“他的心，跟上了他的每一個(gè)步伐?！边@是一位摯友對林本堅的評價(jià)。

　　作為科學(xué)家，在外，45年如一日，開(kāi)山辟路，榮譽(yù)等身，業(yè)界隆崇。在內，父慈子孝，伉儷榮諧，活力盎然?！?。用自己希望的方式，過(guò)自己想要的生活”——網(wǎng)絡(luò )上被談?wù)摰倪@一條人生贏(yíng)家標準，用在林本堅身上，可謂相得益彰。

　　在美國，有一個(gè)著(zhù)名的牧師，家里有四個(gè)兒子，他既想當一個(gè)好父親，又要經(jīng)常出去演講奔忙，兩者怎么兼顧?這位牧師想出一個(gè)巧妙的辦法，每當外出演講時(shí)，他就把兒子們都帶去，一舉兩得。

　　采訪(fǎng)中，林本堅講到這個(gè)例子，建議大家不妨學(xué)學(xué)。

　　“從事科學(xué)的人應該會(huì )管理時(shí)間?！? 一腳踏入真理科學(xué)，一腳踏入煙火凡塵，方舟并騖，活得務(wù)實(shí)、活出哲學(xué)味的林本堅說(shuō)，“家庭、工作、生命是人的金三角，也是每個(gè)人的所有。我會(huì )用心發(fā)揮，也用心平衡?！?/p>