KLA-Tencor：制程控制在源頭 助力客戶(hù)實(shí)現更大生產(chǎn)價(jià)值

　　隨著(zhù)技術(shù)的進(jìn)步發(fā)展，制程的步驟越來(lái)越多，工藝也更加復雜化。如采用多重圖形技術(shù)的制程則為達到1000多道，而工藝窗口的挑戰則要求幾乎是“零缺陷”，這就對工藝控制水平提出了更高的要求。制造過(guò)程中任何細小的錯誤都將導致重新流片，而其代價(jià)將會(huì )很大，因此在制造過(guò)程中，檢測和量測變得越來(lái)越重要，越早發(fā)現問(wèn)題所在，可挽回的損失越大。全球領(lǐng)先的工藝控制及良率管理解決方案的設備供應商KLA-Tencor其產(chǎn)品線(xiàn)涵蓋了半導體制程的各個(gè)環(huán)節和技術(shù)節點(diǎn)，包括晶圓表面缺陷、光罩、薄膜等，也同時(shí)提供數據的分析和儲存。在其它領(lǐng)域，如高亮度LED、MEMS、功率器件等，KLA-Tencor也為客戶(hù)提供了大量的先進(jìn)技術(shù)和機臺。 KLA-Tencor客戶(hù)互動(dòng)副總Mark Shirey表示 “更先進(jìn)的技術(shù)節點(diǎn)意味著(zhù)更大的研發(fā)投入，而隨著(zhù)成本的增加良率的提升就顯得尤為重要，良率與成本需要達到平衡。同時(shí)要盡量縮短從研發(fā)到上線(xiàn)，再到最終產(chǎn)品的周期。 KLA-Tencor一直致力于幫助客戶(hù)加快產(chǎn)品開(kāi)發(fā)周期，從而降低成本。KLA-Tencor也與客戶(hù)通過(guò)緊密合作，當客戶(hù)在生產(chǎn)和研發(fā)過(guò)程中遇到新的挑戰時(shí)，KLA-Tencor的工程師都會(huì )在第一時(shí)間了解到客戶(hù)的需求，并借助自身強大的技術(shù)能力幫助客戶(hù)解決難題，最終實(shí)現和客戶(hù)共同進(jìn)步”

　　對于先進(jìn)制程，如7nm和5nm等設計節點(diǎn)，芯片制造商想要找到產(chǎn)品上的疊對誤差、線(xiàn)寬尺寸不均勻和易失效點(diǎn)(Hotspots)的明確起因將變得越來(lái)越困難。KLA-Tencor最近就推出了5款圖案成型控制系統，主要針對7nm以下的邏輯和尖端內存設計節點(diǎn)設計，以幫助芯片制造商實(shí)現多重曝光技術(shù)和EUV光刻所需的嚴格工藝寬容度。這五款產(chǎn)品分別為ATL疊對良測系統和SpectraFilm? F1薄膜量測系統，他們可以針對FinFET、DRAM、3D NAND和其他復雜器件結構的制造提供工藝表征分析和偏移監控。Teron? 640e光罩檢測產(chǎn)品系列和LMS IPRO7光罩疊對位準量測系統可以協(xié)助掩模廠(chǎng)開(kāi)發(fā)和認證EUV和先進(jìn)的光學(xué)光罩。5D Analyzer? X1先進(jìn)數據分析系統提供開(kāi)放架構的基礎，以支持晶圓廠(chǎng)量身定制分析和實(shí)時(shí)工藝控制的應用。Mark Shirey表示：“這五款系統將為我們的客戶(hù)提供KLA-Tencor最尖端的技術(shù)，幫助他們降低由每個(gè)晶圓、光罩和工藝步驟所導致的圖案成型誤差，從制程的源頭進(jìn)行控制，及早發(fā)現錯誤，避免造成更大的損失?！?/p>

　　KLA-Tencor的產(chǎn)品線(xiàn)涵蓋了半導體制程的各個(gè)環(huán)節和技術(shù)節點(diǎn)

　　此外，隨著(zhù)近幾年中國政府對發(fā)展半導體行業(yè)的大力投資，中國的半導體行業(yè)呈現欣欣向榮的局面。很多國際廠(chǎng)商也逐漸意識到中國市場(chǎng)的重要性，紛紛投資中國市場(chǎng)。KLA-Tencor也不外如是，也不斷加大在中國的投資。目前，KLA-Tencor在中國已經(jīng)設立了10處辦公室，近期又擴展了其位于北京的辦公室，希望能快速、及時(shí)地支持本地客戶(hù)的需求 。而且，KLA-Tencor近期還上線(xiàn)了其中文網(wǎng)站(www.kla-tencor.cn),該網(wǎng)站將同步KLA-Tencor的美國網(wǎng)站，定期更新各類(lèi)最新的功能以及技術(shù)信息，以更好服務(wù)中國的客戶(hù)。KLA-Tencor 中國區總裁張智安表示“隨著(zhù)中國半導體市場(chǎng)的加速發(fā)展，它的地位也變得舉足輕重，將來(lái)會(huì )是兵家必爭之地。中國有很多對于我們很重要的客戶(hù)， 我們希望能與他們保持密切的合作關(guān)系，為他們提供所需的技術(shù)支持和服務(wù)。今后，我們會(huì )持續投入中國市場(chǎng)。全力支持中國半導體行業(yè)發(fā)展。我們相信未來(lái)的中國市場(chǎng)會(huì )有很好的發(fā)展前景，中國的半導體產(chǎn)業(yè)正在向好的方向發(fā)展”

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