到10納米工藝，半導體特殊氣體純度比其他材料高1000倍以上

　　在新一輪半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展周期中，芯片制造得到了前所未有的重視程度。毫無(wú)疑問(wèn)，這是一個(gè)正確的決策，但材料與設備等芯片制造上游，同樣需要重視。尤其是材料方面，無(wú)論是硅片還是晶圓制造所需的各種化學(xué)材料，國內起步都比較晚，市場(chǎng)基本控制在國外廠(chǎng)商手里，國內制造商的議價(jià)能力不高，每逢上游漲價(jià)，就面臨利潤被侵蝕的風(fēng)險。

　　根據SEMI的數據，全球電子氣體市場(chǎng)規模2014年已達35億美元，其中特殊氣體約占65%。博純材料董事會(huì )主席兼首席執行官陳國富表示，半導體行業(yè)使用的高純電子特氣幾乎全部依賴(lài)進(jìn)口。造成這一狀況的外因是國外公司不愿意向國內轉移合成氣體技術(shù)，也無(wú)意在中國設廠(chǎng);內因是本土氣體公司小作坊式生產(chǎn)狀況普遍，很難達到晶圓制造的要求。

　　“半導體氣體生產(chǎn)的瓶頸很多，從原材料純度開(kāi)始，到工藝、集成方法，以及封裝過(guò)程中對于雜質(zhì)的控制，都會(huì )影響到整個(gè)產(chǎn)品的質(zhì)量。”博純材料產(chǎn)品經(jīng)理施宏偉表示。目前，博純材料能生產(chǎn)鍺烷、砷烷、乙硼烷等技術(shù)含量最高的關(guān)鍵氣體，并已成功通過(guò)臺積電、東芝等多家電子氣體最終用戶(hù)測試和現場(chǎng)管理稽查，成為直接服務(wù)國外最終客戶(hù)的中國電子氣體品牌。這次與英特格(Entegris)合作，代工英特格在芯片制造工藝中的壟斷性專(zhuān)利產(chǎn)品(SDS)，將進(jìn)一步加強博純材料在半導體供應鏈中的地位。

　　“走到10納米節點(diǎn)，從顆粒和雜質(zhì)來(lái)說(shuō)，半導體特殊氣體比其他任何專(zhuān)業(yè)都高1000倍以上。”英特格企業(yè)市場(chǎng)副總裁楊文革說(shuō)道，“特殊氣體所需要的純度，相當于5000升水里面，不能有1滴水的雜質(zhì)。半導體特殊氣體的安全性的問(wèn)題更重要，只要百萬(wàn)分之三的濃度，就可以殺人，一瓶氣體，就可以把整個(gè)廈門(mén)市人口消滅。”

　　那么，這樣高危險、高純度的氣體該如何存儲運輸呢?傳統方法是采用高壓鋼瓶，但高壓鋼瓶存在泄露風(fēng)險，一旦出現泄露，砷烷、磷烷等高毒性氣體將將會(huì )造成極大的危害。

　　英特格SDS(SafeDeliverySource，安全原料運輸)解決方案采用了負壓存儲，氣瓶壓力低于一個(gè)大氣壓或小于室壓，從根本上消除了高危氣體泄露的可能性。據楊文革介紹，SDS鋼瓶?jì)炔糠胖锰蓟絼?，將特殊氣體全部吸附，使用時(shí)采用真空泵抽取。所以即使瓶口打開(kāi)，危險性氣體也不會(huì )釋放出來(lái)。

　　“全球只有一條生產(chǎn)線(xiàn)生產(chǎn)SDS鋼瓶，供應Entegris在美國、韓國與中國的三個(gè)工廠(chǎng)。”楊文革指出，全球半導體離子注入氣體市場(chǎng)80%以上由SDS方式存儲運輸。

　　通過(guò)與博純材料合作，英特格成為全球首家在中國本地化生產(chǎn)特殊氣體產(chǎn)品的國際材料公司，英特格將繼續加強中國業(yè)務(wù)，為中國日益增長(cháng)的半導體市場(chǎng)提供支持。

　　在雙方合資新化學(xué)工廠(chǎng)的開(kāi)幕式上，英特格首席運營(yíng)官ToddEdlund也表示：“此次合作是我們持續計劃的一部分，通過(guò)本地化生產(chǎn)和技術(shù)支持更好地服務(wù)于中國客戶(hù)，滿(mǎn)足他們對于制造和工藝開(kāi)發(fā)的需求”。“我們與博純材料合作，為我們的特殊化學(xué)品在中國生產(chǎn)建造出了世界一流的工廠(chǎng)。”