ENTEGRIS 發(fā)布高純度氣體純化系統平臺，產(chǎn)能已擴展到亞洲

　　Entegris, Inc.——一家為微電子行業(yè)提供特殊化學(xué)品和先進(jìn)材料處理解決方案的領(lǐng)導者——宣布引進(jìn)新的先進(jìn)氣體純化平臺，以提高半導體和 LED 應用的晶圓良率。新系列 GateKeeper? 氣體純化系統 (GPS) 采用新的純化介質(zhì)，可在各種流量下提供一流的氣體純度，且設備占用空間更少。隨著(zhù)產(chǎn)能擴充到了韓國，現在Entegris 可同時(shí)在北美和亞洲生產(chǎn) GateKeeper GPS 系統。

　　Entegris 微污染控制部門(mén)高級副總裁 Clint Haris 表示：“我們的客戶(hù)面臨前所未有的污染控制挑戰，如何高效地生產(chǎn)日益復雜的尖端設備成為一大難題。新的 Gatekeeper GPS系統系列為客戶(hù)提供先進(jìn)的解決方案，可在這種環(huán)境下實(shí)現良率最大化。配合這些新技術(shù)引進(jìn)的同時(shí)，我們將繼續投資北美和亞洲生產(chǎn)設施，進(jìn)一步擴展全球服務(wù)和生產(chǎn)能力?！?/p>

　　先進(jìn)節點(diǎn)半導體工藝和 LED 生產(chǎn)要求需要更高純度以清除工藝氣體所夾帶的污染物，這些污染物會(huì )導致產(chǎn)品瑕疵。GateKeeper GPS系統系列可清除氣流中的各種污染物，使其降至萬(wàn)億分之一級別，并可通過(guò)配置來(lái)適應各種流量。經(jīng)純化的氣體包括 CDA、N2、H2、用于 EUV 的 H2、Ar、NH3。此外，制造商正在尋找附屬廠(chǎng)房占地面積更小的機臺。更小的占地面積可讓客戶(hù)將寶貴的附屬廠(chǎng)房地面空間騰出，安裝其他所需機臺或額外系統來(lái)提高純化產(chǎn)能。

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　　氣體純化產(chǎn)品管理部門(mén)主管 Jordan Ruple 表示：“我們和客戶(hù)緊密合作，了解和滿(mǎn)足客戶(hù)的純化需求，清除新污染物，增強對已知污染物的敏感度。我們率先為該尺寸的系統提供這一純度級別——涵蓋各種氣體和流量，對此我們相當自豪?！?/p>

　　最新 GateKeeper 系統將于 2017 年 2 月 8-10 日在 SEMICON? Korea 展會(huì )上亮相。有關(guān)詳細信息，請參觀(guān) D 展廳 5504 號 Entegris 展位、聯(lián)系當地 Entegris 代表或訪(fǎng)問(wèn)我們的網(wǎng)站。