并行參數測試轉向異步方式

并行測試是一種提高產(chǎn)量的常勝方法，而異步并行測試一直被認為是一種能顯著(zhù)改進(jìn)生產(chǎn)能力，同時(shí)最大限度的使用現有測試硬件的一種有效方式(參考文獻 1)，新穎之處在于將并行技術(shù)應用于半導體參數測試。

Keithley Instruments 率先提出了同步并行測試能力的概念，并出版了一本書(shū)(在第 22 頁(yè)有此問(wèn)題的評論)，該書(shū)討論了并行參數測試的優(yōu)點(diǎn)，提出了關(guān)于如何將該技術(shù)應用于傳統設備的提示，并說(shuō)明了如何設計新的測試結構，以充分利用并行測試能力的優(yōu)勢。

Keithley 在去年12月發(fā)布了 KTE 交互測試環(huán)境軟件的 5.2 版，用于該公司 S600 系列參數測試系統。KTE V5.2帶有一個(gè)名為PT_Execute的例程，可以對并行測試與順序測試作快速評估。該公司亦增加了一個(gè)名為 FMI(強制測量互鎖)的功能，它采用固件和軟件降低并行測試應用中的串擾、噪聲和測量可變性。

現在，Agilent 科技也高調入場(chǎng)了，它在今年4 月推出的 4080 系列參數測試平臺上引入了異步并行參數測試能力。新系統采用 Agilent 稱(chēng)之為 SPECS(半導體工藝評估核心軟件)的測試殼用以支持同步和異步并行測試。

據 Agilent 的 Hachioji 半導體測試部市場(chǎng)經(jīng)理 Alan Wadsworth 說(shuō)，4080 參數測試平臺專(zhuān)為那些使用先進(jìn)工藝的晶圓代工廠(chǎng)而設計，包括擴展至 45nm 以下的廠(chǎng)家，那些工程師們需要大量數據來(lái)應對各種問(wèn)題，如線(xiàn)寬的變化。除了系統并行測試能力以外，Wadsworth提到4080系列擁有一個(gè)比其前身4070系列強大得多的 CPU，他說(shuō)，光這個(gè)新 CPU 就能把傳統順序測試程序的工作量提升 10% ~ 20%。

但是，真正的優(yōu)勢來(lái)自于完全使用4080系列異步并行測試能力的開(kāi)發(fā)程序。Wadsworth稱(chēng)，異步并行測試時(shí)間可以比傳統順序測試方法減少50%。他補充說(shuō)，異步模式的目標是擠壓出同步并行測試方案中留出的某些無(wú)用測量時(shí)間(如圖)。

4080有三種型號：4082A完成通用參數測試;4082F面向NAND/NOR器件的閃存單元參數測試;而 4083A則帶有一個(gè)20GHz 8x10 RF陣列，一次可測量多達五個(gè)RF結構。