IC支撐業(yè)：期待上下聯(lián)動(dòng)突破

　　02專(zhuān)項的實(shí)施使我國與國外發(fā)達國家和地區在相同領(lǐng)域的技術(shù)差距縮短至1.5個(gè)技術(shù)代，為我國在國際競爭中贏(yíng)得了更多話(huà)語(yǔ)權。

　　長(cháng)期以來(lái)，我國集成電路行業(yè)從制造工藝到裝備，再到材料都嚴重依賴(lài)進(jìn)口，每年高達千億美元的進(jìn)口額，使其成為我國最大宗的進(jìn)口物資。為扭轉這一局面，國家科技重大專(zhuān)項《極大規模集成電路制造裝備及成套工藝》(以下簡(jiǎn)稱(chēng)02專(zhuān)項)應運而生。經(jīng)過(guò)這幾年的發(fā)展，在推動(dòng)半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展、特別是促進(jìn)中國半導體產(chǎn)業(yè)鏈形成過(guò)程中也發(fā)揮巨大的催化作用。

　　共同提升產(chǎn)業(yè)鏈價(jià)值

　　02專(zhuān)項采取了“大兵團”作戰的思路，從整體布局考慮全面支持上下游企業(yè)，在相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈上由100多家企業(yè)、研究單位一起參與，形成了上下齊心共同打造產(chǎn)業(yè)鏈的合作產(chǎn)業(yè)氛圍。并且國家科技02專(zhuān)項將產(chǎn)業(yè)化作為目標，明確企業(yè)成為創(chuàng )新主體，這是我國科技項目主體的突破。

　　中芯國際就是典型例子。作為集成電路制造龍頭企業(yè)，這幾年來(lái)，在技術(shù)創(chuàng )新以及產(chǎn)業(yè)化方面取得了突出的成績(jì)。中芯國際高級技術(shù)總監吳漢明博士表示，在技術(shù)方面，主要是實(shí)現了生產(chǎn)技術(shù)節點(diǎn)從90納米到45納米/40納米工藝的突破，同時(shí)成功解決了32納米/28納米技術(shù)代的關(guān)鍵技術(shù)，例如多重曝光工藝和高K金屬柵工藝技術(shù)，掌握了32納米CMOS器件的核心工藝技術(shù)模塊及相關(guān)的集成工藝技術(shù)，為32納米成套工藝研發(fā)奠定了很好的基礎。在成果產(chǎn)業(yè)化方面，中芯國際自從2009年第三季度開(kāi)始規模生產(chǎn)和銷(xiāo)售65納米/55納米產(chǎn)品，現在，該技術(shù)產(chǎn)品已占到公司總銷(xiāo)售收入的1/3。

　　在國家02專(zhuān)項的支持下，中國的設備及材料企業(yè)正在產(chǎn)業(yè)鏈中發(fā)揮著(zhù)越來(lái)越重要的作用。“通過(guò)實(shí)施國家02專(zhuān)項，國內設備業(yè)的研發(fā)能力和產(chǎn)業(yè)化能力有了很大的提升，在部分關(guān)鍵設備領(lǐng)域已經(jīng)實(shí)現突破，并打破了海外巨頭的壟斷，進(jìn)入國際市場(chǎng)。包括中微在內的多家芯片設備公司的高端產(chǎn)品已經(jīng)在海內外高端芯片生產(chǎn)線(xiàn)上運行并開(kāi)始批量生產(chǎn)40納米及更先進(jìn)工藝的芯片。”中微半導體設備(上海)有限公司董事長(cháng)兼執行長(cháng)尹志堯博士提到，“在02專(zhuān)項的推動(dòng)和支持下，國內已開(kāi)發(fā)了十多種半導體設備和材料，多數已在國內芯片生產(chǎn)線(xiàn)試運，并不同程度上取得了良好結果。”

　　仍需加快攻關(guān)

　　02專(zhuān)項的這些成果，使我國與國外發(fā)達國家和地區在相同領(lǐng)域的技術(shù)差距縮短至1.5個(gè)技術(shù)代，為我國在國際競爭中贏(yíng)得了更多話(huà)語(yǔ)權。但IC工藝技術(shù)節點(diǎn)的不斷進(jìn)步，對工藝、設備和材料的要求不斷走高，仍需業(yè)界直面差距。

　　吳漢明指出，在集成電路產(chǎn)業(yè)方面，公認的事實(shí)是“規模決定”。國內的代工企業(yè)要加大產(chǎn)業(yè)規模投資，同時(shí)，充分利用各種研發(fā)經(jīng)費和具有人才優(yōu)勢的高校和研究所，加強產(chǎn)學(xué)研合作技術(shù)研發(fā)，尤其是在向主流技術(shù)方向的追趕上，更是刻不容緩。吳漢明進(jìn)一步指出，在研發(fā)中要以工藝技術(shù)為先導，只有在工藝技術(shù)成果上，設備和材料的技術(shù)才能得到實(shí)質(zhì)性的發(fā)展。

　　而國內設備企業(yè)在02專(zhuān)項的支持下，雖已取得不錯的成績(jì)，但與國際先進(jìn)設備廠(chǎng)商相比還有一定的差距。尹志堯提到：“我國的部分設備企業(yè)在進(jìn)行產(chǎn)品開(kāi)發(fā)時(shí)，較注重設備產(chǎn)品在芯片加工中是否達到先進(jìn)的工藝指標，而對產(chǎn)品在客戶(hù)芯片生產(chǎn)線(xiàn)上運轉的可靠性、重復性和穩定性做得不夠，雖然多數情況加工個(gè)別芯片結果的精確性能夠達到客戶(hù)要求指標，但不同反應腔之間加工芯片的同一性、加工芯片結果的重復性以及設備在大生產(chǎn)線(xiàn)上的可靠性等方面，較難達到客戶(hù)要求。同時(shí)，國內設備產(chǎn)業(yè)由于起步較晚，在開(kāi)發(fā)芯片生產(chǎn)線(xiàn)上用的可靠好用的設備方面經(jīng)驗不足。此外，國內設備產(chǎn)品的毛利率普遍偏低，這也是公司持續發(fā)展必須考慮的問(wèn)題。”

　　IC工藝技術(shù)節點(diǎn)的不斷進(jìn)步，使得IC化學(xué)品顯得更為重要。安徽微電子(上海)有限公司首席執行官王淑敏也提到，新技術(shù)節點(diǎn)和新應用對IC化學(xué)品提出更高的要求，主要體現在：一方面，對IC材料的種類(lèi)需求越來(lái)越多，對于研發(fā)實(shí)力的要求也提出更高的要求，需要研發(fā)更多的材料來(lái)滿(mǎn)足技術(shù)發(fā)展的需要。另一方面，對于材料的穩定性和生產(chǎn)中技術(shù)質(zhì)量控制要求也要大大提升。

　　希望政策更加細化

　　半導體是一個(gè)技術(shù)引領(lǐng)的產(chǎn)業(yè)，未來(lái)的發(fā)展對產(chǎn)業(yè)鏈中各個(gè)企業(yè)都提出了更高的要求，因此需要整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈所有企業(yè)配合并協(xié)調發(fā)展，需要上下游企業(yè)形成聯(lián)動(dòng)機制。吳漢明表示，半導體是技術(shù)引領(lǐng)的產(chǎn)業(yè)，未來(lái)發(fā)展對產(chǎn)業(yè)中各企業(yè)提出更高的要求，因此需要整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈所有企業(yè)配合并協(xié)調發(fā)展，需要上下游企業(yè)形成聯(lián)動(dòng)機制。如果政府從中進(jìn)行協(xié)調，則在合理分配市場(chǎng)以及資金資源方面可更加理想。

　　對于今后如何進(jìn)一步推進(jìn)國內IC材料的發(fā)展，王淑敏提出以下建議：一方面，從國家扶持政策而言，由于高端IC材料門(mén)檻要求高，國內的起步晚，需要資金、稅收等支持，并出臺加快上下游產(chǎn)業(yè)合作的政策及相關(guān)平臺，以實(shí)現IC材料更好更快地發(fā)展。另一方面，產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)更緊密的相互合作和扶持、資源和平臺共享，是實(shí)現IC材料健康快速發(fā)展的重要工作。

　　而設備業(yè)與設計業(yè)的發(fā)展是相輔相成的。尹志堯提到，在國內眾多公司還不具備全球化市場(chǎng)能力情況下，需要加大力度發(fā)展國內芯片生產(chǎn)市場(chǎng)，才能保證國內裝備企業(yè)的生存和后續發(fā)展。針對國內的芯片生產(chǎn)商，希望政府能夠協(xié)調建議，在采購設備時(shí)優(yōu)先采購國產(chǎn)設備，并給予一定的鼓勵措施。

　　“考慮到半導體裝備產(chǎn)業(yè)在提升國家綜合國力上的重要地位，建議02專(zhuān)項采取重點(diǎn)突破的方式幫助國內半導體設備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。對包括刻蝕機、光刻機在內的關(guān)鍵制造設備，作為重點(diǎn)攻關(guān)突破對象，加大投入力度。在關(guān)鍵領(lǐng)域的突破成功，能夠扭轉我國半導體設備制造業(yè)的落后局面，能確保我國半導體設備產(chǎn)業(yè)持續良性發(fā)展。”尹志堯表示。

　　業(yè)界觀(guān)點(diǎn)

　　中芯國際高級技術(shù)總監吳漢明博士

　　要有與國際同業(yè)相同的競爭環(huán)境

　　半導體是一個(gè)高度國際性的產(chǎn)業(yè)，可以說(shuō)每一家半導體企業(yè)都處于國際化的競爭之中。對于國內的IC企業(yè)而言，有一個(gè)與國際同業(yè)相同的競爭環(huán)境非常重要，比如運營(yíng)成本、研發(fā)成本等不能高于國際同業(yè)，也就是說(shuō)資源成本、同樣品質(zhì)的人力成本、稅負等等多種成本因素要有優(yōu)勢。目前還需要有更多更具體的政策來(lái)支持企業(yè)發(fā)展。

　　在關(guān)注集成電路產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展中，國產(chǎn)化是方向更是理念，要大力扶持國內設計公司，用政策引導他們在國內制造芯片，同時(shí)也要引導國產(chǎn)設備和材料的采用。但市場(chǎng)是基礎，一定要有龐大的設計業(yè)和流片需求，這樣中國集成電路產(chǎn)業(yè)鏈才能持續發(fā)展。

　　安集微電子(上海)有限公司首席執行官王淑敏

　　進(jìn)一步扶持關(guān)鍵IC材料研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化

　　02專(zhuān)項的實(shí)施對我國半導體產(chǎn)業(yè)升級起到至關(guān)重要的作用。但由于我國半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展和世界領(lǐng)先的技術(shù)水平還有一定的差距，很多高端的IC技術(shù)還處在前期發(fā)展階段，單靠企業(yè)自身力量短期內很難實(shí)現飛躍式發(fā)展，需要國家持續地支持和企業(yè)自身的決心。

　　從國家層面的政策而言，關(guān)鍵是需要重點(diǎn)扶持那些國外有技術(shù)壁壘或國外壟斷而發(fā)展必不可少的IC材料的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化。在政策執行上，針對有能力、有潛力做大做強的企業(yè)進(jìn)行重點(diǎn)扶持，培養一批有代表性的企業(yè)，為中國在該領(lǐng)域贏(yíng)得一席之地。

　　中微半導體設備(上海)有限公司董事長(cháng)兼執行長(cháng)尹志堯

　　開(kāi)發(fā)出生產(chǎn)線(xiàn)上真正能使用的設備

　　半導體技術(shù)是迄今為止人類(lèi)開(kāi)發(fā)的最復雜的工藝技術(shù)。國際上正在進(jìn)入生產(chǎn)線(xiàn)的20納米芯片。這些技術(shù)工藝的進(jìn)步，越來(lái)越依賴(lài)于高端設備。

　　在這種情況下，我們要認識到，開(kāi)發(fā)半導體芯片生產(chǎn)線(xiàn)上有競爭力的、可靠好用的設備與開(kāi)發(fā)樣機有很大的區別。開(kāi)發(fā)一個(gè)可以加工芯片的樣機，只完成了生產(chǎn)設備開(kāi)發(fā)的20%。只有在設計產(chǎn)品和開(kāi)發(fā)的初期，充分了解客戶(hù)要求，遵循適合設計開(kāi)發(fā)的準則，才可能開(kāi)發(fā)出在生產(chǎn)線(xiàn)上真正能使用的設備。此外，也要考慮到，研發(fā)和生產(chǎn)是不能脫節的。