Tegal出售納米沉積技術(shù)
—— Tegal公司以大約360萬(wàn)美元售出
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芯片設備制造商Tegal日前表示，該公司已經(jīng)以大約360萬(wàn)美元售出超過(guò)30項的納米沉積(Nanolayer deposition, NLD)專(zhuān)利。
本文引用地址：http://dyxdggzs.com/article/127806.htmTegal并未透露專(zhuān)利購買(mǎi)者的細節。該公司曾在去年9月時(shí)宣布將尋求出售專(zhuān)利。2010年3月，該公司也曾出售其原有的薄膜蝕刻和物理氣相沉積產(chǎn)品線(xiàn)給OEM Group Inc.;另外，去年稍早該公司也將深層反應離子蝕刻設備出售給SPTS。
Tegal表示，該公司仍希望能以剩下的NLD技術(shù)售價(jià)能高于400萬(wàn)美元。目前該公司仍就其專(zhuān)利組合中的Lot 4部份進(jìn)行討論，這部份主要是針對銅阻擋層和low-k電介質(zhì)技術(shù)。
“IC設備制造商對Lot 4比較有興趣，而設備制造商則大多對Lot 1~3有興趣，”Tegal技術(shù)長(cháng)Robert Ditizio在一份聲明中表示。
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