“上海先進(jìn)”國內首條MEMS工藝平臺實(shí)現量產(chǎn)

　　“上海先進(jìn)”(ASMC/上海先進(jìn)半導體制造股份有限公司)在MEMS(微機電系統)代工領(lǐng)域取得重大進(jìn)展，在打造國內MEMS工藝生產(chǎn)平臺的同時(shí)首條MEMS工藝生產(chǎn)線(xiàn)已進(jìn)入量產(chǎn)。

　　“上海先進(jìn)”MEMS 生產(chǎn)線(xiàn)可以代工的器件包括：三軸陀螺儀、加速度計、生物MEMS芯片、光學(xué)MEMS、RF MEMS、微流體開(kāi)關(guān)、壓力傳感器等，可被廣泛應用于消費電子，醫療電子以及汽車(chē)電子等領(lǐng)域。

　　目前，此MEMS生產(chǎn)線(xiàn)擁有世界最先進(jìn)的深槽刻蝕、鍵合、硅片邊緣修整等設備，設計月產(chǎn)量可達3000片;具有較大的適用范圍，包括MEMS前道(不含可動(dòng)離子沾污)和后道(包含可動(dòng)離子沾污的玻璃工藝)工藝。前道工藝包括光刻、干法刻蝕、濕法刻蝕、擴散、離子注入以及薄膜等;后道工藝包括光刻、干法刻蝕、濕法刻蝕、擴散、薄膜、硅片鍵合、硅片減薄、邊緣切割以及劃片等。此外“上海先進(jìn)”還擁有全部的工藝在線(xiàn)檢測設備，具有在線(xiàn)缺陷檢測能力以及用于器件測試的直、交流測試能力。

　　“上海先進(jìn)”總裁謝志峰博士表示ASMC會(huì )繼續擴充MEMS器件的制造產(chǎn)能和工藝研發(fā)，以進(jìn)一步增強服務(wù)MEMS器件客戶(hù)的能力。