德州儀器300-mm RFAB晶圓廠(chǎng)內部曝光
作為少數被邀的幾家媒體代表之一,最近收到來(lái)自德州儀器公司的邀請函,有幸參加了RFAB—德州儀器旗下新開(kāi)的在半導體工業(yè)首家300-mm模擬晶圓廠(chǎng),并為全球首家通過(guò)LEED(LowEnergyElectronDiffraction,是美國民間綠色建筑認證獎項)認證的晶圓廠(chǎng)。
本文引用地址:http://dyxdggzs.com/article/121212.htmRFAB最初在2004年正式破土動(dòng)工,并于2007年竣工。但是,該晶圓廠(chǎng)足足延遲閑置了兩年多,直至德州儀器遇到性?xún)r(jià)比非常高的收購—因為閃存芯片廠(chǎng)商QimondaAG宣布破產(chǎn),整條300-mm設備產(chǎn)品線(xiàn)以非常低的折扣價(jià)率,只有1.725億美元,德州儀器便順利收購該產(chǎn)品線(xiàn)。
據PaulJamesFego,德州儀器技術(shù)與制造全球副總裁表示,如果沒(méi)有Qimonda設備收購案的話(huà),RFAB到現在可能就只有一條200-mm 產(chǎn)品線(xiàn)模擬晶圓廠(chǎng)。“我們擁有硬件設施建設,我們便擁有設備儀器的機會(huì ),”他說(shuō),“我們當時(shí)便已意識到,300-mm將會(huì )是未來(lái)的主宰。”
在2009年9月幾周內,德州儀器通告300-mm模擬產(chǎn)品晶圓廠(chǎng)將正常營(yíng)業(yè),當時(shí),Qimonda的設備已經(jīng)被運到德州的Richardson市,距德州儀器總部和Dallas晶圓廠(chǎng)集中地也就只有幾英里。TomWeichel,RFAB晶圓廠(chǎng)經(jīng)理。(Weichel說(shuō),在RFAB辦公室的內部,甚至連家具或辦公設施都是來(lái)自于Qimonda)。
在上一年,RFAB已經(jīng)實(shí)現全面生產(chǎn)。晶圓廠(chǎng)的所有設施,包括占地25萬(wàn)平方英尺的凈化室,目前產(chǎn)能在350片晶圓每天,將在2011年底實(shí)現600到700片日均產(chǎn)能,據德州儀器發(fā)言人宣稱(chēng)。
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