Metryx和Intel合作開(kāi)發(fā)20納米節點(diǎn)半導體工藝

　　英國質(zhì)量計量設備廠(chǎng)商Metryx日前正式加入一項由歐洲廠(chǎng)商主導的半導體設備創(chuàng )新發(fā)展評估項目，在此合作框架下，Metryx將和Intel，IMEC等展開(kāi)深入合作，為20納米節點(diǎn)半導體工藝開(kāi)發(fā)提供高精度質(zhì)量計量技術(shù)和設備。高精度質(zhì)量計量技術(shù)用于監控淀積工藝和其它引起質(zhì)量細微變化的工藝步驟，也可以用來(lái)監控由于高參雜注入導致光刻膠剝落而引起的硅損耗、襯底損壞等問(wèn)題。