Crossing Automation公司推出增強版Spartan EFEM

　　為大規模半導體設備制造商提供高效節能的前端與后端自動(dòng)裝置解決方案及工程服務(wù)的領(lǐng)先供應商Crossing Automation公司 (www.crossinginc.com)今天宣布，已經(jīng)提高公司的SpartanTM設備前端模塊(EFEM)的性能，將其每小時(shí)的加工能力提高至450張晶圓。改進(jìn)設計的目的是滿(mǎn)足高通量半導體制造工藝如剝離/去膠、清洗和離子注入的需要。由于擁有專(zhuān)有的晶圓機常壓機器人，改進(jìn)后的Spartan EFEM可在不到2.5秒的時(shí)間內以最快的速度進(jìn)行晶圓切換，實(shí)現100%的工藝設備利用率。

　　“使設備生產(chǎn)能力最大化是設備供應商的核心競爭優(yōu)勢，同時(shí)也為IC制造商們降低設備的擁有成本，”Crossing Automation的產(chǎn)品營(yíng)銷(xiāo)副總裁May Su表示，“對于那些擁有每小時(shí)加工數百片晶圓的生產(chǎn)能力、但卻因現有的常壓機器人技術(shù)而無(wú)法開(kāi)足產(chǎn)能的設備來(lái)說(shuō)尤其重要。通過(guò)升級Spartan已經(jīng)生產(chǎn)檢驗的計算晶圓運動(dòng)路徑的軟件算法，我們現在能夠讓所有能通過(guò)商業(yè)手段購買(mǎi)到的EFEM發(fā)揮出最大產(chǎn)能，同時(shí)還能維持Spartan現有的可靠性和清潔度性能。”

　　增強版Spartan EFEM已通過(guò)某領(lǐng)先的剝離設備供應商的認證，并表明在現有的EFEM技術(shù)的技術(shù)基礎上將加工能力提高了20%。此次實(shí)際生產(chǎn)驗證Spartan平臺的安裝基數超過(guò)1000件，上線(xiàn)時(shí)間達99%。