成功供貨臺積電！泓滸半導體談晶圓傳輸賽道的國產(chǎn)替代趨勢

• 談選擇：工程師創(chuàng )業(yè)，聚焦國產(chǎn)化半導體設備賽道

• 談市場(chǎng)：撬動(dòng)壟斷，在百億級設備市場(chǎng)中找尋定位

• 談優(yōu)勢：會(huì )修也會(huì )造，深耕半導體核心零部件研發(fā)

談選擇：工程師創(chuàng )業(yè)，

聚焦國產(chǎn)化半導體設備賽道

幻實(shí)（主播）：歡迎大家關(guān)注芯片揭秘，今天我和老朋友、來(lái)自泓滸半導體的林堅總裁共同和大家做交流。先請林總給大家打個(gè)招呼，介紹一下自己。

林堅（嘉賓）：大家好，我是來(lái)自泓滸半導體的林堅。很高興能夠和（艾新德魯夫）曹院長(cháng)做客芯片揭秘，我會(huì )把我的一些創(chuàng )業(yè)經(jīng)驗和這幾年我們在半導體方面發(fā)展的故事分享給大家，謝謝！

幻實(shí)（主播）：林總很謙虛，我知道您最開(kāi)始是在中芯國際工作，后來(lái)出來(lái)創(chuàng )業(yè)，在半導體這一行摸爬滾打很多年。為什么決定成立泓滸半導體這樣的公司？你們聚焦在什么領(lǐng)域？

林堅（嘉賓）：泓滸是一家致力于國產(chǎn)化半導體傳輸設備及核心零部件研發(fā)、制造及半導體耗材的企業(yè)。原來(lái)我在中芯國際工作時(shí)，設備受到了國外很多限制，有一些比較強勢的供應商不簽合同，不僅在業(yè)務(wù)上施加不少壓力，而且可能連最基本的技術(shù)探討都不愿意。那時(shí)我們非常急，因為一條24小時(shí)運作的產(chǎn)線(xiàn)，一個(gè)重要lot（節點(diǎn)）被擋住，壓力會(huì )非常大，設備修不起來(lái)，那這個(gè)機臺我就沒(méi)顧好，進(jìn)而績(jì)效就不好。所以我就在想如果那時(shí)能有一些國產(chǎn)的供應商或者國產(chǎn)工程師支持我解決問(wèn)題，對我來(lái)說(shuō)會(huì )是非常大的幫助。

幻實(shí)（主播）：這里我有一個(gè)疑問(wèn)，像中芯國際這種國內頭部的晶圓代工廠(chǎng)，作為甲方，為什么乙方還敢用如此傲慢的態(tài)度來(lái)對它？這一點(diǎn)圈外人幾乎很難相信，您能否展開(kāi)說(shuō)一下他們?yōu)槭裁磿?huì )如此強勢？

林堅（嘉賓）：中芯國際在國內是很厲害，但KLA/KT （專(zhuān)業(yè)美資半導體（芯片）設備供貨商，全稱(chēng)KLA-Tencor )這種世界500強的大公司，中芯國際在它們的營(yíng)銷(xiāo)策略里面也只能被作為常規的客戶(hù)去對待。一旦中芯國際的售后收費模式有問(wèn)題時(shí)，他們就會(huì )鎖住服務(wù)。

而KT這種公司本身就是靠服務(wù)來(lái)營(yíng)收的，所以它會(huì )把技術(shù)卡得很死。這是理所當然的，公司都會(huì )把核心的技術(shù)留在自己手上，沒(méi)有什么可以質(zhì)疑的。另外，他們要面對的客戶(hù)很多，也許從私交關(guān)系來(lái)說(shuō)想給我們做，但從公司的政策來(lái)講，沒(méi)錢(qián)就沒(méi)法調動(dòng)總部的資源，沒(méi)法派工程師過(guò)去，這都是現實(shí)的問(wèn)題，大公司的流程就是這樣。只能說(shuō)我們技不如人，還沒(méi)有培養好人才掌握這些技術(shù)。

工程師維護的都是主機臺的腔體，定期做保養。傳輸在半導體廠(chǎng)里實(shí)際上是非常小的模塊，只不過(guò)宕機是個(gè)大麻煩，好在基本上五、六年都不會(huì )down一次。

幻實(shí)（主播）：也就是說(shuō)傳輸設備一旦穩定下來(lái)就能用很長(cháng)時(shí)間？

林堅（嘉賓）：對，基本上五、六年不會(huì )宕機，但出了問(wèn)題就很麻煩。因為我們以前不知道Robot（機器人）是怎么傳的，一旦出了問(wèn)題，就更不知道怎么去解決了。

工程師工作實(shí)景 （泓滸半導體供圖）

幻實(shí)（主播）：大家都沒(méi)這個(gè)經(jīng)驗。

林堅（嘉賓）：即使我們現在教會(huì )了工程師，但五、六年才會(huì )用到一次，工程師那時(shí)也生疏了。因此我從中芯國際出來(lái)后在這個(gè)細分賽道上潛心鉆研，每天都去研究、去拆它，到后來(lái)碰到什么問(wèn)題，只要線(xiàn)下跟我一講，我大概就能知道病根，可以快速解決，不繞圈子，不走彎路，基本上三個(gè)小時(shí)就能搞定。換做沒(méi)有經(jīng)驗的，可能要不停更換零件才能定位問(wèn)題，那時(shí)就已經(jīng)花了三五天的時(shí)間。對客戶(hù)來(lái)說(shuō)是產(chǎn)能的損失，效率十分低下。

我為什么出來(lái)創(chuàng )業(yè)？其實(shí)是希望能夠借助我在半導體行業(yè)里積累的經(jīng)驗和沉淀，再調撥一些資源，幫助fab廠(chǎng)的工程師來(lái)解決平時(shí)基本遇不到、但一遇到就很難的問(wèn)題，讓自己能夠聚焦在某一個(gè)賽道把它做得很精，這是我當時(shí)選擇創(chuàng )業(yè)最基本的初心。

幻實(shí)（主播）：讓客戶(hù)所有的設備都能良性運轉，初心特別好，但我也覺(jué)得肯定不容易。發(fā)展到現在感覺(jué)這條路上有沒(méi)有非?？部赖牡胤?？

林堅（嘉賓）：其實(shí)還好。以前在中芯國際這種半導體廠(chǎng)里面，大家都是24小時(shí)在線(xiàn)沒(méi)日沒(méi)夜的做，隨叫隨到。那時(shí)我們住在中芯花園，基本上十幾分鐘就能到公司。因為一條產(chǎn)線(xiàn)太貴了，哪怕停半小時(shí)，帶來(lái)的損失都是用幾十萬(wàn)、幾百萬(wàn)來(lái)計算的，所以不能有時(shí)間上的浪費。這就磨練了我們工程師吃苦耐勞的品質(zhì)。

創(chuàng )業(yè)這件事對我來(lái)講本身是有挑戰的，很多事情都要自己去思考、去解決。這個(gè)過(guò)程會(huì )碰到資金的問(wèn)題、初始人員招募的問(wèn)題，所以早期我就自己拿著(zhù)螺絲刀到fab廠(chǎng)里面去修機器，半夜十二點(diǎn)進(jìn)去，有時(shí)干到凌晨三、四點(diǎn)都是常態(tài)。
現在我們已經(jīng)有了一個(gè)非常好的團隊可以勝任這些事情，能快速解決問(wèn)題。資金方面最困難的時(shí)候，我和我們董事長(cháng)把房子抵押了，我把蘇州的房子抵押貸款了200萬(wàn)，他把昆山的別墅抵押貸款了300萬(wàn)，再加上200萬(wàn)的信用額度貸款，湊夠了700萬(wàn)。

幻實(shí)（主播）：當時(shí)慌不慌？家里支持嗎？

林堅（嘉賓）：慌，但家里是支持的，實(shí)際上創(chuàng )業(yè)這件事就是要靠家里支持，否則不會(huì )走遠。原本維修其實(shí)不需要投入很大的資金，但是一旦做設備了，就要自己研發(fā)，只要研發(fā)就要做樣機，還得和客戶(hù)去測試demo產(chǎn)品，這也意味著(zhù)早期可能是拿不到錢(qián)的?？珊芏嗪诵牟考嫉矛F款現貨，資金的用量就會(huì )比較大，所以早期真的很辛苦。好在后面我們自己慢慢地做出來(lái)，受到一些資本的青睞，給到了我們資金上的支持，讓我們在這個(gè)賽道上快速地占領(lǐng)市場(chǎng)。

談市場(chǎng)：撬動(dòng)壟斷，

在百億級設備市場(chǎng)中找尋定位

幻實(shí)（主播）：現在傳送的市場(chǎng)大概有多大？常規的傳送以及咱們現在定位的這種真空傳送，它的市場(chǎng)空間容量怎么樣？

林堅（嘉賓）：傳送是一個(gè)通用性的東西，我們也做過(guò)測算，這是一個(gè)百億級的市場(chǎng)。目前12吋的所有主設備都需要傳送的模塊，我們稱(chēng)之為EFEM模塊（主設備前置模塊）。12吋的盒子大，不會(huì )像原先8吋的能用人工放上去。12吋的技術(shù)節點(diǎn)也高，微環(huán)境要控制的非常好，都是在FOUP(晶圓傳送盒）里面去做承載的，所以必須要有這樣一個(gè)傳送的模塊。目前這個(gè)模塊基本上還集中在日本和美國這些大的設備商手中。

此外，傳送還應用在晶圓的傳片機中。本身fab里12吋在擴建產(chǎn)能，現在大家都在各自建廠(chǎng)，美國的技術(shù)封鎖以后，每個(gè)國家都意識到了芯片這個(gè)行業(yè)必須要回歸到自己來(lái)做。所以這一塊擴產(chǎn)的腳步非?？?，特別是中國大陸的建廠(chǎng)，需求就應運而生了。我們測算了一下這部分的市場(chǎng)，大概在四五百億的規模。以目前來(lái)看，國產(chǎn)設備可能只占10%-15%的份額，國家要求在2035年要實(shí)現70%的國產(chǎn)化，所以這里的空間實(shí)際上是巨大的。我們也慶幸所在的賽道未來(lái)有這么大的市場(chǎng)來(lái)展現給我們。原來(lái)的市場(chǎng)都在國外，我們是沒(méi)有機會(huì )的，現在這一波讓我們有了機會(huì )，那就要盡快地搶占這個(gè)市場(chǎng)。

幻實(shí)（主播）：現在泓滸半導體有幾款在售的自研產(chǎn)品？

林堅（嘉賓）：2019年我們在合肥新匯成推出了第一款Sorter（晶圓傳片機）。很巧，前不久在新匯成的過(guò)會(huì )答謝晚宴上，我說(shuō)新匯成對整個(gè)國產(chǎn)設備的扶持力度非常大，愿意嘗試使用國產(chǎn)設備，所以給了我們這個(gè)機會(huì )。從2019年到現在已經(jīng)重復購買(mǎi)了7臺，持續的購買(mǎi)是對我們極大的認可。像大氣傳送的Sorter還有EFEM目前已經(jīng)是一個(gè)成熟的產(chǎn)品了。

服務(wù)方面我們也很成熟，后續泓滸會(huì )出品更多的機型，覆蓋面會(huì )更廣。今年我們重點(diǎn)做了VTM（主設備真空傳送模塊）的開(kāi)發(fā)，從傳送賽道來(lái)講，真空傳送也是一個(gè)非常大的市場(chǎng)。所有的設備都要大氣傳送，但是例如蝕刻、Thinfilm（薄膜工藝）等都是真空傳送，是在真空的腔體里來(lái)做制程的。所以還要額外再做一個(gè)真空的傳送模塊，目前這個(gè)模塊都還是美國的BROOKS公司在壟斷。

VTM與SMIF 設備產(chǎn)品圖 （圖源：泓滸半導體提供）

幻實(shí)（主播）：技術(shù)含量應該很高。

林堅（嘉賓）：是的，它的技術(shù)含量是比較高的，要在真空環(huán)境中讓晶圓在沒(méi)有外力的情況下自摩擦，操作時(shí)手臂不能抖，還要考慮控制好微環(huán)境。

幻實(shí)（主播）：微環(huán)境是wafer（晶圓）在里面飄著(zhù)的感覺(jué)嗎？

林堅（嘉賓）：對，不能有其他外力。

幻實(shí)（主播）：也不能污染？

林堅（嘉賓）：是的，第一是要絕對的真空，不能有別的東西進(jìn)去，因為所謂的真空壓力沒(méi)有它低；第二，本來(lái)就是要真空的，再通一路氣肯定是不允許的，因此全靠自摩擦。但凡Robot（機器人）有一點(diǎn)抖動(dòng)，基本上就會(huì )發(fā)生劃片，一劃片傳進(jìn)去就不準了，wafer（晶圓）可能就碎掉了，這會(huì )非常嚴重。所以在真空傳送里面要挑戰的東西比較多。

還有一些問(wèn)題是真空和大氣的硬件互鎖沒(méi)做好，不小心誤點(diǎn)就能把門(mén)打開(kāi)，這樣的話(huà)大氣會(huì )灌進(jìn)去把晶圓震碎。這些都是非常難的，需要很有經(jīng)驗的人預先知道會(huì )發(fā)生這種事故，以便知道在哪些地方要做特別多的硬件互鎖。這些是經(jīng)驗的積累，而不是功能的實(shí)現。功能實(shí)現不難，開(kāi)個(gè)門(mén)就行，大家都知道。但要在未知錯誤發(fā)生前先預想到造成機臺和晶圓損傷的可能性，沒(méi)有一定經(jīng)驗的人在這一塊上是有欠缺的，不是所有人都能快速去做成。很多坑國外要踩10年，你必然也要踩10年；但如果你做過(guò)，知道人家踩過(guò)哪些坑，也許你就能規避，可能只踩一年的坑就行了。

幻實(shí)（主播）：所以理解用戶(hù)需求也是一個(gè)積累的過(guò)程。

林堅（嘉賓）：泓滸的團隊就是從中芯國際出來(lái)的，來(lái)自于客戶(hù)，我們以前就是甲方，所以很清楚一個(gè)設備要做成什么樣子。例如它的安全性和尺寸大小，特別是速度要快，要穩定，要免保養，拆起來(lái)要方便和簡(jiǎn)單，互鎖要做好。以前出了bug我讓設備商和供應商去解，現在我們自己就知道一臺設備應該在哪些地方著(zhù)重去做，只有這樣做出來(lái)的設備才是甲方真正需要的設備。

如果只是模仿一臺設備，看人家是怎么傳的，僅僅實(shí)現傳送功能，很多核心根本弄不清楚，這個(gè)時(shí)候必然會(huì )有一些問(wèn)題產(chǎn)生。泓滸的傳輸是比較有經(jīng)驗的、互鎖做得好的。其實(shí)半導體這一行有時(shí)候并沒(méi)有太多的試錯機會(huì )，除非某一個(gè)賽道沒(méi)人做，逼著(zhù)讓你來(lái)做，你才會(huì )不停地研究和嘗試。但凡有人做過(guò)的、有經(jīng)驗的，其他人再想切入這個(gè)賽道，一旦發(fā)生一個(gè)案子，對方就會(huì )覺(jué)得你們考慮的東西還不夠，就會(huì )再去找考慮得更周全的其他企業(yè)來(lái)做。

進(jìn)入這一行并不容易，以前我們這個(gè)行業(yè)是非常封閉的，一直追求的是所謂Install base（這里指已占有的市場(chǎng)），非常保守。假設今天你想把面前這個(gè)瓶子移到另一個(gè)位置，覺(jué)得似乎很簡(jiǎn)單，應該沒(méi)問(wèn)題，但馬上就會(huì )被老板質(zhì)疑：什么是應該？你有沒(méi)有擺過(guò)去試試看？風(fēng)道會(huì )不會(huì )變？風(fēng)壓會(huì )不會(huì )調整？微粒會(huì )不會(huì )有一些位移？這些東西都是很關(guān)鍵的。在不知道的情況下，要用DOE（Design of Experiment）的實(shí)驗，用嚴格的數據證明到底影不影響，而不能說(shuō)將材料換一換就應該沒(méi)問(wèn)題，因為這直接關(guān)系到良率，必須非常嚴謹。

現在我們公司新進(jìn)員工的第一課，我就會(huì )告訴他們要用敬畏之心來(lái)面對現在從事的半導體行業(yè)，不懂就是不懂，不要裝懂，也不要知其然不知其所以然，這也容易犯錯。為什么呢？有時(shí)候我們是不知道會(huì )發(fā)生一些變化的，很容易忽略掉而按照原來(lái)的方法做，這可能也是真正犯錯造成很大影響的一個(gè)源頭了。因此我會(huì )要求新員工一定要有敬畏心來(lái)做半導體事業(yè)，容不了一點(diǎn)點(diǎn)疏忽。

幻實(shí)（主播）：對人才的要求也是蠻高的，不是說(shuō)撿到籃子里的都是菜，需要你們親自來(lái)帶教，把它傳承下去。

林堅（嘉賓）：對，現在半導體人才缺口很大，很希望有多年半導體工作經(jīng)歷的創(chuàng )業(yè)者和他們的平臺能夠慢慢去承擔培訓的工作。例如我們會(huì )搭起來(lái)一些傳輸的模塊去跟客戶(hù)做互動(dòng)，因為一臺幾百萬(wàn)的真機器是要一直跑貨的，不可能停下來(lái)10個(gè)小時(shí)讓人學(xué)，那樣成本太高了。但搭好的測試平臺閑置著(zhù)不會(huì )損失什么，派過(guò)來(lái)的工程師我們可以教，最多付我們一點(diǎn)教學(xué)的費用。這個(gè)費用不算貴，相比一臺停下來(lái)的量產(chǎn)設備，假設一個(gè)小時(shí)能賺10萬(wàn)塊，停十個(gè)小時(shí)100萬(wàn)就沒(méi)有了，但付我們一兩萬(wàn)，我們就能全程教學(xué)。這種培訓并不在現場(chǎng)，否則萬(wàn)一撞壞了損失更大?，F在一般這種互動(dòng)我們跟客戶(hù)都是很愿意做的。

專(zhuān)訪(fǎng)現場(chǎng)，林總介紹人才培訓方法

幻實(shí)（主播）：真的很稀缺，有這樣的一個(gè)開(kāi)放的心態(tài)跟客戶(hù)去做，替客戶(hù)去想，我覺(jué)得之前還沒(méi)怎么聽(tīng)到過(guò)。所以關(guān)注我們節目的朋友如果你們遇到這類(lèi)需要培訓的任務(wù)，也不妨試試和泓滸這邊做一個(gè)交流。

林堅（嘉賓）：我們一定會(huì )全身心的去做這件事情，因為我們覺(jué)得傳送本身就像芯片揭秘一樣——芯片這個(gè)行業(yè)確實(shí)讓很多人覺(jué)得難以介入，但是揭秘多了，你就能發(fā)現也不外乎是那些東西，大家要把稱(chēng)之為護城河的高科技行業(yè)里的東西慢慢撥開(kāi)，這樣能夠讓更多的人真正去了解行業(yè)需求，讓更多的人參與進(jìn)來(lái)。

當下國家確實(shí)在這個(gè)行業(yè)中碰到了困難，需要做過(guò)的、沒(méi)做過(guò)的都跨入到這一行里來(lái)做點(diǎn)研究，甚至有一些資本的投入來(lái)加速賽道的成熟。從這個(gè)角度來(lái)說(shuō)泓滸責無(wú)旁貸，我們愿意在這一塊去分享，我一直認為技術(shù)是越討論越強大的，而越保守技術(shù)越不能很快成長(cháng)。

兩個(gè)高手彼此過(guò)招，你愿意把招數使出來(lái)，那么大家就都可以成長(cháng)，下次就能知道怎么去避免這些錯誤，知道不同的解法，最終兩個(gè)人都同時(shí)成長(cháng)。這種成長(cháng)對中國半導體來(lái)說(shuō)就是整體的成長(cháng)，從而慢慢追平或超越國際水平。但現在大家還都是藏著(zhù)掖著(zhù)，水平不夠。重復投資和建設有什么意思？都在各自領(lǐng)域里好好去做，做透賽道，賽道起來(lái)了，在里面的公司才可以一起進(jìn)步。很多技術(shù)靠防是防不住的，只能憑借自身往前發(fā)展，讓人家去追隨，這樣才算厲害。如果一直想藏著(zhù)自己的技術(shù)，早晚人家也能學(xué)會(huì )，也會(huì )被替代，因為這不是核心競爭力，只不過(guò)你比人家做的早一點(diǎn)而已。

談優(yōu)勢：會(huì )修也會(huì )造，

深耕半導體核心零部件研發(fā)

幻實(shí)（主播）：半導體里有“頭部通吃”這個(gè)說(shuō)法，設備這個(gè)領(lǐng)域里也是“頭部通吃”嗎？你們是從哪一年開(kāi)始準備的？現在進(jìn)展怎么樣？

林堅（嘉賓）：設備基本上也是“頭部通吃”，比如國家現在投資的這幾個(gè)賽道，一旦有人第一個(gè)做出來(lái)了，第二名、第三名再去做就有點(diǎn)困難，因為資源都集中在頭部，你需要先把頭部一家一家地沖擊和攻克掉。做傳輸也是一樣，在國家比較缺國產(chǎn)設備的契機之下，我們去抓住這個(gè)機會(huì )，基于原本對國外設備核心點(diǎn)的了解來(lái)做一些集成、維護和解決方案，為賽道賦能，同時(shí)也可以在這個(gè)過(guò)程中享受半導體快速成長(cháng)的紅利。

我們從2011年就出來(lái)創(chuàng )業(yè)，一直在半導體行業(yè)做。原來(lái)從事貿易賺點(diǎn)錢(qián)，后來(lái)做工程、去修東西，這條路走得還是比較踏實(shí)。目前已經(jīng)連續三年營(yíng)收達到三倍的增長(cháng)，去年是4,800萬(wàn)，今年年底我們做到1.5個(gè)億，這個(gè)成績(jì)在任何行業(yè)都是很難的，只有在半導體里才能實(shí)現。

去年有一個(gè)很大的突破，我們在去年8月成功交付給臺灣兩臺Sorter（晶圓傳送機）產(chǎn)品，貨已經(jīng)到了臺積電。能進(jìn)入到臺積電供應鏈的國產(chǎn)設備商是少有的，在傳輸賽道泓滸肯定是第一家，從這一點(diǎn)來(lái)講泓滸的產(chǎn)品是被市場(chǎng)充分認可的，也有機會(huì )在后續能夠做更多的突破。

幻實(shí)（主播）：算不算你實(shí)現自己的一個(gè)人生小目標了？得到了一個(gè)行業(yè)內頭部客戶(hù)的認可。

林堅（嘉賓）：對泓滸而言算是一個(gè)節點(diǎn)，對我們有非常大的鼓勵，所以也很感謝團隊。原來(lái)臺積電的項目實(shí)際上是研發(fā)一個(gè)定制款，我們從定制開(kāi)始溝通，到最后給了我們30天的時(shí)間，然后我和團隊沒(méi)日沒(méi)夜的48小時(shí)輪軸轉，最后用了28天生產(chǎn)出來(lái)。當時(shí)是在機場(chǎng)等著(zhù)我們的，所以延誤一分鐘都不行。最終提前兩天給到了臺積電，他們也非常認同我們在這件事情上的配合度跟專(zhuān)業(yè)度。我覺(jué)得國內其實(shí)不乏這種能夠做出一些好的產(chǎn)品、好的服務(wù)的公司，我相信泓滸只是國產(chǎn)設備商里面一個(gè)典型。很多公司也有這樣的能力和魄力去做這件事情，我們是可以拼了命去做國產(chǎn)化設備的。

泓滸半導體的國產(chǎn)化設備

幻實(shí)（主播）：泓滸的優(yōu)勢集中在哪兒？下一步的規劃是什么？

林堅（嘉賓）：我們的優(yōu)勢在于可以讓半導體廠(chǎng)里努力造晶圓的人把他們的精力聚焦到一些重點(diǎn)的process（制程）腔體上，而這些細分的、平時(shí)不怎么能接觸到的難題，我們來(lái)幫他解決，不再需要看別人的臉色，也不用再擔心找不到探討問(wèn)題的人。

一般來(lái)說(shuō)，只要在傳輸設備上有宕機問(wèn)題找到我們，我們都可以及時(shí)地來(lái)做一些分析探討，基本80%到90%的問(wèn)題能快速鎖定并解決。況且，國產(chǎn)廠(chǎng)商一定會(huì )比海外大公司的報價(jià)低很多，所以這方面對大家來(lái)說(shuō)都是雙贏(yíng)的局面。對客戶(hù)來(lái)講，產(chǎn)能很快就能釋放出來(lái)，此外成本又很低，相比KT或者其他大公司的售價(jià)，我們肯定要低很多，所以對我們來(lái)說(shuō)這也是個(gè)非常好的事業(yè)?？傮w來(lái)看，我們維修這些設備的量還是很可觀(guān)的，一個(gè)fab可能down的不多，但是全國甚至未來(lái)可能要走向全球的晶圓廠(chǎng)，這個(gè)體量就很可觀(guān)了。

不僅如此，維修技術(shù)目前來(lái)看是毛利不錯的一個(gè)項目，對泓滸目前做的傳輸細分賽道還是很有幫助的。原本我們單純?yōu)榱舜婊钕聛?lái)，學(xué)點(diǎn)技術(shù)，做點(diǎn)生意賺一點(diǎn)錢(qián)，現在慢慢從維修切入到設備的整個(gè)集成。例如目前我們就面向fab廠(chǎng)推出了Sorter（晶圓傳片機），面向主設備商推出了EFEM（主設備前置模塊）。未來(lái)泓滸的產(chǎn)品和服務(wù)會(huì )貫穿整個(gè)傳輸賽道里，從設備的集成到核心部件的生產(chǎn)、研發(fā)、銷(xiāo)售及后續的售后，不僅是我們自己產(chǎn)品的售后，這個(gè)產(chǎn)品我們已經(jīng)很穩定，還會(huì )做更多國外設備傳送機器人的售后，給客戶(hù)提供服務(wù)。

今年我們完成融資后，會(huì )把一些融資的錢(qián)投入到核心的零部件研發(fā)中。我們希望資本跟進(jìn)來(lái)以后能支持后續在核心部件研發(fā)上面持續地往下深挖。事實(shí)上雖然Sorter我們是國產(chǎn)化，但核心部件Robot還是用日本的。接下來(lái)我們要做核心部件的國產(chǎn)化，今年下半年已經(jīng)有SMIF 8吋的產(chǎn)品，有了自己的OCR（晶圓讀碼機）和Pre-aligner（中心定位校準器），Robot（機器人）都會(huì )國產(chǎn)化。

我們發(fā)現目前自己做Robot里面的核心部件，像減速器也好，軸承也好，不敢隨便替換成國內的供應商來(lái)做。目前修的時(shí)候會(huì )碰到很多一線(xiàn)和二線(xiàn)品牌的Robot，拆完才發(fā)現里面的減速器大部分是哈默納科（Harmonic），皮帶大部分是優(yōu)霓塔(UNITTA) 的，為什么沒(méi)有選其他家的，可能就是因為他們家能做的最好。

從保守的角度來(lái)說(shuō)，現在這些部件我還是用國外的。也就是說(shuō)即使Robot國產(chǎn)了，核心部件還是國外的，所以下一步還是要繼續向下深挖。什么時(shí)候國內的減速機可以對標哈默納科（Harmonic），軸承可以對標日本IKO、THK公司這些國外的品牌，這個(gè)時(shí)候才真的是能夠做到國產(chǎn)化了。

幻實(shí)（主播）：這是基礎工業(yè)整體的提升，是主機廠(chǎng)在提升。

林堅（嘉賓）：所以我覺(jué)得這條路還是蠻漫長(cháng)的。現在大家做出來(lái)的一些品牌，國產(chǎn)的設備里很多備件是國外的，就算能夠做出備件以后，備件里的核心配件也還是國外的。其實(shí)我嘗試過(guò)國內的一些軸承廠(chǎng)商的產(chǎn)品，用了半年或一年磨損就很厲害。后來(lái)去深度研究了國外的軸承，里面鋼的材料他們的退火工藝就做得非常好。同樣牌號的鋼，可能中國牌號要比日本的下一級牌號還不如，事實(shí)上無(wú)論是質(zhì)量還是耐用性各方面都沒(méi)有他們下一個(gè)等級的好?，F在很多時(shí)候我們在國內選材時(shí)，都要求購買(mǎi)比我們原來(lái)測出來(lái)的鋼更高一級的，這樣才能用。工業(yè)里面其實(shí)最終還是鎖在材料這一環(huán)上。

日本在這方面做了很多年的研究，所以他們對材料里很多核心技術(shù)最難解、看不到的東西，例如配方、退火工藝、在哪個(gè)溫度下鍛造都很清楚。這是很關(guān)鍵的，能保證最后出來(lái)的材料耐磨耐用。

作為我們泓滸來(lái)說(shuō)，接下來(lái)在賽道里我們至少知道這些東西的點(diǎn)在哪里，無(wú)論是找合作伙伴還是自己用實(shí)力繼續往下深究，最終的核心都是要把這些材料給破解掉。

幻實(shí)（主播）：對大家來(lái)說(shuō)，中國要做國產(chǎn)化的東西真的是任重道遠。我覺(jué)得像泓滸這樣的公司越來(lái)越多之后，國產(chǎn)的底層材料商才會(huì )越來(lái)越有機會(huì )，否則他們永遠沒(méi)有市場(chǎng)，有你們在他們才有市場(chǎng)，才能活下去。

林堅（嘉賓）：泓滸的成長(cháng)，就是因為fab廠(chǎng)給了我們機會(huì )。其實(shí)很多材料商也在這個(gè)行業(yè)一直做研究，知道半導體的訴求在哪里。我們作為真正用這些材料的，如果在這一塊能提供一些對標的產(chǎn)品給他，告訴他們一些技術(shù)指標的要求，讓他們朝著(zhù)這個(gè)方向去努力，我相信以中國人的勤勞和智慧，未來(lái)雖不能太自信，但也不必太悲觀(guān)。其實(shí)只要中國能真的把一些產(chǎn)品的性能指標提出來(lái)，方向提出來(lái)，我相信我們很快就能夠見(jiàn)到真正國產(chǎn)的減速器、國產(chǎn)的軸承，這些都能做得很好。

幻實(shí)（主播）：期待這一天。謝謝林總跟我們分享了這么多，也歡迎您以后有更多的好消息以及產(chǎn)業(yè)的進(jìn)展，再來(lái)我們這里做客。

林堅（嘉賓）：謝謝芯片揭秘，也希望芯片的這層神秘的面紗通過(guò)這個(gè)節目真的把它一層一層的揭開(kāi)，讓半導體和芯片不再神秘，我們一起努力。

現場(chǎng)合影 泓滸半導體執行總裁林堅先生（圖左）和幻實(shí)（圖右）

目前，半導體設備國產(chǎn)化率仍然處于較低水平，在環(huán)境和政策的推動(dòng)下，國產(chǎn)替代進(jìn)程也將加速。SEMI數據顯示，2021年國內12吋產(chǎn)能增加21萬(wàn)片，2022-2024年12吋擴產(chǎn)產(chǎn)能將達到95萬(wàn)片/月。照此增量預測，未來(lái)Sorter擁有數十億市場(chǎng)，EFEM和VTM更是各自擁有數百億級的市場(chǎng)。市場(chǎng)有了，還要有對應的優(yōu)質(zhì)材料去支撐和服務(wù)，這仍需要上下游企業(yè)的互相信任和通力合作。從零部件貿易慢慢衍生至國產(chǎn)化裝備及核心零部件的研發(fā)、生產(chǎn)與銷(xiāo)售，泓滸半導體這幾年一直在走一條穩扎穩打的路。我們相信，國產(chǎn)替代不僅靠情懷更靠實(shí)力，手握自主可控的核心技術(shù)永遠是顛撲不破的真理。